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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 }lhk;#r  
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    E]g6|,4~-  
                                                             *icaKy3  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 LikCIO  
                                                                 ?1 Vx)j>|  
    建模任务                                                         #Z `Tk)u/  
    f?eq-/UR  
     jOGiT|A  
    O0`ofFN  
    光栅元件   1|ddG010  
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                                                             TvT>UBqj=  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Ex*{iJ;\  
    • FMM/RCWA Fs=x+8'M  
    • Diffractive Lens Component ZF#n(Y?  
                                                                 $?gKIv>g  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       fl9VokAT  
    *&_cp]3-WF  
                                                         mJ5%+.V  
    Knb(MI6  
    正弦光栅-传输相位形态     P_  8!Gp  
    q*Hg-J}  
                                                         |*h{GX.(  
    9xw"NcL  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         oAB:H \  
    dV'^K%#  
     ; qbK[3.  
    t:P]bp^#  
    正弦光栅-衍射效率 EL z5P}L6  
    wmXI8'~F&  
                                                                 ?2,D-3 {  
    Y+vIU*O  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       J]S30&?  
    BB V>Q L  
           p8YOow7)  
    ~dLbhjde n  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   zzo93d  
                                           ,C 0y3pL  
    QOrMz`OA  
                                                                 \.sC{@5K  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Lpkx$QZ  
    <6,,:=#  
                                                               3K/ tB1  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         P,WQN[(+  
    2DJg__("  
    KECW~e`  
     |#yT]0L%pA  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         K{@xZ)  
    gn~^Ajo  
     UhkL=+PD  
                                                                 ~[og\QZX  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         YPY,g R  
    /0fsn_  
     uW#s;1H.)  
                                                                 =ePX^J*M'  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         8+".r2*_iO  
    y3QS! 3I  
     Y hmveV  
                                                                 8tna<Hx  
    VirtualLab Fusion技术   ^P]5@dv  
    A<TYt M  
                   rbIYLVA+V  
     
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