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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 N{ $?u  
    CE!cZZ  
    tIV{uVM[|D  
                                                             y\(xYB>T  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 P;-.\VRu  
                                                                 Iz83T9I&  
    建模任务                                                         n*' :,m  
    k3e6y  
     ixK9/5T  
    Mk=*2=d  
    光栅元件   [s\8@5?E  
    C[hNngb7R  
                                                             8a]g>g  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: |(TEG.<g  
    • FMM/RCWA dtTfV.y4w  
    • Diffractive Lens Component  LAM{ ,?~  
                                                                 @o*~\E<T  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       N 3O!8A_  
    It/hXND `  
                                                         TQ :e! 32  
    {T,}]oX  
    正弦光栅-传输相位形态     ZXkrFA |  
    0UW_ Pbh6  
                                                         PFx.uqp  
    EYZ&%.Sy5  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         3Nwix_&S  
    D5({&.X[-  
     ujN~l_ 4  
    D| <_96_m  
    正弦光栅-衍射效率 YlT&.G  
    F(Zf=$cx  
                                                                 @8w5Oudvx  
    _TmKn!Jw  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       {QmK4(k?|c  
    ;$1x_ Cb  
           (x@J@ GP*  
    YU`k^a7%  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   -{J0~1'#-  
                                           7lAJ 0  
    $cuBd  
                                                                 #H4<8B  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) T-GvPl9ZJw  
    %C #Ps   
                                                               7fzH(H  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         AS:k&t  
    $Q}L*4?]  
    B0p;Zh  
     ]B8iQr-!  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         F7w\ctUP  
    Z+EZ</'(a  
     w S?Kc^2O  
                                                                 bG*l_  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         uPN^o.,/.  
    d2US~.;>l  
     J#4pA{01w  
                                                                 TOgH~R=  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         |; mET  
    {iq^CHAVK  
     RhT:]  
                                                                 :SO4@JT{W  
    VirtualLab Fusion技术   xC= $ym]  
    Q%!xw(  
                   {M=B5-  
     
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