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"+WR[-n>\ 内容简介 b?$09,{0 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 G](K2= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 3pp
w_?k 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 xr/k.Fz &zp5do;m 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 QD<4(@c5| 目录 Dk-L4FS Preface 1 kT1lOP-Bg 内容简介 2 }B-A*TI<h 目录 i }rE|\p> 1 引言 1 H6O\U2+ 2 光学薄膜基础 2 vy#(|[pL{ 2.1 一般规则 2 i/~J0qQ 2.2 正交入射规则 3 kUt9'|9! 2.3 斜入射规则 6 %)D7Dr 2.4 精确计算 7 FCWphpz 2.5 相干性 8 $T4PC5. 2.6 参考文献 10 ,fw[ J 3 Essential Macleod的快速预览 10 zT% kx:Fk 4 Essential Macleod的特点 32 Kv]6 b2HT 4.1 容量和局限性 33 *LRGfk+h 4.2 程序在哪里? 33 q T].,? 4.3 数据文件 35 D'h2 DP! 4.4 设计规则 35 *K(xES!b 4.5 材料数据库和资料库 37 @_Zx'mTI 4.5.1材料损失 38 &J b.OCf 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ~30Wb9eL 4.5.2 材料库 41 WI6E3,ejB1 4.5.3导出材料数据 43 t}7wRTG 4.6 常用单位 43 rieQ&Jt" 4.7 插值和外推法 46 eFQi
K6`i 4.8 材料数据的平滑 50 >I?Mi{'a 4.9 更多光学常数模型 54 +joE 4.10 文档的一般编辑规则 55 [q&J"dt 4.11 撤销和重做 56 .y/b$|d, 4.12 设计文档 57 dx}/#jMa 4.10.1 公式 58 u-_$?'l;~ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 IdxTo Mr 4.10.3 沉积密度 59 -z$0S%2? 4.10.4 平行和楔形介质 60 pL@zZK0 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 v+#j> 4.10.4 性能 61 ib_Gy77Os 4.10.5 保存设计和性能 64 VK;x6*Y 4.10.6 默认设计 64 \6 hL W_q1 4.11 图表 64 ,NEs{!
T 4.11.1 合并曲线图 67 !5j3gr~ 4.11.2 自适应绘制 68 GZEonCk[& 4.11.3 动态绘图 68 h'~-K` 4.11.4 3D绘图 69 <6C9R> 4.12 导入和导出 73 ^-u HdafP 4.12.1 剪贴板 73 gKN_~{{OD 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Ye2];(M 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 dV{Hn {( 4.13 背景 77 P(epG?Qg 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 K eI:/2 4.15 生成Rugate 84 2g6_qsqi 4.16 参考文献 91 =h::VB}Lv 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2^6TrZA7M6 5.1 Jobs 92 $`{q[ { 5.2 创建一个新Job(工作) 93
|WU`p 5.3 输入材料 94 t`T\d\ 5.4 设计数据文件夹 95 9*;isMkq< 5.5 默认设计 95 V6MT> T 6 细化和合成 97 yH%+cmp7 6.1 优化介绍 97 9K46>_TyH 6.2 细化 (Refinement) 98 xH_ie 6.3 合成 (Synthesis) 100 LGRO En<*d 6.4 目标和评价函数 101 g[au-.: 6.4.1 目标输入 102 Q
*]`t@q 6.4.2 目标 103 5
?~-Vv31s 6.4.3 特殊的评价函数 104 |Xm4(FN\ 6.5 层锁定和连接 104 o:8S$F`O@ 6.6 细化技术 104 V-;nj,.mY 6.6.1 单纯形 105 ] ZGvRA& 6.6.1.1 单纯形参数 106 9/daRq$ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 8[1DO1*P 6.6.2.1 Optimac参数 108 rtL9cw5 6.6.3 模拟退火算法 109 5**5b9bj-9 6.6.3.1 模拟退火参数 109 @MZ6E$I 6.6.4 共轭梯度 111 U.Chf9a- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [gkRXP[DGs 6.6.5 拟牛顿法 112 C}=_8N 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 RO$@>vL 6.6.6 针合成 113 wYQ1Z 6.6.6.1 针合成参数 114 ;Nf hKu%K 6.6.7 差分进化 114 V> a3V' 6.6.8非局部细化 115 <]Pix) 6.6.8.1非局部细化参数 115 wGzXp5
