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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 93|u. @lEy  
    M"OX NPkc  
    iPMI$  
                                                             2\ /(!n  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 l>RW&C&T  
                                                                 & p 1Et  
    建模任务                                                         a;eV&~  
    nT0FonK>  
     sKhX0,s&  
    T`{W$ 4XS  
    光栅元件   &|7pu=  
    P`HE3?r  
                                                             @|xcrEnP}B  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: *yqEl O  
    • FMM/RCWA xp%,@] p  
    • Diffractive Lens Component r%hnl9  
                                                                 B Mh 949;  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ~Dw.3P:-  
    >dol  
                                                         F/[vg  
    !Y3w]_x[:  
    正弦光栅-传输相位形态     jb8v3L  
    Ti }Ljp^O  
                                                         sm-RpZ&|  
    rrei6$H&  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ir<HC 'D[  
    &ZgB b  
     <qs>c<Vj  
    ~xqRCf{8  
    正弦光栅-衍射效率 &[}T41  
    08&DP^NS  
                                                                 i{w<4E3  
    yz!j9pJ  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                        Hq h  
    Vd[[<  
           ba^cw}5  
    U]lXw+&  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   t%<nS=u  
                                           b>AFhj:  
    dI<s)!  
                                                                 yzt6   
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) [)|P-x-<  
    ~HD:Y7  
                                                               , KF>PoySA  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         0n+Wv @/  
    ]Kb  
    E ~xK1x"  
     _B)LRD+Hj  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         2xH9O{  
    ZKyK#\v<  
     mmm025.   
                                                                 dL'hC#!h  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         FMB\$(g  
    QA\eXnR  
     >}h/$bU  
                                                                 CXGq>cQ=d  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         VZ{aET!  
    Yw<K!'C  
     a9qB8/Gg[  
                                                                 7f_4qb8  
    VirtualLab Fusion技术   l2KR=& SX/  
    GQoaBO.  
                   1SeDrzLA  
     
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