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3.>jagu 内容简介 (7"qT^s3 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 wM><DrQ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 `ul"D% 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ]M_)f y
jb.6 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 MtS$ovg? 目录 ]O 2_&cs Preface 1 *H;&hq 内容简介 2 E-r/$&D5mP 目录 i xx%WIY:} 1 引言 1 i+2J\.~U#G 2 光学薄膜基础 2 gxJ(u{2 2.1 一般规则 2 thOCzGJ$ 2.2 正交入射规则 3 'oo]oeJ- 2.3 斜入射规则 6 JjM^\LwKkL 2.4 精确计算 7 GU!|J71z 2.5 相干性 8 n32?GRp 2.6 参考文献 10 ]TGJ|X 3 Essential Macleod的快速预览 10 }L@YLnc% 4 Essential Macleod的特点 32 A:N!H_x 4.1 容量和局限性 33 UF}fmDi 4.2 程序在哪里? 33 <F&S 4.3 数据文件 35 &%^[2^H8" 4.4 设计规则 35 j J9| 4.5 材料数据库和资料库 37 |>VHV} 4)< 4.5.1材料损失 38 W0R6<-
1 4.5.1材料数据库和导入材料 39 cZ5[A T 4.5.2 材料库 41 |GIT{_JE 4.5.3导出材料数据 43 LV`- eW 4.6 常用单位 43 t#kmtJC 4.7 插值和外推法 46 3n
X7$$X 4.8 材料数据的平滑 50 a29mVmi > 4.9 更多光学常数模型 54 MTr _8tI 4.10 文档的一般编辑规则 55 Rd 2* 4.11 撤销和重做 56 m"u 9AOH k 4.12 设计文档 57 h4sEH 4.10.1 公式 58 \@5W&Be^ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 |
YvO$4=s 4.10.3 沉积密度 59 GJ!usv u 4.10.4 平行和楔形介质 60 H.'_NCF&;L 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 DT_012z 4.10.4 性能 61 W&GDE 4.10.5 保存设计和性能 64 I_v]^>Xw 4.10.6 默认设计 64 =_=jXWOQv 4.11 图表 64 WpRi+NC}ln 4.11.1 合并曲线图 67 KPKby?qQ^ 4.11.2 自适应绘制 68 !iITX,'8 4.11.3 动态绘图 68 (Iu5QLE 4.11.4 3D绘图 69
c,x2 4.12 导入和导出 73 Jg^tr>I~ 4.12.1 剪贴板 73 8iq~ha$]| 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 r/8,4:rh 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 OG0ro(|dI 4.13 背景 77 ^fH]Rlx 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 9'O<d/xj/ 4.15 生成Rugate 84 }k'8*v}8 4.16 参考文献 91 \\)3:1X 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 &AA u: 5.1 Jobs 92 _Tev503 5.2 创建一个新Job(工作) 93 8>
Gp #T 5.3 输入材料 94 =yk#z84< 5.4 设计数据文件夹 95 MwXgaSV 5.5 默认设计 95 M,|o 2' 6 细化和合成 97 /ZX8gR5x 6.1 优化介绍 97 JWM/np6 6.2 细化 (Refinement) 98 :y0'[LV 6.3 合成 (Synthesis) 100 Wu%;{y~#} 6.4 目标和评价函数 101 {{:MJ\_"h_ 6.4.1 目标输入 102 n0nkv[ 6.4.2 目标 103 90M:0SH 6.4.3 特殊的评价函数 104 0A\o8T.12 6.5 层锁定和连接 104 bMf+/n 6.6 细化技术 104 4{*K%pv\ 6.6.1 单纯形 105 6$2)m;| XY 6.6.1.1 单纯形参数 106 /9W-;l{=z 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 0G;RMR ':5 6.6.2.1 Optimac参数 108 Yr!<O&= 6.6.3 模拟退火算法 109 luAhyEp 6.6.3.1 模拟退火参数 109 K@%. T# 6.6.4 共轭梯度 111 %5jxq9:K 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 C'kd>LAGu 6.6.5 拟牛顿法 112 aZ#c_Q#gZ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 0p:n'P 6.6.6 针合成 113 2=u5N[* 6.6.6.1 针合成参数 114 hNSV}~h 6.6.7 差分进化 114 SbrBlP:G 6.6.8非局部细化 115 H|==i2V{ 6.6.8.1非局部细化参数 115 n(-XI&Kn 6.7 我应该使用哪种技术? 116
,!PNfJA2 6.7.1 细化 116 mbSJ}3c" 6.7.2 合成 117 CQ6Z[hLWF 6.8 参考文献 117 O zY&^:> 7 导纳图及其他工具 118 2~~Q NWN 7.1 简介 118 zLC\Rc4 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 2A