dl 6.7 我应该使用哪种技术? 116 xUo)_P\_ 6.7.1 细化 116 Wytvs*\` 6.7.2 合成 117 m0A@jWgd 6.8 参考文献 117 M-Z6TL 7 导纳图及其他工具 118 ~I\r1Wj; 7.1 简介 118 im\YL< 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ?X_0Iy}1 7.2.1 四分之一波长规则 119 :*P___S= 7.2.2 导纳图 120 x-V' 0-#U> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 y>7VxX0xi 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 {`K]sa7` 7.5 斜入射导纳图 141 Gp ^ owr 7.6 对称周期 141 _WDBG 7.7 参考文献 142 iTugvb 8 典型的镀膜实例 143 Ag>>B9 8.1 单层抗反射薄膜 145 &Qq/Xi,bZ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 SEQO2`]e: 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Sa[EnC 8.4 W-膜层 148 p21=$?k!; 8.5 V-膜层 149 v[,v{5b 8.6 V-膜层高折射基底 150 P96Cw~<Q? 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 7:VEM;[d 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 S0.- >"L 8.9 四层抗反射薄膜 153 EAC(^+15K 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 9Nag%o{*S> 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 n^JUZ8 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 0l(E!d8&' 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ]*g ss'N 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ^i`3cCFB< 8.15十五层宽带抗反射膜 159 OP|.I._I 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 UPVO~hB; 8.17 1/4波长堆栈 162 kKxL04 8.18 陷波滤波器 163 VRd:2uDS 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 C NzSBm 8.20 褶皱 165 *%Nns', 8.21 消偏振分光器1 169 c<+g|@A# 8.22 消偏振分光器2 171 }P&1s,S8J# 8.23 消偏振立体分光器 172 ,NaV
["9$ 8.24 消偏振截止滤光片 173 1%SJ1oY 8.25 立体偏振分束器1 174 w>z8c3Dq} 8.26 立方偏振分束器2 177 2\nBqCxR 8.27 相位延迟器 178 f*|8n$% 8.28 红外截止器 179 Io,/ +#| 8.29 21层长波带通滤波器 180 8g#
c%eZ 8.30 49层长波带通滤波器 181 P;L)1 g 8.31 55层短波带通滤波器 182 8"?Vcw& 8.32 47 红外截止器 183 gfdPx:7^ 8.33 宽带通滤波器 184 vy{rwZ$ 8.34 诱导透射滤波器 186 LM"W)S 8.35 诱导透射滤波器2 188 xI`Uk8- 8 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 o7c%\v[ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 B
c,"12 8.35 增益平坦滤波器 193 ,yHzo 8.38 啁啾反射镜 1 196 fR]p+\#8u* 8.39 啁啾反射镜2 198 Q
QsVIHA 8.40 啁啾反射镜3 199 7GBZA=J 8.41 带保护层的铝膜层 200 tf$PaA 8.42 增加铝反射率膜 201 G_2gKkIK- 8.43 参考文献 202 jpYw#]Q 9 多层膜 204 R
(tiIo 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 r/N[7*i 9.2 内部透过率 204 :Bx+WW&P.i 9.3 内部透射率数据 205 t5ny"k! 9.4 实例 206 +X* F<6mZ 9.5 实例2 210 E(aX4^]g 9.6 圆锥和带宽计算 212 ;e#>n!<u 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 xE G+%Uk{ 10 光学薄膜的颜色 216 YiIddQ 10.1 导言 216 lgCHGv2@ 10.2 色彩 216 <O,'5+zG% 10.3 主波长和纯度 220 I<D&,LFH*w 10.4 色相和纯度 221 hV3,^#9o 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 k8InbX[ 10.6 色差 226 ys&"r":I 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 }"%!(rx 10.8 颜色渲染指数 234 G?Qe"4
. 10.9 色差计算 235 '|YtNhWZ? 10.10 参考文献 236 c*S#UD+ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 (ZE%tbm2 11.1 短脉冲 238 T8,k77 11.2 群速度 239 ]6a/0rg:t 11.3 群速度色散 241 6T^N!3p_ 11.4 啁啾(chirped) 245 &K9VEMCEX 11.5 光学薄膜—相变 245 qO:U]\P 11.6 群延迟和延迟色散 246 1zb$5 {,| 11.7 色度色散 246 a^RZsR 11.8 色散补偿 249 -{yDk$" 11.9 空间光线偏移 256 MAuM)8_P/| 11.10 参考文献 258 S_(&UeTC 12 公差与误差 260 ~u_K&X 12.1 蒙特卡罗模型 260 rtB|N- 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ^;V}l?J_s 12.2.1 误差工具 267 x><zGXvvp| 12.2.2 灵敏度工具 271 vbr~<JT= 12.2.2.1 独立灵敏度 271 T$gkq>!j<E 12.2.2.2 灵敏度分布 275 G*)s%2c>h 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 lSZ"y
