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成像系统>包括光栅 ~ uP
r]# :;" aUHU' 任务/系统说明 Dq0-Kf,^ a7XXhsZ  n25irCD` ws*~$x ?7 亮点 * #9VC)Q
3bT6W, J4T
 }:,o Y< v_?s1+w 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 2LhfXBWf 严格分析光栅衍射效率 R@)' Bs 考虑入射光的方向分布 Z;|0"K
mB{&7Rb0 说明：光源 *F 26}q ` <l/GwtAJ  UFzM# h,!G7V 说明：光束分束器 W+F<P@[u<$ 2b 6? 9FX*  ,7n;|1` C8bGae( 说明：检测透镜系统 F20wf1^ kg/+vJ  (>!]A6^L~ RTg Q#<W8 说明：微型晶片 !s#'pTZk4 dy2_@/T7  O<eWq] FqT,4SIR 说明：检测物镜 . Ce &9l J1gEjd  F_p3:l 1_33;gP 说明：探测器 Q`@$j,v ;Sx'O  Xh7~MU~X 7\\~xSXh 结果：3D光线追迹（只有0级） A-Q{*{^# [5 Y$L  -H ac^4uF ?d>P+). 结果：3D光线追迹（所有级） 3$96+A^M * pr[B$X . V  tpNtoqg_$
BdE` p{ 结果：光线追迹 azR;*j8Q' DJD ]aI
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p|20`go He0N 结果：场追迹 OW63^wA`s 'o)ve (
 $p}~,Kp/ (g iTp@Tp 结果：线性偏振光的场追迹
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