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PeU>h2t 内容简介 /kZ{+4M Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 NCu:E{([ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 $~^Y4 }
m 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 5Yxs_t4 PJ$C$G 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 D6Q6yNE 目录 `qXCY^BH2 Preface 1 7A,QA5G]C 内容简介 2 A,H|c=" 目录 i ?v5OUmFM 1 引言 1 n PAl8 2 光学薄膜基础 2 6cQ)*,Q 2.1 一般规则 2 $4Vp l 2.2 正交入射规则 3 QXaE2}}P 2.3 斜入射规则 6 II,snRD 2.4 精确计算 7 '!V5 #J 2.5 相干性 8 @gc|Z]CV 2.6 参考文献 10 2bnF#-( 3 Essential Macleod的快速预览 10 $T#yxx 4 Essential Macleod的特点 32 - WEEnwZ 4.1 容量和局限性 33 O>vbAIu 4.2 程序在哪里? 33 M= ]]kJ:I 4.3 数据文件 35 7>@g)%", 4.4 设计规则 35 0`H)c)
pP 4.5 材料数据库和资料库 37 >du _/*8: 4.5.1材料损失 38 iHYvH
4.5.1材料数据库和导入材料 39 Id(wY$C&> 4.5.2 材料库 41 vG2&qjY1 4.5.3导出材料数据 43
4tGP-
L 4.6 常用单位 43 0b3z(x!O 4.7 插值和外推法 46 <jjn'*44f 4.8 材料数据的平滑 50 R3dt-v 4.9 更多光学常数模型 54 I
k[{,p 4.10 文档的一般编辑规则 55 s/+k[9l2 4.11 撤销和重做 56 Fv!KLw@
4.12 设计文档 57 <+r<3ZBA 4.10.1 公式 58 cUDo}Yu 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 o$XJSz|6 4.10.3 沉积密度 59 Cg]Iz<<bE 4.10.4 平行和楔形介质 60 #"PRsMUw 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {>]7xTpwZ 4.10.4 性能 61 x$gVEh*k 4.10.5 保存设计和性能 64 wOg?.6<Kxa 4.10.6 默认设计 64 )=9EShz! 4.11 图表 64 %~{G*%: 4.11.1 合并曲线图 67 OS{j5o 4.11.2 自适应绘制 68 $LXz
Q>w9 4.11.3 动态绘图 68 l,w$!FnmR 4.11.4 3D绘图 69 ]+)cXJ}6# 4.12 导入和导出 73 5h!ZoB)n 4.12.1 剪贴板 73 7[/1uI9U8K 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 QE\t}> 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 B098/`r 4.13 背景 77 O9/7?"l" 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 15)y]N={^ 4.15 生成Rugate 84 Wf>P[6 4.16 参考文献 91 2c u?2_, 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 +`p@md2L1 5.1 Jobs 92 Y5&mJp\G 5.2 创建一个新Job(工作) 93 I<}<!.Bc! 5.3 输入材料 94 MmL)CT 5.4 设计数据文件夹 95 &}+^*X 5.5 默认设计 95 &}."sGK 6 细化和合成 97 1 Vq)& N 6.1 优化介绍 97 +m+v1(@ 6.2 细化 (Refinement) 98 5;4bZ3e,0 6.3 合成 (Synthesis) 100 6
h%%? 6.4 目标和评价函数 101 !o{>[ 6.4.1 目标输入 102 W6y-~ 6.4.2 目标 103 Kc,=J?Ob 6.4.3 特殊的评价函数 104 g q`S` 6.5 层锁定和连接 104 mu/GOEZ5 6.6 细化技术 104 dPx{9Y<FzU 6.6.1 单纯形 105 1SY`V?cu 6.6.1.1 单纯形参数 106 Q"VS;uh.v 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 G Ch]5\ 6.6.2.1 Optimac参数 108 J =j6rD 6.6.3 模拟退火算法 109 Oh]RIWL 6.6.3.1 模拟退火参数 109 9irT}e 6.6.4 共轭梯度 111 #J_+
SL[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 hALg5.E{T 6.6.5 拟牛顿法 112 ob(S/t 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 J6s@}@R1 6.6.6 针合成 113 dF#`_!4pbf 6.6.6.1 针合成参数 114 (h$[g"8 6.6.7 差分进化 114 X
8#Uk} / 6.6.8非局部细化 115 xJemc3]2 6.6.8.1非局部细化参数 115 K|Kc.
