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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 Vy|4k2  
    hSXJDT2  
    /u_9uJ"-K(  
                                                             g HkHAOe/  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 =F Y2O`%a  
                                                                 B[6k [Vs  
    建模任务                                                         tl*h"du^  
    $.:x3TsA  
     fL d2{jI,  
    !*HJBZ]q  
    光栅元件   TI<3>R  
    *9w-eK1{  
                                                             ,c0LRO   
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: `@WJ_-$#  
    • FMM/RCWA C"mWO Y2]  
    • Diffractive Lens Component hQ!59  
                                                                 S("dU`T?  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       bBXLW}W  
    &['x+vL9  
                                                         CWRB/WH:  
    <5 OUk  
    正弦光栅-传输相位形态     [~RO9=;L  
    /3tErc'  
                                                         XJKns  
    r\FZ-gk}Q  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         =$L+J O  
    ='=4tj=z  
     *}';q`u }  
    6,M$TA  
    正弦光栅-衍射效率 O"df5x9@  
    @iXBy:@  
                                                                 oyY z3X  
    x Gbq,~_r  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       3 =c#LUA`  
    W[a"&,okqO  
           W,[QK~  
    H?M:<q0|G  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   GCiG50Z=  
                                           ]4V1]  
    (xWsyo(4  
                                                                 `-{? !  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) surNJ,)  
    bu<d>XR  
                                                               d!}oS<6  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Jc}6kFgO6  
    /{jt]8/;7  
    :8@eon}  
     &7>]# *  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         G!=(^G@J;  
    a~a:mM > p  
     QRrAyRf[  
                                                                 ={ -kQq  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         @9n|5.i  
    $F9w0kz:,*  
     BBGub?(dR  
                                                                 /]j{P4  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         )?{!7/H F@  
    rPyjr(I"_  
     0vX6n6G}  
                                                                 eyp_.1C~  
    VirtualLab Fusion技术   &z5?]`ALu  
    `GY3H3B  
                   XTk :lzFH  
     
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