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ki)#d'
} 内容简介 ^k\e8F/ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 k]I0o)+O. 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ~#/hzS 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ,tg0L$qC &%/7E_j7 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 3=L.uXVb 目录 p"U,G
-_ Preface 1 mbueP.q[? 内容简介 2 SZXY/~=h 目录 i )sT> i 1 引言 1 L~KM=[cn 2 光学薄膜基础 2 |.3DD"* 2.1 一般规则 2 PV=5UyjW 2.2 正交入射规则 3 )=etG 2.3 斜入射规则 6 j.@\3' 2.4 精确计算 7 lMbAs.! 2.5 相干性 8 f^.AD- 2.6 参考文献 10 ::/j$bL 3 Essential Macleod的快速预览 10 k Zq!& 4 Essential Macleod的特点 32 :*2ud ( 4.1 容量和局限性 33 /ID?DtJ 4.2 程序在哪里? 33 %p0xM 4.3 数据文件 35 ]S5JUAGkE* 4.4 设计规则 35 *~x/=.} 4.5 材料数据库和资料库 37 xoR;=ph 4.5.1材料损失 38 L:'J
Bhg 4.5.1材料数据库和导入材料 39
l
c '=mA 4.5.2 材料库 41 ziCHjqT 4.5.3导出材料数据 43
D N*t~Z3[ 4.6 常用单位 43 "l*`>5Nn9 4.7 插值和外推法 46 ?%y?rk < 4.8 材料数据的平滑 50 W!&vul5 4.9 更多光学常数模型 54 O7 $hYk 4.10 文档的一般编辑规则 55 E\4 +_L_j 4.11 撤销和重做 56 6}oXP_0U 4.12 设计文档 57 yT,.z 0 4.10.1 公式 58 u5%7}<nNi 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 [bk?!0]aV 4.10.3 沉积密度 59 ^!by3Elqqk 4.10.4 平行和楔形介质 60 xcf%KXJf6 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 c*@E_}C# 4.10.4 性能 61 `WH"%V:"Q 4.10.5 保存设计和性能 64 #"5 Dk#@ 4.10.6 默认设计 64 9^p;UA 4.11 图表 64 UQI]>#_/v 4.11.1 合并曲线图 67 n;T7= 1_" 4.11.2 自适应绘制 68 6Avw-}.7> 4.11.3 动态绘图 68
MEGv} 4.11.4 3D绘图 69 L#
2+z@g 4.12 导入和导出 73 *NCl fkZ 4.12.1 剪贴板 73 '4#}e[e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 hBX!iukT|{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 lh;:M-b9 4.13 背景 77 <"r#:Wr 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 N
D2L_!g:( 4.15 生成Rugate 84 A?pbWt~} 4.16 参考文献 91 *9{Z$IA9w 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 z21|Dhiw& 5.1 Jobs 92 WV_.Tiy< 5.2 创建一个新Job(工作) 93 9Q+'n$s0^ 5.3 输入材料 94 vCwe'q`1 5.4 设计数据文件夹 95 6Z%U`,S 5.5 默认设计 95 5w@4:$=I 6 细化和合成 97 sH[ROm 6.1 优化介绍 97 D
'Zt 6.2 细化 (Refinement) 98 gY8>6'~mS 6.3 合成 (Synthesis) 100 A"rfZ` 6.4 目标和评价函数 101 uD@# 6.4.1 目标输入 102 e!=kWc 6.4.2 目标 103 ^*Yh@4\{JH 6.4.3 特殊的评价函数 104 1jF`5k 6.5 层锁定和连接 104 VQS~\:1 6.6 细化技术 104 Q{5kxw1ZF 6.6.1 单纯形 105 `I,,C,{C 6.6.1.1 单纯形参数 106 h9G RI 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 57&b:0`p 6.6.2.1 Optimac参数 108 DRi<6Ob 6.6.3 模拟退火算法 109 -3=#u_ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 c:o]d )S 6.6.4 共轭梯度 111 :dQ B R 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 bKN@j'M 6.6.5 拟牛顿法 112 'GS"8w~j 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 --c"0,7 6.6.6 针合成 113 "\o+v|; 6.6.6.1 针合成参数 114 8Y7Q+p|O 6.6.7 差分进化 114 tE`u(B, 6.6.8非局部细化 115 m1Mt#@,$ 6.6.8.1非局部细化参数 115 YLzx<~E4a 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Nbi.\ 6.7.1 细化 116 u /\EtSH 6.7.2 合成 117
7B\Vs-d 6.8 参考文献 117 .Lsavpo 7 导纳图及其他工具 118 X6@WwM~qz 7.1 简介 118 j+uLV{~g6 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 [J4gH^Z_
