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摘要 [_n|n"M =C|^C
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# Kq$1lPI 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ^h=kJR9 HrGX-6` 建模任务 _8
J(;7 >kYyR.p.b
46~ug5gV I2'?~Lt 光栅元件 fF%r$`2 v*3:8Y,
e-mlvi^- 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 4a-wGx#h • FMM/RCWA ^MUM04l • Diffractive Lens Component ^iNR(cwgX 0P(}e[~Z 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) rNc>1}DDS 7[LC*nrr
{Hu0 jLTs1`I/F 正弦光栅-传输相位形态 t
At+5H bxs@_fH
.+yJ'*i$d S[M$> 正弦光栅-传输相位形态 P;Ox| /l
L*U
=#fqFL, P}gh-5x 正弦光栅-衍射效率 vs~*=d27Pf lxZXz JkqZ
wr`eBPu =E}/Z 正弦光栅-效率vs. 周期 JS9q'd \XC1/LZQ
("Zi,3"+ *3|KbCX 正弦光栅—选定周期的相位形态 ^s5)FdF8 Y%3j>_\; A Ho<E"R\ SPBXI[[- 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Z_%>yqDC <3HJkcYGz
6o!"$IH4 闪耀光栅-传输相位形态 ZD3S|1zSQ W8)GT`\ #]rw@c FwyPmtBj 闪耀光栅-衍射效率 \gdd Z\x6
HO"(eDW6z 7 UR)4dYA 闪耀光栅-效率vs.周期 79\
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I/'>Bn+ rie1F, 闪耀光栅-选定周期相位形态 H_9~gi
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