{k>TjQ 7.2.1 四分之一波长规则 119 : E]A51 7.2.2 导纳图 120 b[VP"KZ ? 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 bZ:w_z[3= 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 592q`m\ 7.5 斜入射导纳图 141 X|@|ZRN 7.6 对称周期 141 i$ "B 7.7 参考文献 142 "P'W@ 8 典型的镀膜实例 143 .u)Po;e` 8.1 单层抗反射薄膜 145 .Mdxbs6.C 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 FG1$_zN | 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
jats)!: 8.4 W-膜层 148 315Rk!{AJ 8.5 V-膜层 149 B?$pIG^Mn 8.6 V-膜层高折射基底 150 5(tOQ%AQ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !$f@j6. 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 q/<.^X 8.9 四层抗反射薄膜 153 D 0\
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 '72ZLdi}- 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 2Pasmh 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ?UQE;0 B 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 0:Ak4L6k 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 x^;nQas; 8.15十五层宽带抗反射膜 159 DpoRR` 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 N:Q}Lil 8.17 1/4波长堆栈 162 %v4/.4sR,; 8.18 陷波滤波器 163 hA/K>Z 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 SP97Q- 8.20 褶皱 165 j ]F
Zy 8.21 消偏振分光器1 169 #p6#,PZ 8.22 消偏振分光器2 171 wYOSaGyZ0I 8.23 消偏振立体分光器 172 aKhI|%5kA 8.24 消偏振截止滤光片 173 X+
h|sy 8.25 立体偏振分束器1 174 DU|0#z=*t5 8.26 立方偏振分束器2 177 iKs/8n 8.27 相位延迟器 178 9^c\$"2B 8.28 红外截止器 179 ccZ A 8.29 21层长波带通滤波器 180 F]0O4p~fl 8.30 49层长波带通滤波器 181 =VH, i/@ 8.31 55层短波带通滤波器 182 hF.9\X] 8.32 47 红外截止器 183 WpWnwQY`# 8.33 宽带通滤波器 184 KaZ$!JfT 8.34 诱导透射滤波器 186 th2a'y=0 8.35 诱导透射滤波器2 188 9=&LMjTQ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Sz.jv#Y 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Yq $(Ex 8.35 增益平坦滤波器 193 .UU BAyjm 8.38 啁啾反射镜 1 196 F]q pDv 8.39 啁啾反射镜2 198 )R<hYd 8.40 啁啾反射镜3 199 7eqax33f 8.41 带保护层的铝膜层 200 ;SEH|_/ 8.42 增加铝反射率膜 201 JD^(L~ n] 8.43 参考文献 202 %mAgE\y25 9 多层膜 204 2$jTj<.K 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 e3yBB*@ 9.2 内部透过率 204 eZ(<hE> 9.3 内部透射率数据 205 {]n5h#c 5* 9.4 实例 206 EdhT;! 9.5 实例2 210 2fu|X#R 9.6 圆锥和带宽计算 212 7^A;.x 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 k
?X 10 光学薄膜的颜色 216 -y1%c^36_J 10.1 导言 216 a<B[~J 4i 10.2 色彩 216 l23_K7 10.3 主波长和纯度 220 +FP*RNM 10.4 色相和纯度 221 .:B]
a7b 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 L6fc_Mo.EE 10.6 色差 226 loZJV M 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 jV;&*4if 10.8 颜色渲染指数 234 HcXyU/>D 10.9 色差计算 235 82WXgB> 10.10 参考文献 236 s +gZnne 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 >%h_ R: 11.1 短脉冲 238 uHkL$}C 11.2 群速度 239
yS _,lS 11.3 群速度色散 241 ++W_4 B! 11.4 啁啾(chirped) 245 0Y,_
