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trnjOm 内容简介 xK 9"t;!C& Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 R}c,ahd 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 h2ewYe<87` 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 4YM!S E-I P66{l^ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 I8@NQ=UV0 目录 U(3+*'8r,1 Preface 1 I=6\z^: 内容简介 2 U:m[*
}+< 目录 i T^g2N`w2 1 引言 1 H !Z=}>TN 2 光学薄膜基础 2 ZQ9!k*
^ 2.1 一般规则 2 W!8g.r4u+, 2.2 正交入射规则 3 i`)bn1Xm 2.3 斜入射规则 6 [H)NkR;I 2.4 精确计算 7 "_]n_[t2C 2.5 相干性 8 b|U&{I>TH 2.6 参考文献 10 Kj,C9 3 Essential Macleod的快速预览 10 Ks.m5R 4 Essential Macleod的特点 32 >B/ jTn5= 4.1 容量和局限性 33 }UJS*mR 4.2 程序在哪里? 33 }NW^?37 4.3 数据文件 35 \.y|=Ql_u 4.4 设计规则 35 2%U)y;$m2 4.5 材料数据库和资料库 37 )QEvV:\ 4.5.1材料损失 38 *#-X0}'s 4.5.1材料数据库和导入材料 39 hX?L/yf 4.5.2 材料库 41 g^@Kx5O\ 4.5.3导出材料数据 43 By(:%=. 4.6 常用单位 43 h\".TySz 4.7 插值和外推法 46 ,0%P3 4.8 材料数据的平滑 50 l?v`kAMR 4.9 更多光学常数模型 54 :L#t?~ 4.10 文档的一般编辑规则 55 L9nv05B 4.11 撤销和重做 56 OY7\*wc: 4.12 设计文档 57 eKi/Mt
4.10.1 公式 58 opxVxjTT# 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 sc'QNhrW 4.10.3 沉积密度 59 u,e'5,`N 4.10.4 平行和楔形介质 60 BTjfzfO" 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 T`KH7y|bv 4.10.4 性能 61 6wC|/J^ 4.10.5 保存设计和性能 64 yPrp:%PS 4.10.6 默认设计 64 ?;@xAj 4.11 图表 64 5('_7l 4.11.1 合并曲线图 67 wU,{5 w 4.11.2 自适应绘制 68 k<RJSK8 4.11.3 动态绘图 68 ~6m-2-14q 4.11.4 3D绘图 69 T.O^40y 4.12 导入和导出 73 ufAp7m@ud 4.12.1 剪贴板 73 7sKN` 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Kk+IUs 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 q(<#7spz 4.13 背景 77 >(5*y=\i 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Q<W9<&VZe 4.15 生成Rugate 84 @Aa$k:_ 4.16 参考文献 91 Z&FC:4!! 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 %Z~,F? 5.1 Jobs 92 |d^r"wbs3 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {Ts@#V=: 5.3 输入材料 94 ^]c/hb|X 5.4 设计数据文件夹 95 ofbNg_K> 5.5 默认设计 95 su6x
okt 6 细化和合成 97 U">J$M@ 6.1 优化介绍 97 RK?b/9y 6.2 细化 (Refinement) 98 C{>@b:]p 6.3 合成 (Synthesis) 100 ModwJ
w 6.4 目标和评价函数 101 <![tn#_ 6.4.1 目标输入 102 jqxeON 6.4.2 目标 103 WmU4~. 6.4.3 特殊的评价函数 104 dA>=#/" 6.5 层锁定和连接 104 wuE] ju< 6.6 细化技术 104 [^xLK 6.6.1 单纯形 105 [.4R ,[U 6.6.1.1 单纯形参数 106 4DI.RK9 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 eq.K77El{J 6.6.2.1 Optimac参数 108 N^7Qn*qt[ 6.6.3 模拟退火算法 109 bOjvrg;Sz\ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 UMR0S5`} 6.6.4 共轭梯度 111 f!hQ"1[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .,zrr&Po 6.6.5 拟牛顿法 112 +7n;Bsk
_ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 edld(/wu~ 6.6.6 针合成 113 H~%HTl 6.6.6.1 针合成参数 114 9EzXf+f 6.6.7 差分进化 114 IJHNb_Cku 6.6.8非局部细化 115 )W9W8>Cc5_ 6.6.8.1非局部细化参数 115 i? 5jl&30 6.7 我应该使用哪种技术? 116 taOD,}c|$ 6.7.1 细化 116 YT\x'`>Q 6.7.2 合成 117 ,jJ&x7ra8 6.8 参考文献 117