6.7 我应该使用哪种技术? 116 ("!P_Q# 6.7.1 细化 116 O
S% 6.7.2 合成 117 Zp'q;h_ 6.8 参考文献 117 J}M_Ka 7 导纳图及其他工具 118 uNoP8U%* 7.1 简介 118 ]@G$L,3 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 W}0cM9 g 7.2.1 四分之一波长规则 119 Z+EN]02| 7.2.2 导纳图 120 QswbIP/>:' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 D&C83^m 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 wSGW_{;- 7.5 斜入射导纳图 141 .`;
bQh'! 7.6 对称周期 141 qbZY[Q+F 7.7 参考文献 142 Mb
+ 8 典型的镀膜实例 143 T x
6\ 8.1 单层抗反射薄膜 145 NBaXfWh 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 `=FDNOwp 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 VQe@H8>3 8.4 W-膜层 148 ;"T,3JQPn6 8.5 V-膜层 149 R|OY5@ 8.6 V-膜层高折射基底 150 48p< ~#<W\ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 8Vf]K}d 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Qi?xx') 8.9 四层抗反射薄膜 153 +ia N[F$ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 G~$[(Fhk 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 L32 [IL| 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 1nAAs;`' 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 \7elqX`.yY 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 [/'=M h 8.15十五层宽带抗反射膜 159 vOnhJN 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 L2P#5B!S 8.17 1/4波长堆栈 162 y%NZ(Y,v 8.18 陷波滤波器 163 \-eDNwJ:#@ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 k}tTl 2 8.20 褶皱 165 #qPWJ 8.21 消偏振分光器1 169 O\=c&n~` 8.22 消偏振分光器2 171 fJ8Q\lb<_ 8.23 消偏振立体分光器 172 :0o,pndU 8.24 消偏振截止滤光片 173 *\4u :1Cu 8.25 立体偏振分束器1 174 g]a5%8*{ 8.26 立方偏振分束器2 177 -!JnyD 8.27 相位延迟器 178 VHlo}Ek<# 8.28 红外截止器 179 6O9?":3; 8.29 21层长波带通滤波器 180 8*[Q{:'. 8.30 49层长波带通滤波器 181 uL1$yf' 8.31 55层短波带通滤波器 182 eABLBsx 8.32 47 红外截止器 183 i<>zN^zn 8.33 宽带通滤波器 184 s?-J`k~q 8.34 诱导透射滤波器 186 4qe!+!#$ 8.35 诱导透射滤波器2 188 Zwm2T3@e 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 SRfnT?u6 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 B33H,e) 8.35 增益平坦滤波器 193 sPoH12?AL 8.38 啁啾反射镜 1 196 KB6'sj 8.39 啁啾反射镜2 198 cq-UVk"Gl 8.40 啁啾反射镜3 199 6Q}WX[| tQ 8.41 带保护层的铝膜层 200 /QT"5fxKJ 8.42 增加铝反射率膜 201 S{. G=O 8.43 参考文献 202 ^9wQl!e
ob 9 多层膜 204 z:a%kZQ!0 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ;E0aTV)Zp 9.2 内部透过率 204 [flx/E 9.3 内部透射率数据 205 C_q@ixF{ 9.4 实例 206 -Uu65m~:{k 9.5 实例2 210
,]* MI" 9.6 圆锥和带宽计算 212 p#DJow 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 s+RSAyU 10 光学薄膜的颜色 216 {T2=bK~ 10.1 导言 216 Kp.d#W_TX 10.2 色彩 216 J=@D]I*3 10.3 主波长和纯度 220 kH9P(`;Vq 10.4 色相和纯度 221 XzV:q!e- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 fO'"UI 10.6 色差 226 SuuLB6{u3 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
$V?h68[c 10.8 颜色渲染指数 234 wr+r J 10.9 色差计算 235 L%sskV( 10.10 参考文献 236 XI"8d.VR 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 IA&NMf;{ 11.1 短脉冲 238 qo^PS 11.2 群速度 239 ^w1&A3=6 11.3 群速度色散 241 \u@*FTS 11.4 啁啾(chirped) 245 AIK99 11.5 光学薄膜—相变 245 jXu)%< 11.6 群延迟和延迟色散 246 $-Wn|w+h<a 11.7 色度色散 246 hI Q 2s