7.2.1 四分之一波长规则 119 UZJCvfi 7.2.2 导纳图 120 &N\jG373 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ~ijVmWNk 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 xk5@d6Y{r 7.5 斜入射导纳图 141 5a|w+HO, 7.6 对称周期 141 ? -dX`n 7.7 参考文献 142 uJC~LC N 8 典型的镀膜实例 143 |w<H!lGe!$ 8.1 单层抗反射薄膜 145 ~^r29'3 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 BlA_.]Sg$ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ZOeQ+j)|I 8.4 W-膜层 148 J:V6 8.5 V-膜层 149 :?g:~+hfO 8.6 V-膜层高折射基底 150 pH"#8O& 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 iiS-9>]/ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 }:KEj_~. 8.9 四层抗反射薄膜 153 q#,f 4P 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 H?&Mbw
d 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 AK*LyR? 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 rMLp-aR' 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 lTV'J?8!-a 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 sP;nGQ.eN 8.15十五层宽带抗反射膜 159 QSszn`e 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 8TLgNQP 8.17 1/4波长堆栈 162 QD:{U8YbF$ 8.18 陷波滤波器 163 1+jAz`nA:T 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;;C?{ 8.20 褶皱 165 GS a[
oh 8.21 消偏振分光器1 169 ,}ECF> 8.22 消偏振分光器2 171 4,CXJ2 8.23 消偏振立体分光器 172 r0+6evU2 8.24 消偏振截止滤光片 173 b`~p.c%( 8.25 立体偏振分束器1 174 MbZJ;,e? 8.26 立方偏振分束器2 177 Vr^n1sgE}r 8.27 相位延迟器 178 7Z\--=;|[: 8.28 红外截止器 179 kt["m. 8.29 21层长波带通滤波器 180 x7jC)M<k0 8.30 49层长波带通滤波器 181 +zaA,e?\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 ][9%Kl*%@p 8.32 47 红外截止器 183 %yW3VL 8.33 宽带通滤波器 184 X[PZg{ 8.34 诱导透射滤波器 186 ^Eb.:}!D6 8.35 诱导透射滤波器2 188 YW_Q\|p]M 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 WJkZ!O$"j 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
19Mu61 8.35 增益平坦滤波器 193 'B 43_ 8.38 啁啾反射镜 1 196 `_` QxM 8.39 啁啾反射镜2 198 :U3kW8;UMP 8.40 啁啾反射镜3 199 vd
0ljA 8.41 带保护层的铝膜层 200 >0ph9$ 8.42 增加铝反射率膜 201 D#il* 8.43 参考文献 202 GT }F9F~ 9 多层膜 204 XWS%zLaK 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ,9}h 9.2 内部透过率 204 A+"ia1p,} 9.3 内部透射率数据 205 {|&5_][ 9.4 实例 206 GqaDL3Niqs 9.5 实例2 210 _aad=BrMK 9.6 圆锥和带宽计算 212 5Iy;oZ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 zr+zhpp 10 光学薄膜的颜色 216 u09:Z{tL;@ 10.1 导言 216 F+,~v- 10.2 色彩 216 '_w=k4 10.3 主波长和纯度 220 Ma.`A 10.4 色相和纯度 221 P@$/P99 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 xLNtIzx 10.6 色差 226 Tx|Ir+f6L 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 juka0/ 10.8 颜色渲染指数 234 hb zC#@q 10.9 色差计算 235 a(kg/s 10.10 参考文献 236 }XV+gyG=@ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 EQb7-vhg 11.1 短脉冲 238 _aFl_\3> 11.2 群速度 239 ko.(pb@+ 11.3 群速度色散 241 [SHXJ4P* 11.4 啁啾(chirped) 245 }=gx# 11.5 光学薄膜—相变 245 CFzNwgv]z 11.6 群延迟和延迟色散 246 8/i!' 0r\ 11.7 色度色散 246 >}`:Ac 11.8 色散补偿 249 !;i`PPRwk 11.9 空间光线偏移 256 h{HF8>u[ 11.10 参考文献 258 v 1z 12 公差与误差 260 E^ P,*s 12.1 蒙特卡罗模型 260 <j*;.yyC 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 y .#")IAF 12.2.1 误差工具 267 HJXT9;w 12.2.2 灵敏度工具 271 zLD0RBj7p 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Xu<k3oD7 12.2.2.2 灵敏度分布 275 WG6FQAo^8 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 J
