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XSN=0N!GB 内容简介 Q.jThP`p Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Z-4/xi7 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @N<h`vDa 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 OY81|N
j qTbc?S46pt 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 <w*WL_P 目录 ?RsPAL Preface 1 XPdqE`w=$p 内容简介 2 x|d? ' 目录 i 4HZXv\$ 1 引言 1 R#y"SxD() 2 光学薄膜基础 2 s{7bu|0 2.1 一般规则 2 Iy;"ht6 2.2 正交入射规则 3 m*B4a9f 2.3 斜入射规则 6 ?5B?P:=kl 2.4 精确计算 7 B>cT<B 2.5 相干性 8 IIGx+> 2.6 参考文献 10 7Q Ns q 3 Essential Macleod的快速预览 10 +Tx_q1/f5X 4 Essential Macleod的特点 32
tmBt[ 4.1 容量和局限性 33 9a+Y )?z 4.2 程序在哪里? 33 9* 3;v;F 4.3 数据文件 35 {"$[MYi: 4.4 设计规则 35 - e0[$v 4.5 材料数据库和资料库 37 SvkCx>6/G 4.5.1材料损失 38 C,mfA%63 4.5.1材料数据库和导入材料 39 T+RC#&> 4.5.2 材料库 41 *]R5bj.!o 4.5.3导出材料数据 43 Fkpaou 4.6 常用单位 43 H0])>1sWB 4.7 插值和外推法 46 IaOR%Bg 4.8 材料数据的平滑 50 m:0[as= 4.9 更多光学常数模型 54 s~>1TxJe 4.10 文档的一般编辑规则 55 0k5 uqGLXe 4.11 撤销和重做 56 ]n"RPktx 4.12 设计文档 57 ;-"q;&1e 4.10.1 公式 58
tKh 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 2v@B7r4} 4.10.3 沉积密度 59 L[nDjQn" 4.10.4 平行和楔形介质 60 1k)pJzsc 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Gl|n }wo$ 4.10.4 性能 61 H
n]( )/ 4.10.5 保存设计和性能 64 q o^mp 4.10.6 默认设计 64 v#s*I/kw 4.11 图表 64 Np$&8v+en 4.11.1 合并曲线图 67 b]xoXC6@ t 4.11.2 自适应绘制 68 k #\j \t- 4.11.3 动态绘图 68 ,=G]tnsv^ 4.11.4 3D绘图 69 #+U1QOsz 4.12 导入和导出 73 `s
UY$Q 4.12.1 剪贴板 73 y4I Qa.F 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .Oc j|A6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 PXtF#,roP 4.13 背景 77 UA~ 4O Q] 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 xz.M'az\ 4.15 生成Rugate 84 6=,zkU*i^ 4.16 参考文献 91 ~a_X
7 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 @b., pwZF 5.1 Jobs 92 ),Yk53G6c 5.2 创建一个新Job(工作) 93 +|X`cmnuU 5.3 输入材料 94 nsVLgTbx 5.4 设计数据文件夹 95 $%31Gk[I 5.5 默认设计 95 rMjb,2*rC7 6 细化和合成 97 HYT~AO-! 6.1 优化介绍 97 6`7bk35B 6.2 细化 (Refinement) 98 `T1bY9O. 6.3 合成 (Synthesis) 100 u=]*,,5< 6.4 目标和评价函数 101 ?Y8hy|` 6.4.1 目标输入 102 C$C>RYE?. 6.4.2 目标 103 :X-S&SX0 6.4.3 特殊的评价函数 104 :wg=H 6.5 层锁定和连接 104 8qw{e`c 6.6 细化技术 104 ,~1k:>njY~ 6.6.1 单纯形 105 _Ds,91<muQ 6.6.1.1 单纯形参数 106 P*|=Z>%[0 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 LdNpb;* 6.6.2.1 Optimac参数 108 %t!S 7UD 6.6.3 模拟退火算法 109 VMJaL}J] 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ZS]Z0iZv9 6.6.4 共轭梯度 111 V'Kied+ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 h.ftl2> 6.6.5 拟牛顿法 112 |V{ Q 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 MVvBd3 6.6.6 针合成 113 I"lzOD; eI 6.6.6.1 针合成参数 114 5}]+|d; 6.6.7 差分进化 114 v_/<f&r 6.6.8非局部细化 115 hp9LV2_5 6.6.8.1非局部细化参数 115 #wRhR>6 6.7 我应该使用哪种技术? 116 x@bqPZ t 6.7.1 细化 116 pO:]3qv 6.7.2 合成 117 #Cu$y8~as 6.8 参考文献 117 qS!N\p~> 7 导纳图及其他工具 118 PO6yEr 7.1 简介 118 Y[}A4` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 !P^Mo> " 7.2.1 四分之一波长规则 119 #rBfp|b]1 7.2.2 导纳图 120 Ab j7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 <1>6!`b4 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 x
lqP% 7.5 斜入射导纳图 141 w4TQ4
Y 7.6 对称周期 141 Y(kf<Wo 7.7 参考文献 142 ty[p5%L1 8 典型的镀膜实例 143 &$_!S!Sa/ 8.1 单层抗反射薄膜 145 uSQ#Y^V_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 7'i{JPm 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 C|3Xz[k{ 8.4 W-膜层 148 "Z,T%] 8.5 V-膜层 149 X~"p]V_ 8.6 V-膜层高折射基底 150 leH7II9 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Ny$3$5/ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ?#Z4Dg
9| 8.9 四层抗反射薄膜 153 J+
S]Qoz 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 5.&)hmpg 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6<fG;: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 lA/-fUA 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 D^.
