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*t#s$Ga 内容简介 @cuD8<\i Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Pv/Pww\ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 lX98"} 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Dd!Sr8L[ *'9)H0 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 :vc[/< 目录 x],8yR)R Preface 1 ~lzdbX 内容简介 2 SXRdNPXFO 目录 i *2JH_Cj` 1 引言 1
gd337jw 2 光学薄膜基础 2 V19e> 2.1 一般规则 2 Z69+yOJI 2.2 正交入射规则 3 X}oj_zsy;^ 2.3 斜入射规则 6 T*h!d(
2.4 精确计算 7 cQ8dc+ { 2.5 相干性 8 g3|BE2? 2.6 参考文献 10 33Ssylno 3 Essential Macleod的快速预览 10 79)A%@YHQQ 4 Essential Macleod的特点 32 rkxW UDl 4.1 容量和局限性 33 NH'1rt(w 4.2 程序在哪里? 33 >f&xJq 4.3 数据文件 35 BJ~ivT< 4.4 设计规则 35 j((hqJr 4.5 材料数据库和资料库 37 blJIto' 4.5.1材料损失 38 >|wKXz 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ~O \}/I28 4.5.2 材料库 41 12 idM* 4.5.3导出材料数据 43 7^ 4jcfJH 4.6 常用单位 43 Vy]A,Rn7 4.7 插值和外推法 46 >&bv\R/ 4.8 材料数据的平滑 50 @ru<4`h 4.9 更多光学常数模型 54 jvu
N 4.10 文档的一般编辑规则 55 A2Q[%A 4.11 撤销和重做 56 ,{?wKXJ}L! 4.12 设计文档 57 m7JPH7P@BM 4.10.1 公式 58 4[`[mE18. 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Vl<`|C> 4.10.3 沉积密度 59 p~h4\.*` 4.10.4 平行和楔形介质 60 |Eb&}m:E$ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 DL,[k
( 4.10.4 性能 61 :3v9h^|+ 4.10.5 保存设计和性能 64 L#n}e7Y9 4.10.6 默认设计 64 *xPB<v2N:P 4.11 图表 64 ~L~]QN\3 4.11.1 合并曲线图 67 sH%&+4!3 4.11.2 自适应绘制 68 _ j~4+H 4.11.3 动态绘图 68 -TgUyv. 4.11.4 3D绘图 69 =nzFd-P 4.12 导入和导出 73 `4LJ;KC( 4.12.1 剪贴板 73 ~x'zX-@rC 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 *%X.ym' 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 o5P&JBX< 4.13 背景 77 K5{{:NR$ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Twx{' S 4.15 生成Rugate 84 bhYU5I 9 4.16 参考文献 91 PB+\jj 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Xtkw Z3 5.1 Jobs 92 ?;^5ghY$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 k d+l k: 5.3 输入材料 94 zj{(p Z1 5.4 设计数据文件夹 95 -,^WaB7u\ 5.5 默认设计 95 `gI~|A4 6 细化和合成 97 3w6&&R9 6.1 优化介绍 97 ailG./I+ 6.2 细化 (Refinement) 98 S6GMUaR 6.3 合成 (Synthesis) 100 80}4/8 6.4 目标和评价函数 101 N!L'W\H, 6.4.1 目标输入 102 &$F[/[Ds+ 6.4.2 目标 103 @0|nq9l1 6.4.3 特殊的评价函数 104 9:-T@u 6.5 层锁定和连接 104 i:d`{kJ|[ 6.6 细化技术 104 "Hht
g: 6.6.1 单纯形 105 <(YF5Xm6$h 6.6.1.1 单纯形参数 106 >$uUuiyL4 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 y@3kU*-1 6.6.2.1 Optimac参数 108 ^wJEfac 6.6.3 模拟退火算法 109 MtUY?O.P2 6.6.3.1 模拟退火参数 109 nhewDDu 6.6.4 共轭梯度 111 b
=b: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 O:JPJ"! 6.6.5 拟牛顿法 112 4gOgWBv 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 BC({ EE~R) 6.6.6 针合成 113 g/#~N~& 6.6.6.1 针合成参数 114 OR;&TbWF(R 6.6.7 差分进化 114 pds*2p)2 6.6.8非局部细化 115 /cfHYvnz 6.6.8.1非局部细化参数 115 Cw#V`70a 6.7 我应该使用哪种技术? 116 1Nj=B_T 6.7.1 细化 116 Dx3 %KS 6.7.2 合成 117 {y6C0A* 6.8 参考文献 117 K/| 7 导纳图及其他工具 118 ,QvYTJ{ 7.1 简介 118 h<% U["