pFfzb
12.3 参考文献 276 #!aN{nK0 13 Runsheet 与Simulator 277 {sihus#Q 13.1 原理介绍 277 .y_/U wu 13.2 截止滤光片设计 277 @wpN6 / 14 光学常数提取 289 pm*xb]8y 14.1 介绍 289 >XY`*J^ 14.2 电介质薄膜 289 VL%UR{ 14.3 n 和k 的提取工具 295 1rv)&tKs 14.4 基底的参数提取 302 9N9L}k b 14.5 金属的参数提取 306 !>{G,\^=pT 14.6 不正确的模型 306 N^HUijw< 14.7 参考文献 311 J7= + 15 反演工程 313 _hRcc"MS` 15.1 随机性和系统性 313 p2n0Z\2 15.2 常见的系统性问题 314 ';TT4$(m 15.3 单层膜 314 <(-= 'QA 15.4 多层膜 314 Rv#]I#O 15.5 含义 319 PZE0}>z 15.6 反演工程实例 319 l)Pu2!Ic 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 u.mJQDTH 15.6.2 反演工程提取折射率 327 O4r0R1VQM 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 {;N,t]>8M 16.1 光学性质的热致偏移 329 9:ze{ c $ 16.2 应力工具 335 :rHJ4Tl 16.3 均匀性误差 339 UUzYbuS>&l 16.3.1 圆锥工具 339 g .onTFwN 16.3.2 波前问题 341 mz@T 16.4 参考文献 343 J)`-+}7$v 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (eCJ;%%k 17.1 引言 345 3a?o3= 17.2 操作数 345 ln?v
j)j 18 如何在Function中编写脚本 351 @x"0_Qw 18.1 简介 351 =+U `-J}g 18.2 什么是脚本? 351 12;8o<~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Qr^|:U!;[z 18.4 基础 352 Fy`(BF\ 18.4.1 Classes(类别) 352 AG!w4Ky` 18.4.2 对象 352 !G SV6 18.4.3 信息(Messages) 352 _AQb6Nb
18.4.4 属性 352 eZ|%<Wpu 18.4.5 方法 353 iVB86XZ` 18.4.6 变量声明 353 r<K(jG[:{f 18.5 创建对象 354 CjlKMbnBH 18.5.1 创建对象函数 355 3pv4B:0 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 uT}' Y)m 18.5.3 丢弃对象 356 Min
^> 18.5.4 总结 356 <F}_ /q1 18.6 脚本中的表格 357 G]+&!4 18.6.1 方法1 357 Qa.<K{m#? 18.6.2 方法2 357 =R #Qx, 18.7 2D Plots in Scripts 358 ep2k%?CX 1 18.8 3D Plots in Scripts 359 1+9W+$=h2 18.9 注释 360 Tav*+ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 /9HVY
%n 18.11 一个更高级的脚本 362 :?/cPg'D 18.12 <esc>键 364 JBJhG<J 18.13 包含文件 365 U<CTubF 18.14 脚本被优化调用 366 a"FCZ.O1 18.15 脚本中的对话框 368 8g&?
Cc 18.15.1 介绍 368 &K.?p2$X 18.15.2 消息框-MsgBox 368 kuol rfGB 18.15.3 输入框函数 370 2
dAB-d:k 18.15.4 自定义对话框 371 ?,&
tNP{jq 18.15.5 对话框编辑器 371 Wn(6,MDUN 18.15.6 控制对话框 377 Zy o[(`y 18.15.7 更高级的对话框 380 VO$
iNK 18.16 Types语句 384 rcMwFE?|xq 18.17 打开文件 385 Olh<,p+x 18.18 Bags 387 poToeagZ~Q 18.13 进一步研究 388 }HY-uQ%@g 19 vStack 389 c
)G3k/T5 19.1 vStack基本原理 389 Vm3v-=6 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 p4'G$]# 19.3 五棱镜 393 d5oIH 19.4 光束距离 396 j#+!\ft5 19.5 误差 399 ?)u@Rf9> 19.6 二向分色棱镜 399 Ed_N[I
19.7 偏振泄漏 404 ||;hciO 19.8 波前误差—相位 405 @>p<3_Y1 19.9 其它计算参数 405 89o/F+ _b 20 报表生成器 406 :.$3vaZ@ 20.1 入门 406 CC L 20.2 指令(Instructions) 406 7PtN?;rP 20.3 页面布局指令 406 M+w=O!dq 20.4 常见的参数图和三维图 407 B]uc<`f 20.5 表格中的常见参数 408 tD+9kf2 20.6 迭代指令 408 ]=>F.GE 20.7 报表模版 408 Zg'Q>.: 20.8 开始设计一个报表模版 409
8xccp4 21 一个新的project 413 \3pc"^W 21.1 创建一个新Job 414 FQqI<6; 21.2 默认设计 415 eD*A) 21.3 薄膜设计 416 k}
| 21.4 误差的灵敏度计算 420 RLLTw ?]$ 21.5 显色指数计算 422 q U]gj@R 21.6 电场分布 424 l]8D7(g 后记 426 `NgAT
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