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LB@<Q.b,U 内容简介 o?ug`m" Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 wai3g-` 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 3nBZ+n4z 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 #GGa, @O EI=~*&t 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 @*rMMy 4 目录 <^nS%hXEr Preface 1 sd4eG 内容简介 2 \(LD<-a 目录 i SB%D%Zx6'% 1 引言 1 +aOevkY] 2 光学薄膜基础 2 gI7*zR4D 2.1 一般规则 2 ln_&Ux+l 2.2 正交入射规则 3 [ as,AX 2.3 斜入射规则 6 1*A^v 2.4 精确计算 7 7mSNz. 2.5 相干性 8 q=^;lWs4 2.6 参考文献 10 r?)1)?JnHe 3 Essential Macleod的快速预览 10 MO0t 4 Essential Macleod的特点 32 f:3cV(mC 4.1 容量和局限性 33 ]$#bNt/p 4.2 程序在哪里? 33 DD/B\ 4.3 数据文件 35 $mK;{9Z
4.4 设计规则 35 Uic 4.5 材料数据库和资料库 37 \i?bt0 bM 4.5.1材料损失 38 pk u\) 4.5.1材料数据库和导入材料 39 .+(ED 4.5.2 材料库 41 nHF66,7t 4.5.3导出材料数据 43 C'@I!m._i 4.6 常用单位 43 ~5Fx[q 4.7 插值和外推法 46 6`-<N ! 4.8 材料数据的平滑 50 ty5# a 4.9 更多光学常数模型 54 }bihlyB&Q 4.10 文档的一般编辑规则 55 4wv0~T$;x 4.11 撤销和重做 56 J#:`'eEG 4.12 设计文档 57 nt"\FZ*;3 4.10.1 公式 58 )z&C&Gqz
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 h% >ZN-K) 4.10.3 沉积密度 59 /w?zO,! 4.10.4 平行和楔形介质 60 K91O$'J 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 F&`%L#s| 4.10.4 性能 61 ADF<5#I 4.10.5 保存设计和性能 64 6 _V1s1F 4.10.6 默认设计 64 pj7al; 4.11 图表 64 7
2i&-`&4 4.11.1 合并曲线图 67 {|$kI`h,3- 4.11.2 自适应绘制 68 s Y4wdG 4.11.3 动态绘图 68 s5v}S'uO{ 4.11.4 3D绘图 69 LRw-I.z 4.12 导入和导出 73 Z;NaIJiL- 4.12.1 剪贴板 73 i<$?rB!i<1 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 @r<2]RXlc 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =,6X_m 4.13 背景 77 i{9.bpp/ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 `_.:O,^n^ 4.15 生成Rugate 84 z(,j)". 4.16 参考文献 91 -+i7T^@| 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 mS}.?[d" 5.1 Jobs 92 G/~b(V;> 5.2 创建一个新Job(工作) 93 S
-,$ ( 5.3 输入材料 94 [ Y{ 5.4 设计数据文件夹 95 @-0mE_$[ 5.5 默认设计 95 A|PZ<WAY 6 细化和合成 97 ajG_t 6.1 优化介绍 97 14l6|a 6.2 细化 (Refinement) 98 KXz7l\1Gb 6.3 合成 (Synthesis) 100 pub?% 6.4 目标和评价函数 101 5w~ 0Q 6.4.1 目标输入 102 \'zloBU 6.4.2 目标 103 Wm}T=L` 6.4.3 特殊的评价函数 104 J@i9)D_ 6.5 层锁定和连接 104 a;a1>1 6.6 细化技术 104 >`[+24e 6.6.1 单纯形 105 i"+TKo- 6.6.1.1 单纯形参数 106 f fI=Bt]t 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 CX2qtI8N? 6.6.2.1 Optimac参数 108
%S`Wu|y 6.6.3 模拟退火算法 109 vo:h"ti 6.6.3.1 模拟退火参数 109 W@zxGH$z> 6.6.4 共轭梯度 111 ~Hd* Xl 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 w87$p821 6.6.5 拟牛顿法 112 "Q\b6