7.2 薄膜作为导纳的变换 118 FJwt?3\u5 7.2.1 四分之一波长规则 119 @9vvR7{P 7.2.2 导纳图 120 }9CrFTbx; 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 f`|G]da-3o 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Z`s!dV]e9 7.5 斜入射导纳图 141 "w&/m}E,[ 7.6 对称周期 141 gxmc| 7.7 参考文献 142 "IwM:v 8 典型的镀膜实例 143 ,I`_F, 8.1 单层抗反射薄膜 145 m*oc)x7' 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 _~A~+S} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 6Z8l8:r-6 8.4 W-膜层 148 K-(;D4/sQE 8.5 V-膜层 149 {/ &B!zvl 8.6 V-膜层高折射基底 150 N9]xJgTze 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 "={L+di:M 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 >a=d; 8.9 四层抗反射薄膜 153 C[YnrI! 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 R1'`F{56 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ?@UAL.y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 uV~e|X
"9s 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 nwf7M#3d 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 =i6:puf 8.15十五层宽带抗反射膜 159
maDz W_3 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 z*LiweR- 8.17 1/4波长堆栈 162 io4aYB\ 8.18 陷波滤波器 163 ;+`uER 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Q4wc-s4RN 8.20 褶皱 165 /6U
4S>'( 8.21 消偏振分光器1 169 J#7y<
s 8.22 消偏振分光器2 171 ]a/'6GbR 8.23 消偏振立体分光器 172 4;*f1_;f~ 8.24 消偏振截止滤光片 173 M<[?g5=# 8.25 立体偏振分束器1 174 %MJ;Q?KB 8.26 立方偏振分束器2 177 sX:lE^)-z 8.27 相位延迟器 178 yVS\Q,:J9 8.28 红外截止器 179 HC7JMj 8.29 21层长波带通滤波器 180 G$5m$\K 8.30 49层长波带通滤波器 181 AyTx' u 8.31 55层短波带通滤波器 182 SI*^f\lu 8.32 47 红外截止器 183 B*@6xS[IL 8.33 宽带通滤波器 184 "l,UOv c 8.34 诱导透射滤波器 186 iV
hJH4 8.35 诱导透射滤波器2 188 o6|-=FcvC 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 HXks_ix ) 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 $(q8y/,R*- 8.35 增益平坦滤波器 193 CBHc A'L 8.38 啁啾反射镜 1 196 vv/J 5#^,\ 8.39 啁啾反射镜2 198 nb+m.X 8.40 啁啾反射镜3 199 ~7SH4Cr 8.41 带保护层的铝膜层 200 _!AJiP3!)4 8.42 增加铝反射率膜 201
W9R`A 8.43 参考文献 202 #WufZ18# 9 多层膜 204 T9)wj][ . 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 g%\L&}Jd 9.2 内部透过率 204 HDS"F.l5 9.3 内部透射率数据 205 c> G@+ 9.4 实例 206 9P"iuU 9.5 实例2 210 Vxh.<b6&' 9.6 圆锥和带宽计算 212 Y<LNQ]8\G 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 UR3 $B%i 10 光学薄膜的颜色 216 kx{!b3" 10.1 导言 216 ^M
Ey, 10.2 色彩 216 T1NH eH> 10.3 主波长和纯度 220 0Nr\2| 10.4 色相和纯度 221 6Rz[?-mkLO 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 c8ZCs? 10.6 色差 226 +1@AGJU3 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 b5 Q NEi 10.8 颜色渲染指数 234 jA`a/vWu 10.9 色差计算 235 |.w;r
10.10 参考文献 236 uO'/|[`8 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 xzk}[3P{ 11.1 短脉冲 238 _D-Riu>#J 11.2 群速度 239 s~$zWx@v 11.3 群速度色散 241 #IX&9 aFB} 11.4 啁啾(chirped) 245 wk ikD 11.5 光学薄膜—相变 245 )Au&kd-W@( 11.6 群延迟和延迟色散 246 `&g:d E(j 11.7 色度色散 246 M#M?1(O/NE 11.8 色散补偿 249 )zJ=PF 11.9 空间光线偏移 256 M+ aEma 11.10 参考文献 258 hKksVi 12 公差与误差 260 IJPgFZ7 12.1 蒙特卡罗模型 260 .,mPdVof 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ']?=[`#NL 12.2.1 误差工具 267 8"M<{72U] 12.2.2 灵敏度工具 271 ,F:=(21 12.2.2.1 独立灵敏度 271 e1P7