DU 11.5 光学薄膜—相变 245 TPZZln'3 11.6 群延迟和延迟色散 246 x00"d$! 11.7 色度色散 246 E5w.wx 11.8 色散补偿 249 ,^3eMn 11.9 空间光线偏移 256 s?@{ 11.10 参考文献 258 N|EH`eu^i 12 公差与误差 260 dq%7A=- 12.1 蒙特卡罗模型 260 [ Lt1OdGl 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 C\Qor3]; 12.2.1 误差工具 267 *z!!zRh3x 12.2.2 灵敏度工具 271 qsk8 # 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ({ads_l 12.2.2.2 灵敏度分布 275 oj /: 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Q/o!&& 12.3 参考文献 276 3/RmJ`c{ 13 Runsheet 与Simulator 277 US A!N 13.1 原理介绍 277 DBANq\ 13.2 截止滤光片设计 277 e; 5n.+m 14 光学常数提取 289 WX&Man!f 14.1 介绍 289 <7fF9X 14.2 电介质薄膜 289 3<LG~HWST 14.3 n 和k 的提取工具 295 =/&ob%J)9] 14.4 基底的参数提取 302 J?&lpsB3_l 14.5 金属的参数提取 306 Y0:y72mK 14.6 不正确的模型 306 POwJhT 14.7 参考文献 311 uh*b[`e 15 反演工程 313 8 !]$ljg 15.1 随机性和系统性 313 R,-y 15.2 常见的系统性问题 314 Mt (wy%{zK 15.3 单层膜 314 ("<3w2Vlh 15.4 多层膜 314 /.l8Jb4 15.5 含义 319 xWWfts1t 15.6 反演工程实例 319 &2C6q04b 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 c+c3C8s*8 15.6.2 反演工程提取折射率 327 -(V]knIF 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 -} \g[| 16.1 光学性质的热致偏移 329 w-*$gk] 16.2 应力工具 335 >H?l[*9 16.3 均匀性误差 339 jU
|0!] 16.3.1 圆锥工具 339 mO;X>~K 16.3.2 波前问题 341 &@u;xc| v 16.4 参考文献 343 [h SE^
m 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 a@$ U?=\e 17.1 引言 345 xq+$Q:f 17.2 操作数 345 hG .>> 18 如何在Function中编写脚本 351 AD^9?Z
18.1 简介 351 Z(Fsk4, 18.2 什么是脚本? 351 /_}xTP"9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 0l#gS; 18.4 基础 352 6*9hAnH 18.4.1 Classes(类别) 352 t"k6wv;Tq 18.4.2 对象 352 p!BZTwP 18.4.3 信息(Messages) 352 :M)B#@ c= 18.4.4 属性 352 A ^@:Ps 18.4.5 方法 353 L)H'g 18.4.6 变量声明 353 w|!>>W6J 18.5 创建对象 354 W8+Daw1Nr 18.5.1 创建对象函数 355 =$;i 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 W}p>jP} 18.5.3 丢弃对象 356 `p1szZD& 18.5.4 总结 356 :bFCnV`Q 18.6 脚本中的表格 357 3on]#/"1b 18.6.1 方法1 357 ieXhOA 18.6.2 方法2 357 ]4wyuP,up 18.7 2D Plots in Scripts 358 ykcW>h 18.8 3D Plots in Scripts 359 rlTCVmE8[ 18.9 注释 360 n:d]Z2b 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 L1ZhH3}X 18.11 一个更高级的脚本 362 P6V_cw$ 18.12 <esc>键 364 %>B?WR\yE 18.13 包含文件 365 (]7&][ 18.14 脚本被优化调用 366 }la\?I 18.15 脚本中的对话框 368 Lsa&A+fru 18.15.1 介绍 368 UUi@
U 18.15.2 消息框-MsgBox 368 }z:g}".4 18.15.3 输入框函数 370 7 wS)'zR; 18.15.4 自定义对话框 371 TD:NL4dm 18.15.5 对话框编辑器 371 -3`S;Dmn 18.15.6 控制对话框 377 K0$8t%Z. 18.15.7 更高级的对话框 380 / 4{6` 18.16 Types语句 384 V)#se"GV 18.17 打开文件 385 .O!JI"? 18.18 Bags 387 o&}!bq] 18.13 进一步研究 388 }9yAYZ0q{b 19 vStack 389 P @N7g`u3} 19.1 vStack基本原理 389 F0h`>{1% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 o}H7;v8H 19.3 五棱镜 393 &1)4B 19.4 光束距离 396 `t_S uZ`V 19.5 误差 399 (#x<qi,T 19.6 二向分色棱镜 399 mOji\qia 19.7 偏振泄漏 404 SXkUtY$ 19.8 波前误差—相位 405 (3 xCW
19.9 其它计算参数 405 ` b a}6D 20 报表生成器 406 88(h`RGMh 20.1 入门 406 c ;_ T 20.2 指令(Instructions) 406 J60XUxf 20.3 页面布局指令 406 !]AM#LJ 20.4 常见的参数图和三维图 407 7x`dEi< 20.5 表格中的常见参数 408 ArWMbT>Zqw 20.6 迭代指令 408 2z9\p%MX 20.7 报表模版 408 |hBX" 20.8 开始设计一个报表模版 409
~/Gx~P] 21 一个新的project 413 /RD@ [ 8 21.1 创建一个新Job 414 q
SR\=:$ 21.2 默认设计 415 C
"XvspJ 21.3 薄膜设计 416 F:nhSd 21.4 误差的灵敏度计算 420 H]&a}WQ_ 21.5 显色指数计算 422 G"w
?{W@ 21.6 电场分布 424 +oa\'.~? 后记 426 (B|4wR\ 有兴趣可以扫码联系 u[nx?!
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