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成像系统>包括光栅 '$&(+>)z ` PT5ni6 任务/系统说明 (Su2 \x ^[,1+ WS%  mZ.6Njb M}RFFg 亮点 gB'Ah -@,P
X<bj 2 w
 c^/?VmCQ} k>@^M]% 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） b J5z?? 严格分析光栅衍射效率 I<o4 l[-- 考虑入射光的方向分布 H0Gp mKYW b`%e{99\ 说明：光源 Q $,kB<M n"VE!`B  6P[O8 %QcG^R 说明：光束分束器 Yka yT 0! a!]QD`  3lEU$)QA3 Z.#glmw^=R 说明：检测透镜系统 Yoym5<xE [[Eu?vQ9R  6je%LHhL Bd]DhPhJ 说明：微型晶片 ~k_zMU-1 L,ey3i7a\  WYd ,tGz JqhVD@1{ 说明：检测物镜 #~qp8
w WX$^[^=HC  r}M4()9L h 7P?n.K 说明：探测器 :JG}% ~8 a>D<b  Hu!>RSg,,2 YQd&rkr 结果：3D光线追迹（只有0级） -2~ yc2:>A Xg)FIaw]eT  ,> E Y9j
@(5 RAYRV 结果：3D光线追迹（所有级） p%qL0
!ZcA Ltq  2\W<E WJ@ t|XC4:/>T 结果：光线追迹 1;9E*= 5r Sth.&
 B_G7F[/K QU;C*}0Zl 结果：场追迹 fmyS#
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 `SbX`a0p2 *qOCo_=P8 结果：线性偏振光的场追迹 LOo# <p8y'KAlc  ?Qp_4<(5
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