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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 zjoq6  
    Bo%NFB;  
    *$ %a:q1U  
                                                        
    %z 4Nl$\  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 T0rG M  
                                                                 a-L;*  
    建模任务                                                         f^XOUh  
    0b(N^$js'  
    WU=59gB+jL  
    I"7u2"@-8j  
    光栅元件   LTx,cP  
    3n}?bY8@5_  
                                                        
    !ff&W1@  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ]+:^W^bs:  
    • FMM/RCWA m5Di=8  
    • Diffractive Lens Component P1' al  
                                                                 1 Nd2{(  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       :1KpGj*F  
    AX/m25x  
                                                    
    )gy!GK  
    s( q_ o  
    正弦光栅-传输相位形态     03S]8l  
    M}v/tRI  
                                                    
    =^50FI|  
    6MdiY1Lr!K  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         F;0}x;:>  
    OMg<V  
    n3 r3"~i  
    Qhcu>r a  
    正弦光栅-衍射效率 E#t>Qn  
    v^iL5y!  
                                                            
    'qX|jtdM  
    7,9=uk>0\  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       A`o8'+`C  
    FZE"7ec>m  
      
    GD_hhDyD  
    Jidwt$1l(  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   !6Mo]xh  
                                      
    +l{=  
    VUR|OV%  
                                                                 bTs?!~q  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) k%QpegN  
    `W/>XZl+t  
                                                          
    @eIJ]p  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         xw2[d+mB  
    $F+ LDs  
    eu|;eP-+d  
    e@* EzvO  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         74k dsgQf  
    VYImI>.t{  
    6 EC*   
                                                                 3/W'V,5G6  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Opc ZU{4 b  
    1rF]yi:X  
    z]`k#O%%)  
                                                                 g0Gf6o>2  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ~=RT*>G_  
    2OR{[L*  
    ^qQZT]  
                                                                 e)#J1(j_  
    VirtualLab Fusion技术   90*5 5\>{  
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