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*]!rT&E 内容简介 j' b0sve|? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Ve<f} 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 4E+8kz' 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 0:c3aq&u ]2A2<Q_, 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 >'jkL5l 目录 >4os%T Preface 1 Q`Rn,kCVy 内容简介 2 ScmwHid:\ 目录 i alBnN<UM 1 引言 1 ~g;)8X;;+ 2 光学薄膜基础 2 Z/ L%?zH 2.1 一般规则 2 7\gu; [n 2.2 正交入射规则 3 K>n@8<7 2.3 斜入射规则 6 f+\ UVq? 2.4 精确计算 7 J|VDZ# c7 2.5 相干性 8 ja(ZJ[<` 2.6 参考文献 10 Y=y
0`?K 3 Essential Macleod的快速预览 10 ubc
k{\. 4 Essential Macleod的特点 32 ;Eh"]V,e 4.1 容量和局限性 33 RLcC>Z 4.2 程序在哪里? 33 4JXJ0T ar 4.3 数据文件 35 LLbI}: 4.4 设计规则 35 p&D7&Sb[ 4.5 材料数据库和资料库 37 +fq\K] 4.5.1材料损失 38 yw1Xxwc 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ,fo7.
h4{ 4.5.2 材料库 41 OF:0jOW
4.5.3导出材料数据 43 v9(N}hoP 4.6 常用单位 43 bfkFk 4.7 插值和外推法 46 -OnKvpeI 4.8 材料数据的平滑 50 fA=Lb^,M 4.9 更多光学常数模型 54 `'gcF}); 4.10 文档的一般编辑规则 55 $4og{ 4.11 撤销和重做 56 w4zp%`?D' 4.12 设计文档 57 ^==Tv+T9U 4.10.1 公式 58 v?n# C 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 LvU/,.$ 4.10.3 沉积密度 59 @moaa} 1 4.10.4 平行和楔形介质 60 D&]xKx 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 /;xrd\du 4.10.4 性能 61 vG=Pi'4XXo 4.10.5 保存设计和性能 64 .k#O[^~] 4.10.6 默认设计 64 dKL9}:oUa 4.11 图表 64 9NZq
k 4.11.1 合并曲线图 67 1&Ma`M(' 4.11.2 自适应绘制 68 uzLm TmM+ 4.11.3 动态绘图 68 JV+Uy$P! 4.11.4 3D绘图 69 m~&>+q ^7 4.12 导入和导出 73 <TSps!(# 4.12.1 剪贴板 73 :_+U[k(# 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 MOHw{Vw( 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 V9%9nR!' 4.13 背景 77 u;b 6uE 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 KvI/!hl\ 4.15 生成Rugate 84 0
t/mLw& 4.16 参考文献 91 !~j9Oc^ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 >xH?`I7;f 5.1 Jobs 92 cBHUa}: 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Urksj:N 5.3 输入材料 94 t{B6W)q 5.4 设计数据文件夹 95 H)y_[:[ 5.5 默认设计 95 M3dUGM 6 细化和合成 97 i?)bF!J 6.1 优化介绍 97 u{dkUG1ia 6.2 细化 (Refinement) 98 6vzvH 6.3 合成 (Synthesis) 100 - 8jlh 6.4 目标和评价函数 101 {3!A\OR 6.4.1 目标输入 102 YeB C6`7y 6.4.2 目标 103 )5Cqyp~P 6.4.3 特殊的评价函数 104 Cn.dv- 6.5 层锁定和连接 104 Ad-_=a% 6.6 细化技术 104 Eok8+7g0& 6.6.1 单纯形 105 KCqz] 6.6.1.1 单纯形参数 106 715J1~aRNr 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $-E<{ 6.6.2.1 Optimac参数 108 '|M} 3sL 6.6.3 模拟退火算法 109 DYew6B- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 O_5;?$[m 6.6.4 共轭梯度 111 xx?0Ftuq 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 H/*i-%]v+( 6.6.5 拟牛顿法 112
P# ;pQC 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 J>nta?/,X 6.6.6 针合成 113 h}S2b@e| 6.6.6.1 针合成参数 114 Q1H.2JXr 6.6.7 差分进化 114 TETfRnm 6.6.8非局部细化 115 [yRqSB 6.6.8.1非局部细化参数 115 Aiqb*v$ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Q0xQxz 6.7.1 细化 116 h^J :k 6.7.2 合成 117 w}29#F\]R 6.8 参考文献 117 bf\ Uq<&IJ 7 导纳图及其他工具 118 9g$fFO 7.1 简介 118 j\.e6&5%SS 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ~{6}SXp4U 7.2.1 四分之一波长规则 119 h@s i)5"