FEj{/ 7 导纳图及其他工具 118 *izPLM}+ 7.1 简介 118 =H&{*Ja 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 K{)N:|y%!$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 %!%G\nv 7.2.2 导纳图 120 t mAj 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 mh`~1aEr 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 u&Q2/Y 7.5 斜入射导纳图 141 [=*c8 7.6 对称周期 141 JJ@O5 7.7 参考文献 142 ufF$7@(+ 8 典型的镀膜实例 143 2mUq$kws 8.1 单层抗反射薄膜 145 I;iJa@HWQ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 U-/-aNJ]U 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 l>K z5re^ 8.4 W-膜层 148 1{@f:~ v? 8.5 V-膜层 149 Ny|2Fcs 8.6 V-膜层高折射基底 150 l`c&nf6 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 BeP]M1\?> 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ph\KTLU 8.9 四层抗反射薄膜 153 :SFcnYv0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 $1<V'b[E 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 J6pQ){;6 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 [ ySO 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 gP=(2EVE 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 <=WSX{_D 8.15十五层宽带抗反射膜 159 heQ<%NIA" 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 <Stfqa6FJ 8.17 1/4波长堆栈 162 ,i KEIxA! 8.18 陷波滤波器 163 p)l >bC?3 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 1 .\|,$ 8.20 褶皱 165 t\LAotTF/ 8.21 消偏振分光器1 169 ;/gH6Z? 8.22 消偏振分光器2 171 9W{`$30 8.23 消偏振立体分光器 172 %|mRib|<C 8.24 消偏振截止滤光片 173 8W' ,T 8.25 立体偏振分束器1 174 <vS J<WY 8.26 立方偏振分束器2 177 u&MlWKCi 8.27 相位延迟器 178 tMM*m 8.28 红外截止器 179 i}SJ 8.29 21层长波带通滤波器 180 pqmb&"l 8.30 49层长波带通滤波器 181 U$CAA5HV] 8.31 55层短波带通滤波器 182 951"0S`Lo 8.32 47 红外截止器 183 awP
']iE 8.33 宽带通滤波器 184 PDN3=PAR/A 8.34 诱导透射滤波器 186 ^rF{%1 DT 8.35 诱导透射滤波器2 188 f#~X4@DH` 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ,G2]3
3Z 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 JMp>)*YS 8.35 增益平坦滤波器 193 +EI+@hS 8.38 啁啾反射镜 1 196 yZ7aH|Q81B 8.39 啁啾反射镜2 198 ;-SFK+)R" 8.40 啁啾反射镜3 199 3Z?"M 8.41 带保护层的铝膜层 200 MExP'9 8.42 增加铝反射率膜 201 so[i"ZM) 8.43 参考文献 202 .iK{=L/(y 9 多层膜 204 jys1Ki 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 1rs`|iX5 9.2 内部透过率 204 8yr_A[S8. 9.3 内部透射率数据 205 qRXQL"Pe_l 9.4 实例 206 IIC1T{D}v 9.5 实例2 210 RU}
M&& 9.6 圆锥和带宽计算 212 .&Uu w 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 tK9_]663 10 光学薄膜的颜色 216 a.P7O!2Lp 10.1 导言 216 6Y!hz7D 10.2 色彩 216 O{b.-< 10.3 主波长和纯度 220 JNY;;9o 10.4 色相和纯度 221 Z";~]]$!Y 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ;dXQB>Za 10.6 色差 226 5AmYrXZ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 7;cb^fi/ 10.8 颜色渲染指数 234 l=(4o4um 10.9 色差计算 235 :U^!N8i"= 10.10 参考文献 236 "`pI!nj 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 fiDwa
;, 11.1 短脉冲 238 foh>8/AL/ 11.2 群速度 239 dz^l6<a"n 11.3 群速度色散 241 F$TNYZ 11.4 啁啾(chirped) 245 Pba 6Ay6B 11.5 光学薄膜—相变 245 ;CbQ}k
11.6 群延迟和延迟色散 246 1.7tXjRd+ 11.7 色度色散 246 CD$0Z 11.8 色散补偿 249 1~!
