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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 :AcN b  
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                                                             0}7Rm>  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ci NTYow  
                                                                 J ]^gF|  
    建模任务                                                         <Ibr.L]  
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     D.Cs nfJ  
    c:_i)":  
    光栅元件   "91At b;hJ  
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                                                             ?9okjLp1n  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: f(MHU   
    • FMM/RCWA eHyuO)(xH1  
    • Diffractive Lens Component GvtI-\h]  
                                                                 3R[J,go  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ]}L1W`n  
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                                                         IV#f}NrfD  
    F$yFR  
    正弦光栅-传输相位形态     whZ],R*u  
    ]B'  
                                                         ^V,/4u  
    <m gTWv  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         jqsktJw#i  
    Y},GZ^zqy  
     *rKv`nva5  
    [_G0kiI}W"  
    正弦光栅-衍射效率 FT<*  
    Gz5@1CF  
                                                                 4qcIoO  
    c(g^*8Pb  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       [gr[0aGBc  
    'xI+kyu  
           QN a3S*  
    XlJux_LD:  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   r9'H7J  
                                            jy|xDQ  
    V+ ~2q=  
                                                                 moI<b\G@  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) lc(iy:z@  
    1L qJ@v0  
                                                               ly5L-=Xb  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ZoReyY2  
    ddhTr i'f  
    Guc^gq}  
     ZGvNEjff  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         0=zS&xM  
    :@A;!'zpL  
     S2SQ;s-t_  
                                                                 M +q 7h+HP  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         TBfl9Q  
    @<JQn^M  
     1Nu`@)D0  
                                                                 0DT2qM[,  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         b>._ r&.  
    zb)SlR  
     F>R)~;Ja  
                                                                 E?o8'r  
    VirtualLab Fusion技术   X^^D[U  
    r(CL=[  
                   6{WT;W>WT:  
     
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