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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 %D% Ok7s})  
    #GUD^#Jh  
    o/=61K8D  
                                                             <@0S]jy  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 "x 3C3Zu.;  
                                                                 rdAy '38g  
    建模任务                                                         80Q%c(i  
    O]61guxro  
     "}oo`+]Cq  
    @,LU!#y(  
    光栅元件   :dxKcg7  
    g?cxqC<  
                                                             DwWm(8&6;}  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: /neY2D6  
    • FMM/RCWA OXB 5W#$  
    • Diffractive Lens Component X|}Q4T`  
                                                                 JcfGe4  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       @iBmOt>3  
    %:OX^ ^i;  
                                                         ;*=7>"o'`  
    _p^Wc.[~M  
    正弦光栅-传输相位形态     T#vY(d  
    $ P2*qpqy  
                                                         S9'Xsh  
    Mf7 [@#$  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         *uKYrs [  
    @twi<U_  
     u('`.dwkc  
    31QDN0o!~  
    正弦光栅-衍射效率 #<#-Bv  
    Q9;VSF)  
                                                                 cxx8I  
    >X=VPh8  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       *<}R=X.  
    xZ SDA8kS  
           0w vAtK|Q  
    7`^=Ie%(K  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   9Sl5jn  
                                           !\'HKk~V  
    (CAkzgTfc  
                                                                 `P$X`;SwE  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ,kl``w|1M  
    'a:';hU3f  
                                                               FL&L$#X  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         C^:{y  
    pOj8-rr  
    J*AYZS-tSE  
     k`s_31<  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         =?N$0F!  
    %_~1(Glz  
     bw!*=<  
                                                                 ^g.H JQ'vF  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         itcM-?  
    %zhSSB =BJ  
     X?(R!=a  
                                                                 d@tNlFfS  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         _ D"S  
    :b!&Xw$  
     Xo6zeLHO  
                                                                 ZmJ<FF4  
    VirtualLab Fusion技术   M'T[L%AP  
    42:,*4t(  
                   Cm0K-~ U  
     
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