4 11.9 空间光线偏移 256 VCOz?Y* 11.10 参考文献 258 S+c) 12 公差与误差 260 \^<eJfD 12.1 蒙特卡罗模型 260 d*7nz=0&$ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 eKdF-; 12.2.1 误差工具 267 =nQ"ye 12.2.2 灵敏度工具 271 "PA: 12.2.2.1 独立灵敏度 271 MB$K ?"Y 12.2.2.2 灵敏度分布 275 1r6>.&p 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 <~9z.v7 12.3 参考文献 276 H{*~d+:ol 13 Runsheet 与Simulator 277 bLMN9wGOgK 13.1 原理介绍 277 3*@ sp 13.2 截止滤光片设计 277 /P<K)a4GM 14 光学常数提取 289 Wj2s+L7, 14.1 介绍 289 \x JGR! 14.2 电介质薄膜 289 BMlnzi 14.3 n 和k 的提取工具 295 yya"*]*S 14.4 基底的参数提取 302 gg;&a( 14.5 金属的参数提取 306 y%.^|
G 14.6 不正确的模型 306 9}e`_z 14.7 参考文献 311 (n'Mf 15 反演工程 313 ICSi<V[y1 15.1 随机性和系统性 313 xE/r:D# 15.2 常见的系统性问题 314 b&k !DeE 15.3 单层膜 314 7CfHL;+m<4 15.4 多层膜 314 %T:~N<8) 15.5 含义 319 x!CCSM;q 15.6 反演工程实例 319 fVCpG~&t 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 QdaYP 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ya7/&Z
)0 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 fp^!?u 16.1 光学性质的热致偏移 329 ;B[*f?y- 16.2 应力工具 335 WLr\ l29 16.3 均匀性误差 339 zyNg?_SM 16.3.1 圆锥工具 339 n[Jpy[4g 16.3.2 波前问题 341 l4c9.'6 16.4 参考文献 343 83,ATQg 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 D[)
Z$+D4f 17.1 引言 345 BU|=`Kb|)) 17.2 操作数 345 n6T@A;_g 18 如何在Function中编写脚本 351 0eQwi l@ 18.1 简介 351 <u\j4<p 18.2 什么是脚本? 351 'F[m,[T%x 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 0)/L+P5 18.4 基础 352 (8C
,"Dc[0 18.4.1 Classes(类别) 352 \$o5$/oU( 18.4.2 对象 352 :BLD&mb"Y 18.4.3 信息(Messages) 352 ?3ldHWa 18.4.4 属性 352 vu^ '+ky 18.4.5 方法 353 7hPiPv
18.4.6 变量声明 353 ` <+MR6M 18.5 创建对象 354 )l}Gwd]h 18.5.1 创建对象函数 355 D+Osz 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 N%Gb 18.5.3 丢弃对象 356 sqkk4w1#C 18.5.4 总结 356 octBt`\Of 18.6 脚本中的表格 357
^J,Zl`N 18.6.1 方法1 357 rt+%&%wt 18.6.2 方法2 357 XV"8R"u%Q 18.7 2D Plots in Scripts 358 5VWyc9Q 18.8 3D Plots in Scripts 359 3ifQKKcR{ 18.9 注释 360 &)?ECj0` 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 G}B)bM2 18.11 一个更高级的脚本 362 P@Oq'y[ 18.12 <esc>键 364 2l5>>yY 18.13 包含文件 365 'l,ym~R 18.14 脚本被优化调用 366 906b= 18.15 脚本中的对话框 368 @BbqYX 18.15.1 介绍 368 df}DJB 18.15.2 消息框-MsgBox 368 egur} 18.15.3 输入框函数 370 2H7b2% 18.15.4 自定义对话框 371 rPf<8oH 18.15.5 对话框编辑器 371 1"pvrX} 18.15.6 控制对话框 377 SGi(Zkc 18.15.7 更高级的对话框 380 dtHB@\1 18.16 Types语句 384 ~(W q 5<v 18.17 打开文件 385 kk6Af\NZ 18.18 Bags 387 (~6oA f 18.13 进一步研究 388 8KH|:>s= 19 vStack 389 k+
Shhe1 19.1 vStack基本原理 389 &z!yY^g
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 L1'R6W~%dN 19.3 五棱镜 393 ~ ;CnwG
19.4 光束距离 396 '6Lw<#It 19.5 误差 399 9F[k;Uw 19.6 二向分色棱镜 399 koQ\]t'*As 19.7 偏振泄漏 404 {9>LF 19.8 波前误差—相位 405 R(jp 19.9 其它计算参数 405 O}Y& @V%4k 20 报表生成器 406 !Z f<
j 20.1 入门 406 s,&tD
WU 20.2 指令(Instructions) 406 XxXMtiZ6 20.3 页面布局指令 406 HV_5
+ 20.4 常见的参数图和三维图 407 8t4o}3> 20.5 表格中的常见参数 408 /l o;:)AiP 20.6 迭代指令 408 AUZ^XiK 20.7 报表模版 408 K"lZwU\:On 20.8 开始设计一个报表模版 409 $9LI v 21 一个新的project 413 "Dr8}g:X 21.1 创建一个新Job 414 i7N|p9O. 21.2 默认设计 415 PNNY_t +I 21.3 薄膜设计 416 ozF173iI 21.4 误差的灵敏度计算 420 WS17DsWW 21.5 显色指数计算 422 u">KE6um 21.6 电场分布 424 ?]1_ 2\M 后记 426 IdP"]Sv{< 有兴趣可以扫码联系 rd#O ]
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