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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 4F#H$`:[  
    aM;SE9/U  
    [_(J8~ va  
                                                             D`a6D  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 .k]`z>uv  
                                                                 <lf692.3  
    建模任务                                                         D0FX"BY7  
    .s*N1 U?h  
     l1DJ<I2  
    ;kk[x8$  
    光栅元件   .b3h?R*&  
    Ul_Zn  
                                                             u NyN[U  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: OA&'T*)-A6  
    • FMM/RCWA F~ 5,-atDM  
    • Diffractive Lens Component )-)rL@s.  
                                                                 x:MwM?  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Jq &Hz$L|  
    yogavCD9b/  
                                                         t[`LG)  
    ?pW1}: z  
    正弦光栅-传输相位形态     72OqXa*  
    A,<5W }  
                                                         *HR pbe2  
    o{,I O!q  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         A r]*?:4y[  
    Lxp}o7>K  
     MrHJ)x"hy  
    :6nD"5(  
    正弦光栅-衍射效率 iN Oj @3x  
    B.r^'>jQ  
                                                                 MRt"#CO  
    =m2_:&@0x  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       sWr;%<K  
    uAA2G\3  
           M/p9 I gp  
    ,yGbMOV  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   =Q(J!f  
                                           l|WFS  
     U=~?ca  
                                                                 @FN|=?8%  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) n>,:*5"G  
    k5Cy/gR  
                                                               5VTVx1P[8  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         e' l9  
    Tx PFl7,r  
    >whv*@Fr  
     Pb'(Y  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         m~ ah!QM  
    n/5T{NfG  
     1- s(v)cxh  
                                                                 +;~o R_p  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         p$ \>3\  
    ~6i'V?>  
     H}kZ;8  
                                                                 vd lss|  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         GFdbwn5B  
    d78 [(;  
     N4ZV+ |  
                                                                 c},pu[nL  
    VirtualLab Fusion技术   l9f_NJHo  
    H\Qk U`b  
                   {nwoJ'-V  
     
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