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x{C=r dp__ 内容简介 1<^"OjQ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 2"NRnCx* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 {>G\3|^D 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 O9]j$,i r+0"1\f3 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 7Rj!vj/ 目录 2s;/*<WM Preface 1 gy _86y@ 内容简介 2 L*9^-, 目录 i %L{ H_;z 1 引言 1 @?{n`K7{` 2 光学薄膜基础 2 Ywt_h;: 2.1 一般规则 2 |,5b[Y"Dt 2.2 正交入射规则 3 q,2]]K7y 2.3 斜入射规则 6 =A<kDxqH 2.4 精确计算 7 %WCA?W0:4 2.5 相干性 8 x$AF0xFO 2.6 参考文献 10 q~r)B} 3 Essential Macleod的快速预览 10 Fg?Gx(g4 4 Essential Macleod的特点 32 o)cd!,h 4.1 容量和局限性 33 +}>whyX1 4.2 程序在哪里? 33 Q$W0>bUP 4.3 数据文件 35 hyL3fkMJ, 4.4 设计规则 35 /9|1eSUa 4.5 材料数据库和资料库 37 'rRo2oTN 4.5.1材料损失 38 W{Ie(hf 4.5.1材料数据库和导入材料 39 H]Q Z4( 4.5.2 材料库 41 n<kcK 4.5.3导出材料数据 43 `Ten2(D 4.6 常用单位 43 :HRJ49a 4.7 插值和外推法 46 B>t$Z5Q^X 4.8 材料数据的平滑 50 IO`.]iG 4.9 更多光学常数模型 54 ?.IT!M}DR 4.10 文档的一般编辑规则 55 pQ*9)C 4.11 撤销和重做 56 4kNf4l9Y 4.12 设计文档 57 ?y'KX]/ 4.10.1 公式 58 ss% ahs 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 f/?#
1 4.10.3 沉积密度 59 -Uq I=# 4.10.4 平行和楔形介质 60 Gk8"fs 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 5P
-IZ8~$ 4.10.4 性能 61 RERum 4.10.5 保存设计和性能 64 R(=Lhz6R4 4.10.6 默认设计 64 v@LK3S/!3 4.11 图表 64 EkEM|<GNd 4.11.1 合并曲线图 67 5l2Ph4( 4.11.2 自适应绘制 68 ]/HSlT= 4.11.3 动态绘图 68 AR]y p{NS 4.11.4 3D绘图 69 L"1UUOKy 4.12 导入和导出 73 N/TUcG|m\ 4.12.1 剪贴板 73 s,"<+80% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 6/wAvPB$ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 4!d&Zc>C4 4.13 背景 77 h5U@Ys 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 m-dne/%_ 4.15 生成Rugate 84 234OJ? 4.16 参考文献 91 (i1FMd}G 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 x$J1%K* 5.1 Jobs 92 x<"1T
w5e 5.2 创建一个新Job(工作) 93 8V;@yzIha 5.3 输入材料 94 :qc@S&v@] 5.4 设计数据文件夹 95 d47b&.v8e 5.5 默认设计 95 A$WE:<^ 6 细化和合成 97 S WVeUL#5 6.1 优化介绍 97 "'4R_R 6.2 细化 (Refinement) 98 gtyo~f 6.3 合成 (Synthesis) 100 rC14X} X6 6.4 目标和评价函数 101 gV):3mWC 6.4.1 目标输入 102 Nlx7"_R"Q 6.4.2 目标 103 4cRF3$amd 6.4.3 特殊的评价函数 104 ~urIA/ 6.5 层锁定和连接 104 Ha@'%<gFe 6.6 细化技术 104 Q'~kWmLf 6.6.1 单纯形 105 Q`4= 6.6.1.1 单纯形参数 106 Lz2wOB1Zc+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 sczN0*w&C 6.6.2.1 Optimac参数 108 _~&6Kb^* 6.6.3 模拟退火算法 109 2S&e!d- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 8E&}+DR? 6.6.4 共轭梯度 111 $/Gvz)M 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 sHyhR: 6.6.5 拟牛顿法 112 cNtGjLpx; 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 zu5'Ex`gQa 6.6.6 针合成 113 \6-x~%xK 6.6.6.1 针合成参数 114 bvuoGG* 6.6.7 差分进化 114 %2f``48# 6.6.8非局部细化 115 N#Y%+1 6.6.8.1非局部细化参数 115 wOOBW0tj 6.7 我应该使用哪种技术? 116 A07g@3n 6.7.1 细化 116 J_C<Erx[O 6.7.2 合成 117 +wXrQV
6.8 参考文献 117 F^7qLvh 7 导纳图及其他工具 118 o%i^t4J$e 7.1 简介 118 !jN}n)FSq 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 m vO!Y 7.2.1 四分之一波长规则 119 Bq.@CxK 7.2.2 导纳图 120 g34<0%6jd 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 {E-.W"t4 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8i!AJF9IQ} 7.5 斜入射导纳图 141 l