7.2.2 导纳图 120 T{BGg 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 bnE&-N* 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 s2nZW pIy 7.5 斜入射导纳图 141 rPHM_fW(O@ 7.6 对称周期 141 CT|H1Ry2T 7.7 参考文献 142 1+tPd7U 8 典型的镀膜实例 143 :[Ie0[H/M 8.1 单层抗反射薄膜 145 0s.4]Zg>5 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 (k%r_O 6 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 fY|vq
amA; 8.4 W-膜层 148 MOIVt) ZY 8.5 V-膜层 149 4&~*;an7 8.6 V-膜层高折射基底 150 e"2x!(&n( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Rr\fw' 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ASNo6dP7 8.9 四层抗反射薄膜 153 A}1:fw\Fn3 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 s1T}hp 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 FWS!b!#,N 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 X d&oERJj 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 >lugHF$G 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Fk?KR 8.15十五层宽带抗反射膜 159 D6EqJ,~ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 JJP!9< 8.17 1/4波长堆栈 162 D,s[{RW+q 8.18 陷波滤波器 163 u 0 K1n_ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 /(i~Hpp 8.20 褶皱 165 iyMoLZ5 8.21 消偏振分光器1 169 1w>G8 8.22 消偏振分光器2 171 -}Rh+n` 8.23 消偏振立体分光器 172 qPCI@5n3T? 8.24 消偏振截止滤光片 173 QO|jdlg 8.25 立体偏振分束器1 174 @t8{pb;v 8.26 立方偏振分束器2 177 e4cWi 8.27 相位延迟器 178 hrbeTtqi 8.28 红外截止器 179 ]Vf2Mn=]" 8.29 21层长波带通滤波器 180 `P;uPQDzZ3 8.30 49层长波带通滤波器 181 =&vRT;6 8.31 55层短波带通滤波器 182 1,6Y)_ 8.32 47 红外截止器 183 CWnRRZ}r 8.33 宽带通滤波器 184 m9aP]I3g]\ 8.34 诱导透射滤波器 186 A@ w9_qo 8.35 诱导透射滤波器2 188 T{ /\q 5 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Zg >!5{T 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 sAPYQ 8.35 增益平坦滤波器 193 JRw)~Tg @ 8.38 啁啾反射镜 1 196 Ly6) ,[q~ 8.39 啁啾反射镜2 198 QST-!`]v 8.40 啁啾反射镜3 199 %#7^b=;= 8.41 带保护层的铝膜层 200 rVnolA*% 8.42 增加铝反射率膜 201 :?7^STc 8.43 参考文献 202 E%)3{#.z 9 多层膜 204 0ac'<;9]zP 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 cA+O]",} 9.2 内部透过率 204 pKk{Q0Rt 9.3 内部透射率数据 205
NW?h~2 9.4 实例 206 p,#**g: 9.5 实例2 210 5U(ry6fI= 9.6 圆锥和带宽计算 212 T-lHlm 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [2zS@p 10 光学薄膜的颜色 216 Eb\SK"8 10.1 导言 216 n UD;y}}n 10.2 色彩 216 P Z+Rz1x 10.3 主波长和纯度 220 0I>[rxal 10.4 色相和纯度 221 rcjj(
C 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Z`'&yG;U 10.6 色差 226 1=Q3WMT 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 0bR})}a+Yg 10.8 颜色渲染指数 234 &0euNHH;sL 10.9 色差计算 235
<:`x> _ 10.10 参考文献 236 'FGf#l< 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 \jByJCN 11.1 短脉冲 238 },tn 11.2 群速度 239 {;Y2O.lV 11.3 群速度色散 241 >*[Bq; 11.4 啁啾(chirped) 245 .tRWL! 11.5 光学薄膜—相变 245 {@`Z`h"N 11.6 群延迟和延迟色散 246 2sXX0kq~V 11.7 色度色散 246 MIWI0bnf 11.8 色散补偿 249 =Ev*Q[ 11.9 空间光线偏移 256 ADN 11.10 参考文献 258 ZG)%vB2c 12 公差与误差 260 a`uHkRX