Q+ 12.3 参考文献 276 +O|_P`HBoI 13 Runsheet 与Simulator 277 Nf=C?`L 13.1 原理介绍 277 4ggVj*{v 13.2 截止滤光片设计 277 ^z[_U}N\} 14 光学常数提取 289 7,pje j 14.1 介绍 289 H/cs_i 14.2 电介质薄膜 289 ^K7q<X , 14.3 n 和k 的提取工具 295
S 3{Dn 14.4 基底的参数提取 302 '4af
], 14.5 金属的参数提取 306 3M}AxE u 14.6 不正确的模型 306 IL!BPFG w 14.7 参考文献 311 U3mXm?f 15 反演工程 313 )vO_sIbnW 15.1 随机性和系统性 313 i
FC"!23f 15.2 常见的系统性问题 314 5T!&r 15.3 单层膜 314 mcvDxjk,h 15.4 多层膜 314 NY~ dM\ 15.5 含义 319 Y Eg
. 15.6 反演工程实例 319 dj?G.- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
*Zc9yZl2 15.6.2 反演工程提取折射率 327 QH& %mr.S 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 *}+R{ 16.1 光学性质的热致偏移 329 ~&lQNl3`m6 16.2 应力工具 335 z
VnIr<!8_ 16.3 均匀性误差 339 y' 2<qj 16.3.1 圆锥工具 339 \U==f&G?J 16.3.2 波前问题 341 ILNE 4n 16.4 参考文献 343 }phz7N9 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 dz8-): 17.1 引言 345 0Wa#lkn$I 17.2 操作数 345 {;U} :Dx 18 如何在Function中编写脚本 351 8&i;hZm 18.1 简介 351 Us1@\|] 18.2 什么是脚本? 351 jjxIS 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 #o"tMh!f 18.4 基础 352 1UC2zM" 18.4.1 Classes(类别) 352 C#Y,r)l 18.4.2 对象 352 6!*K/2:O 18.4.3 信息(Messages) 352 ERk kSTp 18.4.4 属性 352 K3Huu!Tr 18.4.5 方法 353 Q%rVo4M#2 18.4.6 变量声明 353 )m|C8[ u 18.5 创建对象 354 OdO{xG G@ 18.5.1 创建对象函数 355 ty':`) 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 _wMc*kjJO 18.5.3 丢弃对象 356 "_t4F4z 18.5.4 总结 356 &Y 'z?N 18.6 脚本中的表格 357 )sqaR^ 18.6.1 方法1 357 H1Q''$}Z. 18.6.2 方法2 357 o\d |CE;> 18.7 2D Plots in Scripts 358 KUbJe)}g 18.8 3D Plots in Scripts 359 cS4xe(n8 18.9 注释 360 JAN|aCzD 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Pv#KmSA9 18.11 一个更高级的脚本 362 I`lDWL 18.12 <esc>键 364 SF0Jb"kS 18.13 包含文件 365 x 96}#0' 18.14 脚本被优化调用 366 fH&zR#T7U4 18.15 脚本中的对话框 368 2ed@HJu 18.15.1 介绍 368 O!o <P5X^ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 sb'lZFSP~s 18.15.3 输入框函数 370 -H4PRCDH 18.15.4 自定义对话框 371 ^<!Ia 18.15.5 对话框编辑器 371 X@cSP7b 18.15.6 控制对话框 377 eVTO#R*'| 18.15.7 更高级的对话框 380 )ukF3;Gt 18.16 Types语句 384 %z=`JhE"Q 18.17 打开文件 385 }lH;[+u3 18.18 Bags 387 fD0{ 5 18.13 进一步研究 388 $kv@tzO 19 vStack 389 $khrWiX 19.1 vStack基本原理 389 :|=- (z 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 1p~5h(jI 19.3 五棱镜 393 $-Cy 19.4 光束距离 396 Ny]lvgu9X 19.5 误差 399 %S c=_%6 19.6 二向分色棱镜 399 ,|A{!j` 19.7 偏振泄漏 404 gbJG`zC>U 19.8 波前误差—相位 405 }H5/3be 19.9 其它计算参数 405 &eU3(F`. 20 报表生成器 406 I-TlrW=t 20.1 入门 406 (N7O+3+G 20.2 指令(Instructions) 406 0Lx3]"v 20.3 页面布局指令 406 \d:h$ 20.4 常见的参数图和三维图 407 x+K gc[r 20.5 表格中的常见参数 408 /;7ID41 20.6 迭代指令 408 db'K!M) 20.7 报表模版 408 jK e.gA 20.8 开始设计一个报表模版 409 7r[' 21 一个新的project 413 fwy"w 21.1 创建一个新Job 414 :1*zr 21.2 默认设计 415 C>NQ-w^ 21.3 薄膜设计 416 0_Lm#fE U 21.4 误差的灵敏度计算 420 B O]=vH 21.5 显色指数计算 422 q#jEv- j. 21.6 电场分布 424
">cqt>2 A 后记 426 QTfu: m{ 有兴趣可以扫码联系 =E!x~S;N
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