Q]&:%^\ 7.6 对称周期 141 V%8?f, 7.7 参考文献 142 V&;1n 8 典型的镀膜实例 143 S_/9eI~X 8.1 单层抗反射薄膜 145 ym9Z:2g
8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 QG*=N {%5 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 CL.JalR`b 8.4 W-膜层 148 F B9PIsFS 8.5 V-膜层 149 j5,1`7\7B 8.6 V-膜层高折射基底 150 au@ LQxKQ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 k"&loh 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 I|9(*tq) 8.9 四层抗反射薄膜 153 7yD=~l\Bbs 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Q1jU{ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ^q5~;_z| 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Ef{rY|E 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 6!dbJ5x1 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 lPx4=O 8.15十五层宽带抗反射膜 159 _BO:~x 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 reR ><p 8.17 1/4波长堆栈 162 u?5d%]* 8.18 陷波滤波器 163 gyj.M`+y 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 h[#Lg3 8.20 褶皱 165 %tul(Z~<1 8.21 消偏振分光器1 169 njeRzX 8.22 消偏振分光器2 171 #"-?+F=rk 8.23 消偏振立体分光器 172 h6<abT@I 8.24 消偏振截止滤光片 173 {*,~,iq 8.25 立体偏振分束器1 174 6zh<PETa03 8.26 立方偏振分束器2 177 w
F6ywr 8.27 相位延迟器 178 ;*1bTdB5a 8.28 红外截止器 179 G6(kwv4 8.29 21层长波带通滤波器 180 :Rv?>I j 8.30 49层长波带通滤波器 181 XI:8_F;Q 8.31 55层短波带通滤波器 182 TG7Ba[% 8.32 47 红外截止器 183 -1iKeyyA
8.33 宽带通滤波器 184 }P(RGKQZ" 8.34 诱导透射滤波器 186 3[I; 3=O 8.35 诱导透射滤波器2 188 :f%FM&b 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 (XA=d
4 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Cw42bO 8.35 增益平坦滤波器 193 A<P3X/i 8.38 啁啾反射镜 1 196 `Fa49B|`D 8.39 啁啾反射镜2 198 _OV\W'RrA 8.40 啁啾反射镜3 199 ^ CVhV 8.41 带保护层的铝膜层 200 kR$>G2$! 8.42 增加铝反射率膜 201 56gpAc 8.43 参考文献 202 1{+x >Pv: 9 多层膜 204 nX4R 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ;, P-2\V/ 9.2 内部透过率 204 DTmv2X 9.3 内部透射率数据 205 j(^ot001%v 9.4 实例 206 2gz}]_ 9.5 实例2 210 +13h* 9.6 圆锥和带宽计算 212 \Zc$X^}vN 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 F x,08 10 光学薄膜的颜色 216 io:g]g 10.1 导言 216 Rs_0xh 10.2 色彩 216 ah<1&UG, 10.3 主波长和纯度 220 rMXIw 10.4 色相和纯度 221 9ZvBsG) 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 'F%4[3a$\n 10.6 色差 226 n,sf$9" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ?CO\jW_
*n 10.8 颜色渲染指数 234 j.FA!4L 10.9 色差计算 235 2VmQ%y6e" 10.10 参考文献 236 J-*&& 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 OQzJRu)mF# 11.1 短脉冲 238 }s)MDq9 11.2 群速度 239 b`"E(S / 11.3 群速度色散 241 Q#C;4)e 11.4 啁啾(chirped) 245 272j$T 11.5 光学薄膜—相变 245 L9tjHC] 11.6 群延迟和延迟色散 246 u8ofgcFYE 11.7 色度色散 246 HQHFD0hv 11.8 色散补偿 249 n\d`Fk 11.9 空间光线偏移 256 i9Fg 11.10 参考文献 258 .5Y%I;~v 12 公差与误差 260 $r`K4g 12.1 蒙特卡罗模型 260 O7@CAr 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 )|;*[S4 12.2.1 误差工具 267 hZGoiWC 12.2.2 灵敏度工具 271 $=dp) 12.2.2.1 独立灵敏度 271 []HMUL]" 12.2.2.2 灵敏度分布 275 D|8vS8p 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 eXJt9olI 12.3 参考文献 276 ,w~0U 13 Runsheet 与Simulator 277 H I/]s^aL 13.1 原理介绍 277
