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LU $=j 内容简介 Ji4JP0
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 cDIZkni= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 g{^~g 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ZM16 ~k es^@C9qt 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 UR~ s\m 目录 ShesJj Preface 1 c!ieN9^+ 内容简介 2 %uw7sGz\ 目录 i t0_4jVt 1 引言 1 (YM2Cv{4 2 光学薄膜基础 2 Ao+6^z_ 2.1 一般规则 2 }qT{" *SC 2.2 正交入射规则 3 \ `;1[m 2.3 斜入射规则 6 Tq?7-_MLC$ 2.4 精确计算 7 "`NAg 2.5 相干性 8 uaE,F^p 2.6 参考文献 10 K7R!E,oPg 3 Essential Macleod的快速预览 10 Ae\:{[c_D 4 Essential Macleod的特点 32 ik#ti=. 4.1 容量和局限性 33 6UI6E)g 4.2 程序在哪里? 33 H<3:1*E 4.3 数据文件 35 U@9v(TfV 4.4 设计规则 35 Re+oCJ 4.5 材料数据库和资料库 37 $R%tD.d3 4.5.1材料损失 38 I?
="Er[g} 4.5.1材料数据库和导入材料 39 f0879(,i 4.5.2 材料库 41 8<Pi}RH 4.5.3导出材料数据 43 Rl&nR$# 4.6 常用单位 43 NL,6<ZOon, 4.7 插值和外推法 46 A4g,) 4.8 材料数据的平滑 50 .W\JvPTC 4.9 更多光学常数模型 54 10Q!-K),p 4.10 文档的一般编辑规则 55 U1 `pY:P 4.11 撤销和重做 56 W_6gV 4.12 设计文档 57 =ld!=II 4.10.1 公式 58 nDcH;_<;9a 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 6L rI,d 4.10.3 沉积密度 59 KZO[>qC"R 4.10.4 平行和楔形介质 60 =YIosmr 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 'P*OzZ4>$ 4.10.4 性能 61 -24ccN; 4.10.5 保存设计和性能 64 1BgHkDW 4.10.6 默认设计 64 -/
G#ls|? 4.11 图表 64 ?D|kCw69SE 4.11.1 合并曲线图 67 "!_vQ^y 4.11.2 自适应绘制 68 m#ig.z|A 4.11.3 动态绘图 68 U&43/;<, 4.11.4 3D绘图 69 <*+[E!oi 4.12 导入和导出 73 M N (o 4.12.1 剪贴板 73 hYh~%^0dt 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .K1wp G[4 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 cY Qm8TR< 4.13 背景 77 c>3j$D+ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 EEMRy 4.15 生成Rugate 84 @-Y,9mM 4.16 参考文献 91 re,}}' 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 zK I1 5.1 Jobs 92 R#i`H(N 5.2 创建一个新Job(工作) 93 bN6i *)} 5.3 输入材料 94 tt
CC]
Q 5.4 设计数据文件夹 95 O \gVB!x 5.5 默认设计 95 qA[cF$CIl) 6 细化和合成 97 scTt53v^ 6.1 优化介绍 97 C4GkFD
6.2 细化 (Refinement) 98 $d,/(*Y#- 6.3 合成 (Synthesis) 100 w+Gav4 6.4 目标和评价函数 101 0fLd7*1> 6.4.1 目标输入 102 xj9xUun 6.4.2 目标 103 }346uF7C 6.4.3 特殊的评价函数 104 )TyP{X> 6.5 层锁定和连接 104 j<6+p
r 6.6 细化技术 104 17`-eDd 6.6.1 单纯形 105 =GW[UnO 6.6.1.1 单纯形参数 106 .;S1HOHz4 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 yu@Pd3 6.6.2.1 Optimac参数 108 dt>9mF q 6.6.3 模拟退火算法 109 j/F('r~L 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Sx (E'?] 6.6.4 共轭梯度 111 :6Tv4ZUvcG 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 FUZuS!sJ 6.6.5 拟牛顿法 112 u#`51Hr$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~3&hvm[IQ 6.6.6 针合成 113 6'x3g2C/ 6.6.6.1 针合成参数 114 ^N7 C/" p 6.6.7 差分进化 114 O4:_c-V2 6.6.8非局部细化 115 :Rnwyj]) 6.6.8.1非局部细化参数 115
(^B=> 6.7 我应该使用哪种技术? 116 zD<8.AIGC 6.7.1 细化 116 :6u.\u 6.7.2 合成 117 r:Q=6j, 6.8 参考文献 117 9g'6zB 7 导纳图及其他工具 118 0P{8s 7.1 简介 118 c4r9k-w0E 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 [@B!N+P5; 7.2.1 四分之一波长规则 119 `Q/\w1-Q 7.2.2 导纳图 120 .JJ50p 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 [0]J