.n} 12.2.2.2 灵敏度分布 275 [hU=mS8=^ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 kp`0erJqw 12.3 参考文献 276 X47O l 13 Runsheet 与Simulator 277 mo9$NGM&} 13.1 原理介绍 277
cht 13.2 截止滤光片设计 277 jG8;]XP 14 光学常数提取 289 }W}G X(?P 14.1 介绍 289 fn1pa@P 14.2 电介质薄膜 289 s.y}U5Ty?P 14.3 n 和k 的提取工具 295 FpzP#; 14.4 基底的参数提取 302 b1=pO]3u 14.5 金属的参数提取 306 @L;C_GEa 14.6 不正确的模型 306 v3^t/[e~: 14.7 参考文献 311 "Ot{^_e 15 反演工程 313 /{we;Ut=g 15.1 随机性和系统性 313 FpdHnu i1 15.2 常见的系统性问题 314 &<h?''nCy 15.3 单层膜 314 Jvj=I82 15.4 多层膜 314 xid:" y=_& 15.5 含义 319 ~:Ixmqi}R 15.6 反演工程实例 319 #=x+
[d+ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
UTX](:TC 15.6.2 反演工程提取折射率 327 s3< F 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 M=+M8M`Iy 16.1 光学性质的热致偏移 329 hVZo"XUb 16.2 应力工具 335 ohplj`X[21 16.3 均匀性误差 339 7TdQRB 16.3.1 圆锥工具 339 Ilef+V^qr 16.3.2 波前问题 341 CWvlr nv 16.4 参考文献 343 %~\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 v= 8VvT8 17.1 引言 345 6eo4#/+% 17.2 操作数 345 k_O-5{ 18 如何在Function中编写脚本 351 yjd(UWE 18.1 简介 351 1RA }aX 18.2 什么是脚本? 351
`EVg'?pl 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 2L[l'} 18.4 基础 352 s7M}NA 0 18.4.1 Classes(类别) 352 |hD~6a 18.4.2 对象 352 mQ=sNZ-d] 18.4.3 信息(Messages) 352 [D hEh@ 18.4.4 属性 352 ]|y}\7Aa 18.4.5 方法 353 K=o:V& 18.4.6 变量声明 353 .5z&CJDiIi 18.5 创建对象 354 Dt|fDw$]D 18.5.1 创建对象函数 355 Pl?}>G 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 952V@.Zp 18.5.3 丢弃对象 356 9.]kOs_ 18.5.4 总结 356 ()B7(Y 18.6 脚本中的表格 357 ETg{yBsp 18.6.1 方法1 357 e3pnk
=u 18.6.2 方法2 357 ]Y =S 18.7 2D Plots in Scripts 358 :ovt?q8"> 18.8 3D Plots in Scripts 359 }v&K~!* 18.9 注释 360 `OBl:e 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 W
W35&mI)k 18.11 一个更高级的脚本 362 }Q;BQ2[ 18.12 <esc>键 364 c l9$g7 18.13 包含文件 365 ;tXY = 18.14 脚本被优化调用 366 _^-D _y 18.15 脚本中的对话框 368 #XfT1 18.15.1 介绍 368 CMFC"e Se 18.15.2 消息框-MsgBox 368 xlk5Gob* 18.15.3 输入框函数 370 A`g.[7 18.15.4 自定义对话框 371 r\B"?oqC 18.15.5 对话框编辑器 371 h*l
cEzG?A 18.15.6 控制对话框 377 0yKhp:^ 18.15.7 更高级的对话框 380 t)KPp|& 18.16 Types语句 384 1S&0 18.17 打开文件 385 R7,pukK 18.18 Bags 387 b70AJe= 18.13 进一步研究 388 -GFwFkWm 19 vStack 389 n~.% p 19.1 vStack基本原理 389 k5q(7&C 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 URk$}_39 19.3 五棱镜 393 u!M&;QL 19.4 光束距离 396 k,AM]H 19.5 误差 399 8cB=}XgYS 19.6 二向分色棱镜 399 50COL66:7 19.7 偏振泄漏 404 y _6r/z^ 19.8 波前误差—相位 405 pTN%;`)
{ 19.9 其它计算参数 405 s* @QT8% 20 报表生成器 406 4_WH
6Z 20.1 入门 406 1R*1BStc 20.2 指令(Instructions) 406 9OH.&g 20.3 页面布局指令 406 dWMccn;-m 20.4 常见的参数图和三维图 407 e5QOB/e& 20.5 表格中的常见参数 408 3Sk5I% 20.6 迭代指令 408 .x]'eq} 20.7 报表模版 408 HhzkMJR8 20.8 开始设计一个报表模版 409
nMLU-C!t 21 一个新的project 413 `Yg7,{A\J 21.1 创建一个新Job 414 )8 oEs 21.2 默认设计 415 X #&(~1O 21.3 薄膜设计 416 m9 ^m 21.4 误差的灵敏度计算 420 CZF^Wxk 21.5 显色指数计算 422 BDWim`DK" 21.6 电场分布 424 hkkF1
h 后记 426 }klE0<W|5\ 有兴趣可以扫码联系 8.:B=A
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