7Ch 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Jq"3xj 6.6.6 针合成 113 t@ri`?0w 6.6.6.1 针合成参数 114 DTsD<o 6.6.7 差分进化 114 ml)\R L 6.6.8非局部细化 115 * >:< 6.6.8.1非局部细化参数 115 ew,okRCN 6.7 我应该使用哪种技术? 116 6cjCn 6.7.1 细化 116 xFIzq 6.7.2 合成 117 7$Wbf4 6.8 参考文献 117 o*E32#l 7 导纳图及其他工具 118 !M)] 1Y 7.1 简介 118 Z:<wB#G 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 -glGOTk 7.2.1 四分之一波长规则 119 S|KUh|=Q 7.2.2 导纳图 120 2[1t
)EW 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 uK#2vgT 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 p Djt\R<f 7.5 斜入射导纳图 141 +~:OUR*> 7.6 对称周期 141 LOG>x! 7.7 参考文献 142 5-H"{29 8 典型的镀膜实例 143 h3GUFiZ. 8.1 单层抗反射薄膜 145 M+j*5wNy 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ]
M#LB&Pe 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 +Y;hVcE9 8.4 W-膜层 148 p/l">d]+ 8.5 V-膜层 149 b5.]}>]t 8.6 V-膜层高折射基底 150 u(hJyo} 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 lu+KfKa 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Lr
d- 8.9 四层抗反射薄膜 153 >o3R~ [ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 OwNo$b]h` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 f)Y~F/[$P 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 v>mK~0.$ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 fo~*Bp()-E 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 n{{"+;oR 8.15十五层宽带抗反射膜 159 CGb4C(%-7 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 bVa?yWb. 8.17 1/4波长堆栈 162 MXDCOe~07 8.18 陷波滤波器 163 1*6xFn 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 cf^ i!X0 8.20 褶皱 165 )J+A2> 8.21 消偏振分光器1 169 pp{p4Z 8.22 消偏振分光器2 171 R>5Xv%R 8.23 消偏振立体分光器 172 d.Ccc/1- 8.24 消偏振截止滤光片 173 i{:iRUC# 8.25 立体偏振分束器1 174 FJKlqM5] 8.26 立方偏振分束器2 177 0r i 8.27 相位延迟器 178 _ShWCU-~Z 8.28 红外截止器 179 Bva2f:)K| 8.29 21层长波带通滤波器 180 ox\D04:M 8.30 49层长波带通滤波器 181 C9""sVs 8.31 55层短波带通滤波器 182 ]O~$|Wk 8.32 47 红外截止器 183 Z( "-7_ 8.33 宽带通滤波器 184 62Tel4u 8.34 诱导透射滤波器 186 "(dI/} 8.35 诱导透射滤波器2 188 Aeo=m}C; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 i]4n YYS 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 |QR9#Iv 8.35 增益平坦滤波器 193 1;B&R89} 8.38 啁啾反射镜 1 196 @o#Yq
n3Y 8.39 啁啾反射镜2 198 L.JL4;U P 8.40 啁啾反射镜3 199 @[f$MRp\ 8.41 带保护层的铝膜层 200 >#gDk K 8.42 增加铝反射率膜 201 Br{(sL0e 8.43 参考文献 202 lF40n4} 9 多层膜 204 ^j10
