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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 R7::f\I   
    Q):#6|u+  
    任务/系统说明 K~(RV4oF8B  
    ghQ B  
    nrEI0E9  
    $>rt0LOF  
    亮点 (i&+=+"wn  
    GS;GJsAs  
     zJDHDr  
    ~ #jQFyOh  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） dX[I :,z*  
     严格分析光栅衍射效率 V)$!WPL@  
     考虑入射光的方向分布 ETDWG_H |  
    *xnZTj:  
    说明：光源 ff--y8h  
    V U3RFl  
    \@Wv{0a(  
    y0%@^^-Ru  
    说明：光束分束器 I9?\Jbqg  
    @Q1!xA^S  
    2?,Jn&i5  
    t3L>@NWG  
    说明：检测透镜系统 e!u]l  
    o"z()w~  
    T?3Q<[SmI  
    Wa;N(zw0h  
    说明：微型晶片 [YvS#M3T  
    6h9(u7(-N  
    W;u.@I&  
    J*@pM  
    说明：检测物镜 HUKrp*Hv  
    =!TUf/O-  
    Y9.3`VX  
    geQ!}zXWi  
    说明：探测器 .; MS 78BR  
    *@rA7zPFf  
    %" iX3  
    P(T-2Ux6  
    结果：3D光线追迹（只有0级） 5/.W-Q\pl}  
    &h:4TaD  
    KhjC'CU,  
    Dk  `&tr  
    结果：3D光线追迹（所有级） ^".OMS"!  
    Du_5iuMh  
    tZ]gVgZg  
    O-, "/Z  
    结果：光线追迹 \M`qaFan5^  
    XoN~d  
     :zL)O  
    Y3 $jNuV  
    结果：场追迹 QE]'Dc%  
    ]J Yz(m[   
     (~~m8VJ>  
    CCTU-Xz/  
    结果：线性偏振光的场追迹 dGZie .Zx  
    V%-hP~nyBx  
    LL<xygd  
     
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