)U 12.1 蒙特卡罗模型 260 AP_2.V=Sn 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 F /% 5 r{ 12.2.1 误差工具 267 `Ui|T 12.2.2 灵敏度工具 271 -OV!56& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 6/eh~ME= 12.2.2.2 灵敏度分布 275 j`kw2( 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 1t7S:IZ 12.3 参考文献 276 Z3
$3zyi 13 Runsheet 与Simulator 277 4F>?G{ci 13.1 原理介绍 277 &+V|L dh 13.2 截止滤光片设计 277 ,Q8)r0 c 14 光学常数提取 289 4V0j1k&' 14.1 介绍 289 Z'L}x6 14.2 电介质薄膜 289 w6[uM%fHG 14.3 n 和k 的提取工具 295 ^3
'7 14.4 基底的参数提取 302 jB!Q8#&Q 14.5 金属的参数提取 306 !|gln)|A 14.6 不正确的模型 306 GT} =(sD L 14.7 参考文献 311 +gQoYlso 15 反演工程 313 Jd>"g9 15.1 随机性和系统性 313 6P KH% 15.2 常见的系统性问题 314 }^
j"@{~ 15.3 单层膜 314 @.Pe.\Z 15.4 多层膜 314 5>'1[e45 15.5 含义 319 lnoK.Vk9, 15.6 反演工程实例 319 SMdQ,n1] 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 7+vyN^XJ"5 15.6.2 反演工程提取折射率 327 e8"?Qm7 J 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 L0HkmaH 16.1 光学性质的热致偏移 329 A!Ls<D. 16.2 应力工具 335 HO(9)sK 16.3 均匀性误差 339 [EETx- 16.3.1 圆锥工具 339 wLf=a^c# 16.3.2 波前问题 341 LMmW3W`
16.4 参考文献 343 sA u ;i 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 EJrn4QOs 17.1 引言 345 } 1> i 17.2 操作数 345 ."m2/Ks7 18 如何在Function中编写脚本 351 T>ds<MaLP 18.1 简介 351 \Q+<G-Kb. 18.2 什么是脚本? 351 D20n'>ddg 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 j7|r^ 18.4 基础 352 KC-q] 18.4.1 Classes(类别) 352 76rNs|z~ 18.4.2 对象 352 qh)o44/
$ 18.4.3 信息(Messages) 352 yI 6AafS~ 18.4.4 属性 352 tNI~<#+lg 18.4.5 方法 353 U0/X!@F- 18.4.6 变量声明 353 jHj*S9:` 18.5 创建对象 354 \*0ow`|K 18.5.1 创建对象函数 355 a0oM KGW: 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 \i-HECc"U 18.5.3 丢弃对象 356 )r#^{{6[v 18.5.4 总结 356 gZ*8F|sg 18.6 脚本中的表格 357 C"I:^&sL 18.6.1 方法1 357 Vb`m3 18.6.2 方法2 357 Gmi w(T 18.7 2D Plots in Scripts 358 BiQ7r=Dd. 18.8 3D Plots in Scripts 359 R30{/KK 18.9 注释 360 U!L<v!$ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ?th`5K30 18.11 一个更高级的脚本 362 xA-O?s"CY 18.12 <esc>键 364 Jp<Y2- 18.13 包含文件 365 i6p0(OS&D 18.14 脚本被优化调用 366 UGNFWZ c 18.15 脚本中的对话框 368
]:m}nJ_ 18.15.1 介绍 368 fT-yY` 18.15.2 消息框-MsgBox 368 LB|FVNW/S 18.15.3 输入框函数 370 X#$mBRK7 18.15.4 自定义对话框 371 %G& Zm$u= 18.15.5 对话框编辑器 371 $:R"IqDG 18.15.6 控制对话框 377 #TLqo(/ 18.15.7 更高级的对话框 380 ^@'LF
T) 18.16 Types语句 384 Q]7Rqslz 18.17 打开文件 385 `gIlS^Q 18.18 Bags 387 .R/`Y)4 18.13 进一步研究 388 aO9a G*9T 19 vStack 389 smLXNO 19.1 vStack基本原理 389 `b^eRnpR 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 X0Q};, 19.3 五棱镜 393 G'/36M@ 19.4 光束距离 396 ^w eU\ 19.5 误差 399 R&13P&:g 19.6 二向分色棱镜 399 ^Tbw#x]2 19.7 偏振泄漏 404 A`|OPi) 19.8 波前误差—相位 405 $okGqu8z.O 19.9 其它计算参数 405 UwuDs2
t 20 报表生成器 406 0Bx.jx0? 20.1 入门 406 ad). X:Qs 20.2 指令(Instructions) 406 tl |Qw";I 20.3 页面布局指令 406 Dz4fP;n 20.4 常见的参数图和三维图 407 ALqP;/ 20.5 表格中的常见参数 408 \Lxsg!wtJ 20.6 迭代指令 408 w{J0K;L 20.7 报表模版 408 !JtVp&? 20.8 开始设计一个报表模版 409 N-fGc?E 21 一个新的project 413 |kL^k{=zV 21.1 创建一个新Job 414 K~p\B
21.2 默认设计 415 W8:?y*6 21.3 薄膜设计 416 }v[*V 21.4 误差的灵敏度计算 420 I4kN4*d!N, 21.5 显色指数计算 422 t&+f:)n 21.6 电场分布 424 u%FG%
j?C 后记 426 n22k<@y 有兴趣可以扫码联系 #F\}PCBe'
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