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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 6F*-qb3  
    StU  4{  
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                                                             "x(>Sj\%I  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 7m:|u*ij2~  
                                                                 f]tv`<Q7  
    建模任务                                                         0]T.Lh$3  
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     R:'Ou:Mh  
    +@emX$cFV  
    光栅元件   'tb(J3ZP  
    6<x~Mk'u)  
                                                             EBoGJ_l  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: zoZ<)x=;  
    • FMM/RCWA v7i^O`{eD?  
    • Diffractive Lens Component TGU:(J'^  
                                                                 gjj 93  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ?YF${  
    b TLMd$  
                                                         )0#j\ B  
    (O\U /daB  
    正弦光栅-传输相位形态     h+,'B&=|_  
    qWsylC23  
                                                         (I-<f$3  
    Z_H?WGO  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         M.>^{n$ z  
    S6v!GQ  
     ?X\3&Ujy$  
    CSMeSPOm]  
    正弦光栅-衍射效率 '_:(oAi,C  
    #6Jc}g< ?g  
                                                                 +I t#Z3  
    IY=/` g  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       &+ KyPY+  
    XC[]E)8  
           T~BA)![  
    &&=[Ivv  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   dj'm, k b  
                                           E2@`d6  
    Ju!(gh  
                                                                 $ +;+:K  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) N]NF\7(  
    eD%H XGe  
                                                               a1Hz3y~S/  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         33Jd!orXU  
    bEm7QgV{X  
    U-i.(UyZ  
     "~F3*lk#E  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         0ZMJ(C  
    HPg3`Ul  
     AS)UJ/lC  
                                                                 xH-X|N  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         07V8;A<,  
    YEv%C| l  
     H`~;|6}]n  
                                                                 $B;_Jo\|  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         E@-ta):  
    OS-sk!  
     MtS3p>4  
                                                                 ~ 3^='o  
    VirtualLab Fusion技术   b_TS<,  
    jjRUL.  
                   +oI3I~  
     
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