c: 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 pXN'vP 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Jx}-Y*
o 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 gSw<C+ 8.17 1/4波长堆栈 162 ]|,}hsN 8.18 陷波滤波器 163 v)_FiY QQ6 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 9oO~UP!ag 8.20 褶皱 165 Fc \]* 8.21 消偏振分光器1 169 ~KkC089D 8.22 消偏振分光器2 171 (Y7zaAG] 8.23 消偏振立体分光器 172 <y^_&9 8.24 消偏振截止滤光片 173 t ;h`nH[ 8.25 立体偏振分束器1 174 {9V.l.Q 8.26 立方偏振分束器2 177 m=^]93+ 8.27 相位延迟器 178 kln)7SzPuk 8.28 红外截止器 179 l}VE8-XB 8.29 21层长波带通滤波器 180 76<mP*5 8.30 49层长波带通滤波器 181 sr&W+4T 8.31 55层短波带通滤波器 182 81s
}4 8.32 47 红外截止器 183 -/{FGbpR; 8.33 宽带通滤波器 184 [
fzYC'A= 8.34 诱导透射滤波器 186 JVy|SA&R 8.35 诱导透射滤波器2 188 |M5#jVXj 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 g:JSy 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 [NO4Wzc 8.35 增益平坦滤波器 193 7G-?^ 8.38 啁啾反射镜 1 196 O |P<s+ 8.39 啁啾反射镜2 198 OQ?N_zs, 8.40 啁啾反射镜3 199 \-;f<%+ 8.41 带保护层的铝膜层 200 n^ fUKi*; 8.42 增加铝反射率膜 201 YuknZ&Q 8.43 参考文献 202 s[0` 9 多层膜 204 W>d)( 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 04;s@\yX4 9.2 内部透过率 204
-NN=(p!< 9.3 内部透射率数据 205
&Q?@VNi 9.4 实例 206 wxh\CBxG 9.5 实例2 210 MAFdJ+n# 9.6 圆锥和带宽计算 212 +@3+WD 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 *1`X} 10 光学薄膜的颜色 216 Nv36#^Z 10.1 导言 216 Gg9MAK\ C9 10.2 色彩 216 c5WMN.z 10.3 主波长和纯度 220 ~i%=1&K&` 10.4 色相和纯度 221 4{zy)GE|W 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 #d\&6'O 10.6 色差 226 naf ~#==vc 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 9_:"`)]3B 10.8 颜色渲染指数 234 bT2G
G 10.9 色差计算 235 S5TVfV5LI 10.10 参考文献 236 ~>=.^ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 65~E<)UJ 11.1 短脉冲 238 NC-K`) 11.2 群速度 239 5<ruN11G 11.3 群速度色散 241 ~CnnN[g(_ 11.4 啁啾(chirped) 245 =+j3E<w 11.5 光学薄膜—相变 245 /ie&uWy 11.6 群延迟和延迟色散 246 Dbn344s 11.7 色度色散 246 {j>a_]dTVX 11.8 色散补偿 249 [%dsq`b# 11.9 空间光线偏移 256 pK3A/ry< 11.10 参考文献 258 aHW34e@ebL 12 公差与误差 260 (Fzy8
s 12.1 蒙特卡罗模型 260 ~bb6NP;'L 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 kMch 12.2.1 误差工具 267 uM[|>t 12.2.2 灵敏度工具 271 xNOKa* 12.2.2.1 独立灵敏度 271 @L!^2v 12.2.2.2 灵敏度分布 275 8~C}0H 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ftPps- 12.3 参考文献 276 ~-7/9$ay5 13 Runsheet 与Simulator 277 ?{f6su@rW 13.1 原理介绍 277 15j5F5P 13.2 截止滤光片设计 277 %BkE %ZcZ 14 光学常数提取 289 L4/ns@e 14.1 介绍 289 X#$ oV# 14.2 电介质薄膜 289 IVSC7SBiT 14.3 n 和k 的提取工具 295 apa&'%7 14.4 基底的参数提取 302 9#:nlu9 14.5 金属的参数提取 306 M+
