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c~z82iXNO 内容简介 c0,0`+2~ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ,{M^-3C 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 W42iu"@ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 zHA!%>%' ED=V8';D 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 8(pp2r lR 目录 K^1o DP Preface 1 #|L8tuWW 内容简介 2 0?s|i : 目录 i RRmz"j> 1 引言 1 [@VP?74 2 光学薄膜基础 2 OI|[roMK 2.1 一般规则 2 B<5R 2.2 正交入射规则 3 A P)L:7w'e 2.3 斜入射规则 6 Y<N5#
);f 2.4 精确计算 7 >0/i[k-dk 2.5 相干性 8 C _'%NlJ' 2.6 参考文献 10 idLWe9gC 3 Essential Macleod的快速预览 10 +"rDT1^V 4 Essential Macleod的特点 32 tr<Nm6! 4.1 容量和局限性 33 SIBtmm1W 4.2 程序在哪里? 33 J\+0[~~ 4.3 数据文件 35 ((H^2KJn 4.4 设计规则 35 zZL6z4g 4.5 材料数据库和资料库 37 3@kf@Vf 4.5.1材料损失 38 kVkU)hqR 4.5.1材料数据库和导入材料 39 3O,+=?VK 4.5.2 材料库 41 \H1(PA 4.5.3导出材料数据 43 @i2E\} 4.6 常用单位 43 |]jb& M 4.7 插值和外推法 46 $Q &lSVQ 4.8 材料数据的平滑 50 \hTm)-FP 4.9 更多光学常数模型 54 VJeu8ZJ. 4.10 文档的一般编辑规则 55 ) pzy 4.11 撤销和重做 56 Lt u'W22 4.12 设计文档 57 >"^ O"E 4.10.1 公式 58 J?V? R 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 }JF13beU 4.10.3 沉积密度 59 %'bM){ 4.10.4 平行和楔形介质 60 ~-ia+A6GIV 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 <CS(c|7 4.10.4 性能 61 YN/|$sMD| 4.10.5 保存设计和性能 64 Luq#9(P 4.10.6 默认设计 64 I3aNFa} 4.11 图表 64 F0GxH? 4.11.1 合并曲线图 67 p*< 0"0 4.11.2 自适应绘制 68 H=<S 9M 4.11.3 动态绘图 68 8m-U){r!U^ 4.11.4 3D绘图 69 g2BHHL;` 4.12 导入和导出 73 _dqzB$JV 4.12.1 剪贴板 73 =O&%c%~q 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 {+] [5<q 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 .!Oo|m`V@ 4.13 背景 77 vmU@^2JSJ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 "i
nd$Z`c 4.15 生成Rugate 84 {&cJDqz5= 4.16 参考文献 91 J1,9kCO 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 y^;#&k! 5.1 Jobs 92 '9laa=H%8 5.2 创建一个新Job(工作) 93 2y//'3[ 5.3 输入材料 94 r/YMLQ 5.4 设计数据文件夹 95 `nUXDmdwzO 5.5 默认设计 95 VU#`oJ:{ 6 细化和合成 97 %P<hW+P! 6.1 优化介绍 97 R_ B7EP 6.2 细化 (Refinement) 98 T5R-B=YWu 6.3 合成 (Synthesis) 100 *F+KqZ.2 6.4 目标和评价函数 101 8*W#DH! 6.4.1 目标输入 102 pM+ AjPr 6.4.2 目标 103 Tl%`P_J)-S 6.4.3 特殊的评价函数 104 ^UciW 6.5 层锁定和连接 104 w^?>e;/\ 6.6 细化技术 104 ~Y `ldL 6.6.1 单纯形 105 )mg:_K 6.6.1.1 单纯形参数 106 oQLq&zRH`f 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 AS!?q 6.6.2.1 Optimac参数 108 )SaGH3~*C 6.6.3 模拟退火算法 109 v:f}XK< 6.6.3.1 模拟退火参数 109 -C;^3R[
O 6.6.4 共轭梯度 111 5-|:^hU9 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 o\[~.";Z 6.6.5 拟牛顿法 112 aAZZ8V 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 cm&nd'A't 6.6.6 针合成 113 '<jyw 6.6.6.1 针合成参数 114 <Q3oT 6.6.7 差分进化 114 %D UH@j 6.6.8非局部细化 115 *U^6u/iH 6.6.8.1非局部细化参数 115 1Lc#m`Jln 6.7 我应该使用哪种技术? 116 p2Z?T}fa}& 6.7.1 细化 116 'vVQg 6.7.2 合成 117 w;;BSJ]+[ 6.8 参考文献 117 ~d
o9;8v 7 导纳图及其他工具 118 _ q(ko/T 7.1 简介 118 "LHcB]^< 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ?L5zC+c! 7.2.1 四分之一波长规则 119 18)'c?^. 7.2.2 导纳图 120 #9B)Xx!g 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 qaqBOHI6G 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 rDD:7*z 7.5 斜入射导纳图 141 j?A/# 7.6 对称周期 141 J &o|QG 7.7 参考文献 142 "$~':) V" 8 典型的镀膜实例 143 *!4Z#Y 8.1 单层抗反射薄膜 145 /vY(o1o