2 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 cct/mX2&~ 7.5 斜入射导纳图 141 SSyARR+;c 7.6 对称周期 141 Zz]/4 4t 7.7 参考文献 142 ITEf Q@#jU 8 典型的镀膜实例 143 yq<W+b/ 8.1 单层抗反射薄膜 145 B/^o$i 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 :zvAlt'q= 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 IS`ADDU[S 8.4 W-膜层 148 c/:k|x 8.5 V-膜层 149 HD1/1?y!@q 8.6 V-膜层高折射基底 150 om=kA"&&Q
8.7 V-膜层高折射率基底b 151 q}0I`$MU 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 i el@"E 4 8.9 四层抗反射薄膜 153 =Zsxl]h
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ue4{h 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 +x/vZXtOK 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 0I do_V 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 J83C]2~7 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 `*`ZgTV 8.15十五层宽带抗反射膜 159 N3a ]!4Y\ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 \3%3=: 8.17 1/4波长堆栈 162 4x?I,cAN 8.18 陷波滤波器 163 A:(qF.Tm 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 I)0_0JXs 8.20 褶皱 165 fY #Y n 8.21 消偏振分光器1 169 Q`4Ia<5B 8.22 消偏振分光器2 171 NR-<2
e3 8.23 消偏振立体分光器 172 O*B9Bah 8.24 消偏振截止滤光片 173 eNM"e- 8.25 立体偏振分束器1 174 )vg@Kc26 8.26 立方偏振分束器2 177 %qqeL 8.27 相位延迟器 178 hJw]hVYa 8.28 红外截止器 179 @`Dh7Q 8.29 21层长波带通滤波器 180 3H4T*&9;n 8.30 49层长波带通滤波器 181 ,S@B[+VZ 8.31 55层短波带通滤波器 182 zwP*7u$CH 8.32 47 红外截止器 183 \q24E3zS& 8.33 宽带通滤波器 184 vq-;wdq?2 8.34 诱导透射滤波器 186 qK~]au:C 8.35 诱导透射滤波器2 188 -%K}~4J 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 "{3|(Qs 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 HCe/!2Y/% 8.35 增益平坦滤波器 193 Tu,nX'q]m 8.38 啁啾反射镜 1 196 ~Ga{=OM?? 8.39 啁啾反射镜2 198 4!-R&<TLve 8.40 啁啾反射镜3 199 BO6XY90( 8.41 带保护层的铝膜层 200 `krVfE;_O 8.42 增加铝反射率膜 201 !YlEXaS 8.43 参考文献 202 /^I!)|At 9 多层膜 204 =}u?1~V 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 /[Rp~YzW 9.2 内部透过率 204 0;*[}M]Z 9.3 内部透射率数据 205 Ox)_7A 9.4 实例 206 %.Kr`#lCr 9.5 实例2 210 lL5* l,)To 9.6 圆锥和带宽计算 212 qzLD 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 s$0dLEa9 10 光学薄膜的颜色 216 [ :Sl~ 10.1 导言 216 ]gF=I5jn] 10.2 色彩 216 vBM<M3 10.3 主波长和纯度 220 m`Z.xIA7; 10.4 色相和纯度 221 /'_Yct= 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 v|(N 10.6 色差 226 v;}MHl 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 CDr0QM4k:. 10.8 颜色渲染指数 234 HW'I $ . 10.9 色差计算 235 jMX|1b 10.10 参考文献 236 02(Ob 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #G?",,&dM 11.1 短脉冲 238 `bn@;7`X 11.2 群速度 239 3vQVk 11.3 群速度色散 241 4X}TG 11.4 啁啾(chirped) 245 7qWa>fX 11.5 光学薄膜—相变 245 -7J~^m2x 11.6 群延迟和延迟色散 246 Eq=JmO'gHs 11.7 色度色散 246 o"A?Aq 11.8 色散补偿 249 d`j<Bbf- 11.9 空间光线偏移 256 <$#^)]Ts 11.10 参考文献 258 ORXH<;^0y 12 公差与误差 260 ~(`MP< 12.1 蒙特卡罗模型 260 E>2AG3) 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 [[ Nn~7 12.2.1 误差工具 267 _6]CT0 12.2.2 灵敏度工具 271 Eq8:[o 12.2.2.1 独立灵敏度 271 J%!vhQ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 hQvI} 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 P86wRq