%O-B 14.6 不正确的模型 306 WkA47+DsV 14.7 参考文献 311 ?Xypn#OPt 15 反演工程 313 .-rz30xT 15.1 随机性和系统性 313 ,ZJ}X 9$< 15.2 常见的系统性问题 314 Cst1nGPL 15.3 单层膜 314 :P_h_Tizv 15.4 多层膜 314 qco'neR"z 15.5 含义 319 "H(3pl. 15.6 反演工程实例 319 2v ~8fr4 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 3?FY?Q[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 @9 S :: 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^R@)CIQ 16.1 光学性质的热致偏移 329 VX.LL
5 16.2 应力工具 335 EWDsBNZaI 16.3 均匀性误差 339 49*f=gpGj2 16.3.1 圆锥工具 339 1iz =i^} 16.3.2 波前问题 341 M{24MF 16.4 参考文献 343 ?`?Tg&W 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ]gPx%c 17.1 引言 345 Hu<]*(lK% 17.2 操作数 345 j13-?fQ& 18 如何在Function中编写脚本 351 @
,X/Wf 18.1 简介 351 Zb1GR5MB`k 18.2 什么是脚本? 351 SnFyK5 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Qt4mg?X/ 18.4 基础 352 ]j7`3%4uK 18.4.1 Classes(类别) 352 75Z|meG~ 18.4.2 对象 352 md{nHX& 18.4.3 信息(Messages) 352 ZXQ5fBx 18.4.4 属性 352 (9%?ik 18.4.5 方法 353 g]&fyB# 18.4.6 变量声明 353 [ ft6xI 18.5 创建对象 354 ~Re4zU 18.5.1 创建对象函数 355 $||WI}k3V 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 rwj+N%N 18.5.3 丢弃对象 356 $;Fx Zkp 18.5.4 总结 356 4Y59^ 18.6 脚本中的表格 357 xW) 18.6.1 方法1 357 8+w*,Ry` 18.6.2 方法2 357 _=I1 18.7 2D Plots in Scripts 358 PzKTEYJL 18.8 3D Plots in Scripts 359 `e'wWV 18.9 注释 360 m^L !_~ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 )KFxtM- 18.11 一个更高级的脚本 362 e:
Sd#H! 18.12 <esc>键 364 ~2rQ80_ 18.13 包含文件 365 %_s)Gw&sq 18.14 脚本被优化调用 366 UeFJ5n'x: 18.15 脚本中的对话框 368 e+BZoK ^ 18.15.1 介绍 368 Rf4K Rhi 18.15.2 消息框-MsgBox 368 |Yw k 18.15.3 输入框函数 370 ddN(L`nd 18.15.4 自定义对话框 371 ~`BkCTT 18.15.5 对话框编辑器 371 O1o>eDE5A 18.15.6 控制对话框 377 iqB5h|
` 18.15.7 更高级的对话框 380 i=<;$+tW 18.16 Types语句 384 _}p[(sTV 18.17 打开文件 385 BmpAH}%T 18.18 Bags 387 =!SV;^-q 18.13 进一步研究 388 If'2
m_ 19 vStack 389 Rnwm6nu 19.1 vStack基本原理 389 $>#0RzU 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 k^ZP~.G 19.3 五棱镜 393 +:^l|6%} 19.4 光束距离 396 EoJ\Jk 19.5 误差 399 9+9g (6 19.6 二向分色棱镜 399 |qe;+)0>K 19.7 偏振泄漏 404 c6i7f:'-0 19.8 波前误差—相位 405 =M-=94 19.9 其它计算参数 405 & |