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A9 内容简介 /&ygi H{^ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 U l Mi.;/^ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 5nCu~<uJ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ZI ?W5ISdg PI5j"u UO 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 +yt6(7V* 目录 |kiJ}oy Preface 1 $M"0BZQ?y! 内容简介 2 g?qKNY 目录 i k4KHS<n0 1 引言 1 bdc\ 2 光学薄膜基础 2 2pyt&'NJua 2.1 一般规则 2 $R{8z-,Q 2.2 正交入射规则 3 |;;!8VO3J 2.3 斜入射规则 6 aW5~Be$
_ 2.4 精确计算 7 `hB1b["( 2.5 相干性 8 h5@j`{ 2.6 参考文献 10 ACBQ3 3 Essential Macleod的快速预览 10 VTe.M[: 4 Essential Macleod的特点 32 _py2kjA6 4.1 容量和局限性 33 J me% 4.2 程序在哪里? 33 "2HY5AE 4.3 数据文件 35 q"aPJ0ni' 4.4 设计规则 35 +AQDD4bu 4.5 材料数据库和资料库 37 iH)Nk^ 4.5.1材料损失 38 7$b?m6fmK 4.5.1材料数据库和导入材料 39 W$\X ~Q'0 4.5.2 材料库 41 $T
dC/#7 4.5.3导出材料数据 43 5A_4\YpDR 4.6 常用单位 43 vrrt @y 4.7 插值和外推法 46 ged,> 4.8 材料数据的平滑 50 kC^.4n
om 4.9 更多光学常数模型 54 j.c8}r& 4.10 文档的一般编辑规则 55 Rlc$;Z9K 4.11 撤销和重做 56 8l xY]UT 4.12 设计文档 57 Ob&W_D^=N 4.10.1 公式 58 2Ug.:![ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ?ei%RWo 4.10.3 沉积密度 59 P79R~m` 4.10.4 平行和楔形介质 60 U'3Fou} 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 _p4}<pG 4.10.4 性能 61 mCb 9*| 4.10.5 保存设计和性能 64 tjb/[RQ 4.10.6 默认设计 64 _ 5\AS+[x
4.11 图表 64 ~ v1W 4.11.1 合并曲线图 67 ?6:cNdN 4.11.2 自适应绘制 68 /| GH0L 4.11.3 动态绘图 68 zHxmA 4.11.4 3D绘图 69 k46gY7y,9 4.12 导入和导出 73 iK x+6v 4.12.1 剪贴板 73 ;6<zjV7} 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Gc5VQ^] 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 u_'nOle
K 4.13 背景 77 eti9nPjG 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 jyjQzt
>\ 4.15 生成Rugate 84 :_c*m@=z( 4.16 参考文献 91 YmCbxYa7 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ?N#[<kd 5.1 Jobs 92 Es:6 5.2 创建一个新Job(工作) 93 i/:5jI| 5.3 输入材料 94 y*KC*/'" 5.4 设计数据文件夹 95 a2 >[0_E 5.5 默认设计 95 $n*%v85 6 细化和合成 97 *SGlqR['\e 6.1 优化介绍 97
/Su)|[/' 6.2 细化 (Refinement) 98 #J~Xv:LgD 6.3 合成 (Synthesis) 100 _sm;HH7'* 6.4 目标和评价函数 101 C
>kmIw' 6.4.1 目标输入 102 3B"7VBK{ 6.4.2 目标 103 S2}Z&X( 6.4.3 特殊的评价函数 104 "8_,tYAH 6.5 层锁定和连接 104 kC|Tubs( 6.6 细化技术 104 n'3u ]~7^ 6.6.1 单纯形 105 KZ4zF 6.6.1.1 单纯形参数 106 {|p"; uJ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ,]U[W 6.6.2.1 Optimac参数 108 x.G"D( 6.6.3 模拟退火算法 109 4[_L=zD 6.6.3.1 模拟退火参数 109 r+TK5|ke 6.6.4 共轭梯度 111 e7's)C>/' 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 _y-B";Vmm
6.6.5 拟牛顿法 112 ~%KM3Vap 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 OgTSx 6.6.6 针合成 113 `+fk`5Y 6.6.6.1 针合成参数 114 )DRkS,I 6.6.7 差分进化 114 Ik-oI=>. 6.6.8非局部细化 115 59K} 6.6.8.1非局部细化参数 115 QD}1?)} 6.7 我应该使用哪种技术? 116 @4&,
#xo 6.7.1 细化 116 (qj,GmcS 6.7.2 合成 117 uwId 6.8 参考文献 117 a.CF9m5]c 7 导纳图及其他工具 118 ${@q?iol 7.1 简介 118 7