12.3 参考文献 276 cA|
n*A-j< 13 Runsheet 与Simulator 277 R4zOiBi'B 13.1 原理介绍 277 BE0Xg 13.2 截止滤光片设计 277 zY-?Bv_D 14 光学常数提取 289 9OlJC[ 14.1 介绍 289 hVJ}EF0 14.2 电介质薄膜 289 ^(BE_<~ 14.3 n 和k 的提取工具 295 r $ YEq5 14.4 基底的参数提取 302 ?f!&M 14.5 金属的参数提取 306 >{Xyl): 14.6 不正确的模型 306 (S6>^:;=~ 14.7 参考文献 311 n*#HokX 15 反演工程 313 &k`lbkq 15.1 随机性和系统性 313 e#WASHZN 15.2 常见的系统性问题 314 UA4MtTp` 15.3 单层膜 314 /IHF 15.4 多层膜 314 )U8=-_m 15.5 含义 319 @Yw42`>!s 15.6 反演工程实例 319 i@%a!].I 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 zW[HGI6w 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Sg\+al7 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ,WAJ&
'^ 16.1 光学性质的热致偏移 329 /NuO>kQa 16.2 应力工具 335 5)->.* G* 16.3 均匀性误差 339 ?-<>he 16.3.1 圆锥工具 339 F9r|EU#; 16.3.2 波前问题 341 uw@-.N^ 16.4 参考文献 343 tQTjqy{K 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 }"/>, 17.1 引言 345 ~ET XXu${I 17.2 操作数 345
KcpQ[6\ 18 如何在Function中编写脚本 351 WP^wNi
~> 18.1 简介 351 x}{O9LiR 18.2 什么是脚本? 351 {Z>Mnw"R 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ^t`0ul]c 18.4 基础 352 Pv*]AF;9pQ 18.4.1 Classes(类别) 352 /7ykmW 18.4.2 对象 352 fOP3`G^\ 18.4.3 信息(Messages) 352 y3P4]sq 18.4.4 属性 352 w,0OO
f 18.4.5 方法 353 {CX06BP 18.4.6 变量声明 353 0])[\O`j 18.5 创建对象 354 AMK(-= 18.5.1 创建对象函数 355 Xs~IoU 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 DIkf#} 18.5.3 丢弃对象 356 @z=L\e{ 18.5.4 总结 356 F^?DnZs 18.6 脚本中的表格 357 bu=RU 18.6.1 方法1 357 Sh:_YD^( 18.6.2 方法2 357 o;OEb 18.7 2D Plots in Scripts 358 Ve xxdg 18.8 3D Plots in Scripts 359 x((Rm_' 18.9 注释 360 (Dx p 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 N]F}Z#h 18.11 一个更高级的脚本 362 \AB)L{ 18.12 <esc>键 364 cXb&Rm'L 18.13 包含文件 365 HzsQ`M4cA 18.14 脚本被优化调用 366 _KZTY`/* 18.15 脚本中的对话框 368 WM
]eb, 8q 18.15.1 介绍 368 WfYG#!}x 18.15.2 消息框-MsgBox 368 %{?9#)) 18.15.3 输入框函数 370 E9'
2_e 18.15.4 自定义对话框 371 '*<I<? z; 18.15.5 对话框编辑器 371 x]IJ; 18.15.6 控制对话框 377 s|k&@jH) 18.15.7 更高级的对话框 380 }:!X@C~ 18.16 Types语句 384 a.a
,_ 18.17 打开文件 385 D J7U6{KLq 18.18 Bags 387 T`GiM%R;g 18.13 进一步研究 388 bKEiS8x 19 vStack 389 HI,`O 19.1 vStack基本原理 389 wR"17z7[] 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 /-+hMYe 19.3 五棱镜 393 Q^X}7Z|T 19.4 光束距离 396 FB
%-$ 19.5 误差 399 v[)8 1uY 19.6 二向分色棱镜 399 beNy5~M$ 19.7 偏振泄漏 404 {vQ:4O!: 19.8 波前误差—相位 405 }L=Qp=4 19.9 其它计算参数 405 o.s(=iG 20 报表生成器 406 ZX'3qW^D 20.1 入门 406 \mWH8Z
}Z 20.2 指令(Instructions) 406 Y8N+v+V/ 20.3 页面布局指令 406 u-QHV1H`( 20.4 常见的参数图和三维图 407 m ^w{:\p 20.5 表格中的常见参数 408 ,;f5OUl?[ 20.6 迭代指令 408 #$}A$ sm 20.7 报表模版 408 AS'+p %( 20.8 开始设计一个报表模版 409 ?%n"{k?# 21 一个新的project 413 Fh/sD? 21.1 创建一个新Job 414 4[)tO-v:Y 21.2 默认设计 415
{BgJ=0g? 21.3 薄膜设计 416 8\jsGN.$JZ 21.4 误差的灵敏度计算 420 #7KR`H 21.5 显色指数计算 422 R*r"}; 21.6 电场分布 424 3$.#\*s_4 后记 426 RiFUa
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