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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 6MCLm.L  
    R07]{  
    任务/系统说明 @nC][gNv  
    6?;U[eV  
    :B^YK].  
    Hw0S/ytY  
    亮点 OD@k9I[  
    U yb-feG  
     U0ZT9/4  
    *B4?(&0  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） /9SEW!E  
     严格分析光栅衍射效率 -yP|CZM  
     考虑入射光的方向分布 { l E\y9  
    /)%$xi  
    说明：光源 C VXz>oM  
    (vR9vOpJ  
    CpE LLA<  
    O{vVW9Q  
    说明：光束分束器 lfJvN  
    aru;yR  
    `49: !M$i  
    ?\Bm>p% +  
    说明：检测透镜系统 H=/;  
    zIzL7oD  
    Cs!z3QU  
    B*OEG*t  
    说明：微型晶片 n 3eLIA{  
    g=gM}`X%  
    <)68ol~<  
    C vOH*K'  
    说明：检测物镜 ;s$,}O.  
    /f*QxNZ,p  
    [ML|, kq!  
    ts:YJAu+F  
    说明：探测器 ^)nIf)9}7  
    3(oB[9]s  
    |j2$G~B6  
    $etw'c0  
    结果：3D光线追迹（只有0级） nk*T x  
    ]lqe,>  
    MaS-*;BY,  
    <eh<4_<qF  
    结果：3D光线追迹（所有级） .)g7s? K  
    -=InGm\Y  
    Z1~`S!(}  
    cU|tG!Ij?  
    结果：光线追迹 j5:/Gl8  
    1F' x$~ZI  
     \Dx;AKs  
    Z[G[.\0  
    结果：场追迹 A4tb>O M  
    jtv<{7a  
     ;%Zu[G`C  
     ~LF/wx>  
    结果：线性偏振光的场追迹 [*K.9}+G_  
    6n?0MMtR  
    9 gc0Ri[4m  
     
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