{nl..` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 3~:0?Zuq 7.2.1 四分之一波长规则 119 4y1> 7.2.2 导纳图 120 ])S$x{.g 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 G#'Q~N 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +>u>`| 7.5 斜入射导纳图 141 Y}K!`~n1S 7.6 对称周期 141 '6+Edu~Ho) 7.7 参考文献 142 hXPocP 8 典型的镀膜实例 143 iT[oKD0) 8.1 单层抗反射薄膜 145 99a\MH`^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ,y{0bq9*2 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ]2LXUYB 8.4 W-膜层 148 x!`b'U\ 8.5 V-膜层 149 k*OvcYL1A 8.6 V-膜层高折射基底 150 TZj[O1E 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Hw y5G; 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 / =-6:L 8.9 四层抗反射薄膜 153 RrKfTiK H 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 k06xz#pL 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #n=A)#'my 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 {v,{x1 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ' *}^@[& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 2+,5p 8.15十五层宽带抗反射膜 159 u]P03B 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _yNT=#/ 8.17 1/4波长堆栈 162 u0s'6= 8.18 陷波滤波器 163 W"dU1] 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 n}0za#G 8.20 褶皱 165 |PI)A` 8.21 消偏振分光器1 169 :fRmUAK% 8.22 消偏振分光器2 171 6k:y$,w 8.23 消偏振立体分光器 172 qFrt^+@ 8.24 消偏振截止滤光片 173 E(%
XVr0W 8.25 立体偏振分束器1 174 6g}^Q?cpV# 8.26 立方偏振分束器2 177 \QliHm! 8.27 相位延迟器 178 7Pwg+| 8.28 红外截止器 179 *}>Bkq9h 8.29 21层长波带通滤波器 180 J6eJIKK 8.30 49层长波带通滤波器 181 kkT3wP 8.31 55层短波带通滤波器 182 O+p]3u 8.32 47 红外截止器 183 /731.l 8.33 宽带通滤波器 184 v#iFQVBq 8.34 诱导透射滤波器 186 %)8d{1at 8.35 诱导透射滤波器2 188 4sb )^3T 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }iD$4\ L 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 K?9WY]Ot 8.35 增益平坦滤波器 193 T_uNF8Bh 8.38 啁啾反射镜 1 196 5.O-(eSa0& 8.39 啁啾反射镜2 198 mPckf 8.40 啁啾反射镜3 199 XIqv{w 8.41 带保护层的铝膜层 200 $[j-C9W 8.42 增加铝反射率膜 201 Yr5iZ~V$ 8.43 参考文献 202 SrdE>fNbs 9 多层膜 204 &aY/eD 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 T}V7SD. 9.2 内部透过率 204 D}mo\ 9.3 内部透射率数据 205 RlU;v2Kch 9.4 实例 206 4xv9a;fP 9.5 实例2 210 EfFj!)fz 9.6 圆锥和带宽计算 212 ]#vWKNv:; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 \nC5 ,Rz 10 光学薄膜的颜色 216 ^a086n 10.1 导言 216 w}IL
8L(D 10.2 色彩 216 cC b>zI 10.3 主波长和纯度 220 =>HIF#jU 10.4 色相和纯度 221 ,D:iQDG^ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 yEE|e> 10.6 色差 226 =ZCH1J5" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Pbc`LN/s| 10.8 颜色渲染指数 234 ?nB helW^ 10.9 色差计算 235 P=f<#l"v 10.10 参考文献 236 nwY2BIB 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 :5r:I[FFy 11.1 短脉冲 238 GA'*58 11.2 群速度 239 -;sJ25( 11.3 群速度色散 241 CbnR<W-j 11.4 啁啾(chirped) 245 DfAiL( 11.5 光学薄膜—相变 245 K{,
W_^ 11.6 群延迟和延迟色散 246 /Lq;w'|I 11.7 色度色散 246 U,oD44 11.8 色散补偿 249 \7|s$ XQ\ 11.9 空间光线偏移 256 #rh0r` 11.10 参考文献 258 zd?bHcW/h 12 公差与误差 260 c80