!sda6?& 13.2 截止滤光片设计 277 2p\CCzw 14 光学常数提取 289 8N<0|u 14.1 介绍 289 e$F]t*)Xa 14.2 电介质薄膜 289 n8(B%KF 14.3 n 和k 的提取工具 295 y*2R#jTA 14.4 基底的参数提取 302 8r
' 14.5 金属的参数提取 306 6BIP;, M= 14.6 不正确的模型 306 d,=Kv 14.7 参考文献 311 0_yE74i 15 反演工程 313 8
v NgePn 15.1 随机性和系统性 313 5,=Yi$x 15.2 常见的系统性问题 314 Ov3W;jD 15.3 单层膜 314 (]wi^dE 15.4 多层膜 314 B5J!&suX 15.5 含义 319 *S_e:^ 15.6 反演工程实例 319 %M8Egr2|0 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 DO<eBq\O 15.6.2 反演工程提取折射率 327 _`lj
3Lm0> 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 AH`n 16.1 光学性质的热致偏移 329 QX(x6y>Q 16.2 应力工具 335 KDwz!:ye 16.3 均匀性误差 339 * d6[kY 16.3.1 圆锥工具 339 f.V;Hl, 16.3.2 波前问题 341 MLg<YL 16.4 参考文献 343 U$a Eby. 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 x4v@Kk/ 17.1 引言 345 fr'M)ox1 17.2 操作数 345 I(BG%CO9 18 如何在Function中编写脚本 351 @C)O[&Sk 18.1 简介 351 7L)1mB. 18.2 什么是脚本? 351 ^_4TDC~h 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ".L+gn}u- 18.4 基础 352 OJE<2:K 18.4.1 Classes(类别) 352 &{QB}r 18.4.2 对象 352 d7N;Fa3yL 18.4.3 信息(Messages) 352 XfA3Ez,} 18.4.4 属性 352
'$Jt}O 18.4.5 方法 353 Z :f0> 18.4.6 变量声明 353 WtI1h `Fo 18.5 创建对象 354 WujIaJt- 18.5.1 创建对象函数 355 7}bjJR " 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 E#"QaI8` 18.5.3 丢弃对象 356 khT&[!J{> 18.5.4 总结 356 P# 2&?.d\ 18.6 脚本中的表格 357 A9PXu\%y 18.6.1 方法1 357 \3K 6NA!L 18.6.2 方法2 357 KtJE 18.7 2D Plots in Scripts 358 Ab7hW(/ 18.8 3D Plots in Scripts 359 gd<8RVA 18.9 注释 360 8o8FL~&] 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 o;Ijv\Em 18.11 一个更高级的脚本 362 RAKQ+Y"nl 18.12 <esc>键 364 A/N*Nc 18.13 包含文件 365 ^&<~6y}U^ 18.14 脚本被优化调用 366 lEi,duS) 18.15 脚本中的对话框 368 TRz~rW
k 18.15.1 介绍 368 tW5\Ktjno 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Pb?H cg 18.15.3 输入框函数 370 `XYT:' 18.15.4 自定义对话框 371 OXDlwbwL 18.15.5 对话框编辑器 371 Y~1}B_ 18.15.6 控制对话框 377 c?)
pn9 18.15.7 更高级的对话框 380 sb4)@/Q7j 18.16 Types语句 384 )ufHk 18.17 打开文件 385 _yjM_ALjo 18.18 Bags 387 T\c;Ra 18.13 进一步研究 388 Qpd-uC_Ni 19 vStack 389 $}oQ=+c5 19.1 vStack基本原理 389 L5T)_iQ5 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 (Wr;:3i 19.3 五棱镜 393 zcJ]US 19.4 光束距离 396 r0G#BPgdR 19.5 误差 399 v,vTRrpK 19.6 二向分色棱镜 399 q" wi.&| 19.7 偏振泄漏 404 mDE{s",q/ 19.8 波前误差—相位 405 Js+d4``W 19.9 其它计算参数 405 WAY<X:|We 20 报表生成器 406 {+c/$4< 20.1 入门 406 xmKa8']x 20.2 指令(Instructions) 406 ==x3|^0y 20.3 页面布局指令 406 <6/XE@" 20.4 常见的参数图和三维图 407 7tAWPSwf 20.5 表格中的常见参数 408 {%D
"0* ^ 20.6 迭代指令 408 dQM# -t4* 20.7 报表模版 408 NOyLZa' 20.8 开始设计一个报表模版 409 ?3SlvKI}H` 21 一个新的project 413 +azPpGZ= 21.1 创建一个新Job 414 +^YV>; 21.2 默认设计 415 UQ|0Aqwq 21.3 薄膜设计 416 p8s2#+/ 21.4 误差的灵敏度计算 420 I#eIm3Y? 21.5 显色指数计算 422 NJqALm!( 21.6 电场分布 424 mk\U wv 后记 426 |+6Z+-.Hg 有兴趣可以扫码联系 3JW9G04.
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