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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 &+v&Dd&  
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    C1=[\c~jw  
                                                             {8' 5  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 5 F-Q&  
                                                                 {-xnBx  
    建模任务                                                         t`  Sh!e  
    ]9' \<uR  
     <\5{R@A*6  
    157X0&EX  
    光栅元件   nMhc3t  
    Z]tz<YSkG  
                                                             xInWcQ  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: <x/&Ml+  
    • FMM/RCWA &~i1 @\]  
    • Diffractive Lens Component R:Lu)d>=  
                                                                  Dg@6o  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       /=N`P &R#  
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                                                         yZ`\.GgC^&  
    6[cMPp x  
    正弦光栅-传输相位形态     GB#7w82  
    -a3C3!!  
                                                         0^+W"O  
    {?8rvAj Y  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         B-RaAiE@  
    =6Z 1yw7s  
     8:f( PN  
    u% FA.  
    正弦光栅-衍射效率 zIu1oF4[  
    fA8 ,wy|>  
                                                                 s SDBl~g  
    ?IK[]=!  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       K&/W cuP &  
    y=t -/*K  
           !>M: G:K  
    L(.5:&Y=`  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ]]+"`t,-  
                                           2'D2>^os  
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                                                                 o.,hCg)X  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) JH 8^ZP:d'  
    },l3N K  
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    闪耀光栅-传输相位形态                                                         QgP UP[  
    2?&h{PA+  
    )/UkJ/}j  
     d4lEd>Ni  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         xu3qX"  
    s\@!J.Da  
     ;e+ErN`a.~  
                                                                 sPut@4[S  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         vV%w#ULxE~  
    [L:,A{rve  
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    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         FbF P  
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    VirtualLab Fusion技术   J=  T!  
    b^0=X!bg  
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