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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 #E@i@'T  
    y5D?Bg|M  
    0qUap*fvC  
                                                             ~ b_gwJ'  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 %$KO]   
                                                                 Ax*~[$$~%  
    建模任务                                                         N6 8>`  
    vfDb9QP  
     .*7UT~o=CS  
    WkIV  
    光栅元件   e>Y2q|S85  
    f)P /@rh  
                                                             LkB!:+v |B  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: -B(KQT,J  
    • FMM/RCWA GP'Y!cl  
    • Diffractive Lens Component 28yxX431S  
                                                                 ][1u:V/ U  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       EC&,0i4n:  
    =Q/>g6  
                                                         ~{Bi{aK2  
    W (=B H  
    正弦光栅-传输相位形态     2:F  
    _If?&KJ r  
                                                         T+D]bfjr&&  
    34:EpZO@  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         [0#hgGO]P  
    h'KtG<+  
     <J`xCm K  
    c10).zZ  
    正弦光栅-衍射效率 lHqx}n@e  
    A$6b=2hc>  
                                                                 LTct0Gh  
    W10fjMC}^  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       D:EF@il  
    H\bIO!vb  
           D|:sSld @  
    aB'@8[]z  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   NvZ?e  
                                           N Z`hy>LF^  
    = h( n+y<  
                                                                 -`EoTXT*U  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) V/e_:xECC  
    AgJ~6tK  
                                                               Am  $L  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         +Bfi/>  
    "M &4c:cz  
    QovC*1'  
     3kY4V*9@-  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         -~f.>@Wb  
    Ghc0{M<  
     3)SZVME1Z  
                                                                 qTF>!o #\:  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ,eCXT=6  
    t7FQ.E,T  
     x~eEaD5m%J  
                                                                 |lV9?#!  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         C<XDQ>?  
    d2sq]Q  
     E2D8s=r  
                                                                 +~O{ UGB=  
    VirtualLab Fusion技术   F\bI6gj  
    xS1|Z|&  
                   ze)K-6SKH  
     
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