x 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 5Iy|BRU(% 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 aB*Bz]5;E 8.4 W-膜层 148 }HL]yDO 8.5 V-膜层 149 m- %E-nr 8.6 V-膜层高折射基底 150 <>n0arAn 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 a Fc1|.Nm 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 8|b3j^u 8.9 四层抗反射薄膜 153 &LmJ!^# 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 G[B=>Cy 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 &Q9qq~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ucuSe!IcX 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 b}OY4~ Y4 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 TIx|L 8.15十五层宽带抗反射膜 159 )bA;?i 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 &qLf@1AD 8.17 1/4波长堆栈 162 5uGqX" 8.18 陷波滤波器 163 kJWn<5%ayg 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 x[4`fM.m* 8.20 褶皱 165 NWP5If|'X 8.21 消偏振分光器1 169 hMzs*gK 8.22 消偏振分光器2 171 OGBHos 8.23 消偏振立体分光器 172 LZ\q37UV 8.24 消偏振截止滤光片 173 HvUxsdT 8.25 立体偏振分束器1 174 Q;MT"=RW 8.26 立方偏振分束器2 177 `0rd26Qro 8.27 相位延迟器 178 F@^~7ZmP` 8.28 红外截止器 179 x9NEFtqjm 8.29 21层长波带通滤波器 180 l+3[ KCE 8.30 49层长波带通滤波器 181 Q0$8j-1I 8.31 55层短波带通滤波器 182 Om \o#{D 8.32 47 红外截止器 183 #:%&x@@c3P 8.33 宽带通滤波器 184 rjl`&POqc 8.34 诱导透射滤波器 186 5VRYO"D: 8.35 诱导透射滤波器2 188 y9_V 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 -Btk 3 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 SEORSS 8.35 增益平坦滤波器 193 h}-3\8 > 8.38 啁啾反射镜 1 196 `{4i)n%e& 8.39 啁啾反射镜2 198 M])ZK 8.40 啁啾反射镜3 199 w;D+y*2 8.41 带保护层的铝膜层 200 J%8(kWQ| 8.42 增加铝反射率膜 201 ::o lN 8.43 参考文献 202 wWgWWXGT} 9 多层膜 204 k2E0/ @f{k 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 "vA}FV%tRq 9.2 内部透过率 204 |yvQ[U~PQ 9.3 内部透射率数据 205 8][nmjk0 9.4 实例 206 ?xK8# 9.5 实例2 210 P<oehw'> 9.6 圆锥和带宽计算 212 -HQQw$ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 >82@Q^O 10 光学薄膜的颜色 216 %el"BSB 10.1 导言 216 [vge56h 10.2 色彩 216 |].pDwgt 10.3 主波长和纯度 220 85lCj-cs 10.4 色相和纯度 221 Z/Eb: 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 =nz}XH%= 10.6 色差 226 7ByTnYe~S 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 I6~pV@h^= 10.8 颜色渲染指数 234 8'n/?.7cX 10.9 色差计算 235 aF8fqu\ 10.10 参考文献 236 WegtyO 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 r$5i Wu 11.1 短脉冲 238 aHlcfh9| 11.2 群速度 239 >oea{u 11.3 群速度色散 241 `(T,+T4C5k 11.4 啁啾(chirped) 245 '"y|p+=j: 11.5 光学薄膜—相变 245 jATI&oX 11.6 群延迟和延迟色散 246 wNq;;AJ$ 11.7 色度色散 246 L}GC<D: 11.8 色散补偿 249 C?ulj9=Z 11.9 空间光线偏移 256 L{:9Cx!F 11.10 参考文献 258 ^?$WVB 12 公差与误差 260 vK(i9>;7 12.1 蒙特卡罗模型 260 (E/lIou 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ANvR i+ _ 12.2.1 误差工具 267 YRv&1!VLE 12.2.2 灵敏度工具 271 tcI}Ca>u 12.2.2.1 独立灵敏度 271 A"`foI$0 12.2.2.2 灵敏度分布 275 x? ?pBhJH 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 U;bK!& |