f$B 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ZSD7%gE<D 9.2 内部透过率 204 f/\S:x-B 9.3 内部透射率数据 205 ufw[Ei$I: 9.4 实例 206 F!4V!VWA} 9.5 实例2 210 hd(TKFL^y 9.6 圆锥和带宽计算 212 a<E9@ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Dbq/t^ 10 光学薄膜的颜色 216 .!i`YT*jF 10.1 导言 216 ^|hVFM2 10.2 色彩 216 >LH}A6dUC 10.3 主波长和纯度 220 f|F=)tJO 10.4 色相和纯度 221 =*zde0T?l 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 8Z"f" 10.6 色差 226 -XK;B--c 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 p&)d]oV> 10.8 颜色渲染指数 234 R?tjobk! 10.9 色差计算 235 yx*<c#Uf 10.10 参考文献 236 0L ,!o[L* 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 R7!v=X]i 11.1 短脉冲 238 nG{o$v_| 11.2 群速度 239 &N+`O)$ 11.3 群速度色散 241 CPeu="[ 11.4 啁啾(chirped) 245 oe3=QE 11.5 光学薄膜—相变 245 l%?4L/J)# 11.6 群延迟和延迟色散 246 c5 AaUza 11.7 色度色散 246 DO+~ 11.8 色散补偿 249 ^SsnCn-e 11.9 空间光线偏移 256 y9LO;{( 11.10 参考文献 258 DnG9bVm> 12 公差与误差 260 '.>y'= 12.1 蒙特卡罗模型 260 $;~YgOVZ5 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 _6`GHx 12.2.1 误差工具 267 V\e1NS 12.2.2 灵敏度工具 271 &5z9C=]e 12.2.2.1 独立灵敏度 271 cu'( Hj 12.2.2.2 灵敏度分布 275 iWFtb)3B 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 {cO8q
}L 12.3 参考文献 276 '$'a .q1q9 13 Runsheet 与Simulator 277 ;volBfv 13.1 原理介绍 277 Iu5 9W> 13.2 截止滤光片设计 277 Yo=$@~vN] 14 光学常数提取 289 ZJF+./vN 14.1 介绍 289 jENC1T( 14.2 电介质薄膜 289 ;cPPx`0$9 14.3 n 和k 的提取工具 295 GRVF/hPn 14.4 基底的参数提取 302 ?$uF(>LD
14.5 金属的参数提取 306 ~{-Ka>A 14.6 不正确的模型 306 PlK3; 14.7 参考文献 311 Gr)G-zE 15 反演工程 313 o2hZ=+w> 15.1 随机性和系统性 313 TA:uB[Ji 15.2 常见的系统性问题 314 #n15_cd 15.3 单层膜 314 !_~/Y/M 15.4 多层膜 314 }aI>dHL 15.5 含义 319 YktZXc?iI< 15.6 反演工程实例 319 Sl'$w4s
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 a\oz-`ESa 15.6.2 反演工程提取折射率 327 gy~2LY !} 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 i_l{#*t 16.1 光学性质的热致偏移 329 :F#^Q%-IS 16.2 应力工具 335 *tk=D sRW 16.3 均匀性误差 339 hx8pg,X 16.3.1 圆锥工具 339 LHu 16.3.2 波前问题 341 p5w9X+G% 16.4 参考文献 343 TX@ed 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 eH!V%dX 17.1 引言 345 @Bjp7v:w 17.2 操作数 345 UL#:!J/34 18 如何在Function中编写脚本 351 *A8Et5HAv 18.1 简介 351 Y
9z*xS 18.2 什么是脚本? 351 m']$)Iqw 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Qy}pn=#Q 18.4 基础 352 >9i>A: 18.4.1 Classes(类别) 352 f&$;iE 18.4.2 对象 352 OI78wG 18.4.3 信息(Messages) 352 < 3*q) VT 18.4.4 属性 352 Qp)?wny4 18.4.5 方法 353 ZWzr8oY) 18.4.6 变量声明 353 {<gX~./]c 18.5 创建对象 354 r!eW]M 18.5.1 创建对象函数 355 I>vU;xV\m 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 L:mE)Xq2 18.5.3 丢弃对象 356 :%j"l7=> 18.5.4 总结 356 H"k\(SPVS 18.6 脚本中的表格 357 Ui9;rh$1eU 18.6.1 方法1 357 !7Qj8YmS 18.6.2 方法2 357 8g-Z~~0W1 18.7 2D Plots in Scripts 358 ,`!lZ|
U 18.8 3D Plots in Scripts 359 JC~4B3! 18.9 注释 360 zSk`Ou8M 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 *B{] 18.11 一个更高级的脚本 362 e Y^zs0 18.12 <esc>键 364 x?u@
j7[ 18.13 包含文件 365 ;;XY& |