11.8 色散补偿 249 2$OI(7b= 11.9 空间光线偏移 256 |'?./ 11.10 参考文献 258 h|Z%b_a 12 公差与误差 260 b IZuZF>* 12.1 蒙特卡罗模型 260 Jq8CII 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Q^c)T>OAI 12.2.1 误差工具 267 -o`Eka!ELz 12.2.2 灵敏度工具 271 yR|Beno 12.2.2.1 独立灵敏度 271 riuG,$EX 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Rx\.x? & 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 l%^VBv>
2 12.3 参考文献 276 d=J$H< 13 Runsheet 与Simulator 277 g.9:R=JPT 13.1 原理介绍 277 N u]&? 13.2 截止滤光片设计 277 BXx0Z
%e.3 14 光学常数提取 289 R<-u`uXnP 14.1 介绍 289 #MwNyZ 14.2 电介质薄膜 289 4x;vn8yh 14.3 n 和k 的提取工具 295 F]L$xU 14.4 基底的参数提取 302 /j|Rz5@= 14.5 金属的参数提取 306 U.mVz,k3 14.6 不正确的模型 306 dd=';%? 14.7 参考文献 311 o fw0_)!Q 15 反演工程 313 S="teH[ 15.1 随机性和系统性 313 Kx[u9MD 15.2 常见的系统性问题 314 xP+HdA2X 15.3 单层膜 314 ^qgOgu 15.4 多层膜 314 yv&VK ht 15.5 含义 319 A3jT;D9Y% 15.6 反演工程实例 319 ESQgN+llj 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 9f+S-! 15.6.2 反演工程提取折射率 327 y;1
'hP& 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 D6wg^'Q: 16.1 光学性质的热致偏移 329 I<v:xTor 16.2 应力工具 335 9"%ot=) 16.3 均匀性误差 339 SA1|7 16.3.1 圆锥工具 339 _U%fD|t 16.3.2 波前问题 341 g*uo2-MN&e 16.4 参考文献 343 'c")]{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 L4w KG& 17.1 引言 345 ~ R:=zGDV 17.2 操作数 345 4Z"JC9As 18 如何在Function中编写脚本 351 3$E\B=7/U 18.1 简介 351 XX@@tzN 18.2 什么是脚本? 351 p~h)@ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 afJ`1l 18.4 基础 352 iCK p"(kf 18.4.1 Classes(类别) 352 GNIZHyT(O 18.4.2 对象 352 TGe)%jZ 18.4.3 信息(Messages) 352 w)u6J, 18.4.4 属性 352 DQ a0S7I 18.4.5 方法 353 spV E'"^ 18.4.6 变量声明 353 Q:/BC= ~ 18.5 创建对象 354 @}Y,A~ 18.5.1 创建对象函数 355 >gqd
y*Bg 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 !4ZszQg 18.5.3 丢弃对象 356 ?mjQN|D 18.5.4 总结 356 ZV?~~_9 18.6 脚本中的表格 357 yhBf %m 18.6.1 方法1 357 :Jz@` s1n 18.6.2 方法2 357 No1*~EQ 18.7 2D Plots in Scripts 358 @fML.AT 18.8 3D Plots in Scripts 359 %I&[: 18.9 注释 360 :gvw5h% 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 y_mD9bgW 18.11 一个更高级的脚本 362 [`u3SN/P 18.12 <esc>键 364 qxR7;/@j ) 18.13 包含文件 365 p%_m!
18.14 脚本被优化调用 366 g'F{;Ur 18.15 脚本中的对话框 368 W%)uKQha 18.15.1 介绍 368 %^r}$mfy:0 18.15.2 消息框-MsgBox 368 G31??L:< 18.15.3 输入框函数 370 #t^y$9^ 18.15.4 自定义对话框 371 PN$vBFjm 18.15.5 对话框编辑器 371 -wqnmK+G 18.15.6 控制对话框 377 qBkI9H 18.15.7 更高级的对话框 380 xK3
xiR 18.16 Types语句 384 }E}b/ulg1 18.17 打开文件 385 ]nEZQ+F 18.18 Bags 387 ~BSE8M+r 18.13 进一步研究 388 o,#[Se*n 19 vStack 389 <`~zKFUQ[ 19.1 vStack基本原理 389 U!0 Qf7D 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 tc_D8Q_ 19.3 五棱镜 393 pX nY= 19.4 光束距离 396 yLo{^4a. 19.5 误差 399 ?Cu1"bl 19.6 二向分色棱镜 399 7Z(F-B
+j 19.7 偏振泄漏 404 <}^W9>u< 19.8 波前误差—相位 405 \;b)qB 19.9 其它计算参数 405 -]uN16\ F 20 报表生成器 406 2rr}5i)r| 20.1 入门 406 {u1Rc/Lw 20.2 指令(Instructions) 406 $SP*hkU 20.3 页面布局指令 406 %/86}DCfE? 20.4 常见的参数图和三维图 407 N<xf=a+j 20.5 表格中的常见参数 408 k]vrqjn Q 20.6 迭代指令 408 ~"Pu6-\VT 20.7 报表模版 408 x}w"2[fL 20.8 开始设计一个报表模版 409 D~;hIt* 21 一个新的project 413 Pmj]"7Vd[ 21.1 创建一个新Job 414 tPT\uD#t 21.2 默认设计 415 @Gs*y1 21.3 薄膜设计 416 7*7Z&1*3 21.4 误差的灵敏度计算 420 Ew4>+o! 21.5 显色指数计算 422 rb/m;8v> 21.6 电场分布 424 Qo4+=^( 后记 426 p8>.Q/4
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