}1 12.1 蒙特卡罗模型 260 {;]uL`abi? 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 j09mI$2y67 12.2.1 误差工具 267 1joc<EI 12.2.2 灵敏度工具 271 p5lR-G 12.2.2.1 独立灵敏度 271 #B}BI8o ( 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ^?H\*N4 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 uU8*$+ " 12.3 参考文献 276 7yY1dR<Y 13 Runsheet 与Simulator 277 {Uik| 13.1 原理介绍 277 {%]NpFg#b 13.2 截止滤光片设计 277 Wwn5LlJ^ 14 光学常数提取 289 G/x3wR 14.1 介绍 289 B ]|5?QP- 14.2 电介质薄膜 289 ?3]h~(= 14.3 n 和k 的提取工具 295 +W V@o' 14.4 基底的参数提取 302 ^ %~Et>C 14.5 金属的参数提取 306 ==jkp
U*= 14.6 不正确的模型 306 Jm{As*W> 14.7 参考文献 311 \_iH4<#> 15 反演工程 313 OhA^UP01- 15.1 随机性和系统性 313 27h/6i3 15.2 常见的系统性问题 314 yrxx+z|wR 15.3 单层膜 314 G:E+s(x 15.4 多层膜 314 ]=$-B 15.5 含义 319 9b{g+lMZo 15.6 反演工程实例 319 -L^0-g 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 w\0Oz?N 15.6.2 反演工程提取折射率 327 J
,Qy`Y
B 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 GQYtH#
16.1 光学性质的热致偏移 329 `^s]? 16.2 应力工具 335 ?RrC~7~ 16.3 均匀性误差 339 :Olj 16.3.1 圆锥工具 339 |-SI(Khjk 16.3.2 波前问题 341 z1}tC\9'% 16.4 参考文献 343 n:}MULy; 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 d\1:1ucV 17.1 引言 345 IkE'_F 17.2 操作数 345 PuUon6bZ 18 如何在Function中编写脚本 351 uK"$=v6| 18.1 简介 351 (HTk;vbZm 18.2 什么是脚本? 351 d'**wh, 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 .@x"JI>; 18.4 基础 352 2vW,.]95M 18.4.1 Classes(类别) 352 S7\|/h:4 18.4.2 对象 352 8V53+]c$Y 18.4.3 信息(Messages) 352 AW{/k'%xw 18.4.4 属性 352 `#IT24! 18.4.5 方法 353 ?j^?@%f0
18.4.6 变量声明 353 l*m]2"n] 18.5 创建对象 354 Og%zf1)aZM 18.5.1 创建对象函数 355 n
WO~v{h3J 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 %r}KvJgd 18.5.3 丢弃对象 356 ];wohW% 18.5.4 总结 356 TZ[Fu{gZ 18.6 脚本中的表格 357 r* 18.6.1 方法1 357 U_zpLpm^ 18.6.2 方法2 357 c,[qjr#\> 18.7 2D Plots in Scripts 358 $[^ KCNB 18.8 3D Plots in Scripts 359 q4IjCu+ 18.9 注释 360 LcQ\?]w`] 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 _UbR8 18.11 一个更高级的脚本 362 Ff1M~MhG 18.12 <esc>键 364 LeRh(a`=$ 18.13 包含文件 365 wTJMq`sY_ 18.14 脚本被优化调用 366 H$($l<G9C 18.15 脚本中的对话框 368 bj*v' 18.15.1 介绍 368 5p>]zij> 18.15.2 消息框-MsgBox 368 :ayO+fr# 18.15.3 输入框函数 370 :h](;W>H 18.15.4 自定义对话框 371 4HYH\ey 18.15.5 对话框编辑器 371 1<Ztk;$A 18.15.6 控制对话框 377
5G]#'tu 18.15.7 更高级的对话框 380 dT0z^SG 18.16 Types语句 384 A_4\$NZ^ 18.17 打开文件 385 qz_TcU' 18.18 Bags 387 rj`.hXO 18.13 进一步研究 388 CBgFB-!qpe 19 vStack 389 ?;r7j V/`j 19.1 vStack基本原理 389 !AD, 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 FL_ arhrqD 19.3 五棱镜 393 14)kKWG 19.4 光束距离 396 ^
8Nr %NJ 19.5 误差 399 A<G ; 19.6 二向分色棱镜 399 P$#}-15?|_ 19.7 偏振泄漏 404 =<tJAoVV 19.8 波前误差—相位 405 =_~'G^`tu 19.9 其它计算参数 405 ]MH
\3g; 20 报表生成器 406 (^OC%pc 20.1 入门 406 '5+, lRu 20.2 指令(Instructions) 406 y`P7LC 20.3 页面布局指令 406 ~TmHnAz 20.4 常见的参数图和三维图 407 oz5lt4 20.5 表格中的常见参数 408 UVuuIW0k 20.6 迭代指令 408 YUE1 '} 20.7 报表模版 408 +Y%I0.?&5 20.8 开始设计一个报表模版 409 Z~R/p;@ 21 一个新的project 413 Z(clw 21.1 创建一个新Job 414 xN~<<PIZ 21.2 默认设计 415 [}g5Z=l 21.3 薄膜设计 416 0eu$oel- 21.4 误差的灵敏度计算 420 &T4Cn@ 21.5 显色指数计算 422 kO\&mL&
qD 21.6 电场分布 424 x+j/v5 后记 426 mjJlXA 有兴趣可以扫码联系 qb/!;U_
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