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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 S}m)OmrmA  
    8yR.uMI$/  
    Q^9_' t}X  
                                                             ]b:Lo  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 D[[|")Fn  
                                                                 zx"s*:O  
    建模任务                                                         0y'H~(  
    c \J:![x  
     #?U}&Bd  
    sQHv%]s 0  
    光栅元件   F4-$~ v@  
    8?#/o c  
                                                             D(@S+r_ota  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: |/|5UiX7  
    • FMM/RCWA 5,lEx1{_  
    • Diffractive Lens Component WtsFz*`)y  
                                                                 g#pr yYz  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       T9E+\D  
    z [}v{  
                                                         x/I%2F  
    ~OYiq}g  
    正弦光栅-传输相位形态     JQ_sUYh~3  
    ,GhS[VJjR  
                                                         iJ)_RSFK  
    PFlNo` iO  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         <y('hI'  
    +6M}O[LP  
     d=$Mim  
    ~k-y &<UR  
    正弦光栅-衍射效率 Fbr;{T .  
    b4%??"&<Y  
                                                                 U/66L+1  
    64 wv<r]5j  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       g]l'' 7G  
    hlvK5Z   
           +5g_KS  
    @muRxi  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   n:I,PS0H<  
                                           q5J5>  
    s0TORl6Z|  
                                                                 pGP7nw_g  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ;>U2|>5V  
    ,\W 8b-Z  
                                                               bI7Vwyz  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         !]A  
    &)# ihK_  
    R^8o^z['6u  
     k{R>  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         IEL%!RFG  
    <6%?OJhp  
     nY[WRt w  
                                                                 :;%2BSgFU  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         PV.X z0@R  
    5zK4Fraf  
     w8")w*9Lmg  
                                                                 XAD- 'i  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         V@.Ior}w  
    gs^Xf;g vI  
     CCs%%U/=  
                                                                 l5Uiw2  
    VirtualLab Fusion技术   (U D nsF  
    H5/6TX72N  
                   f=l rg KE  
     
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