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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 fmqHWu*wG  
    NP }b   
    任务/系统说明 VK>ZH^-  
    }>`rf{T  
    "^/3?W>  
    sw<GlF"  
    亮点 v|DgRPY  
    tzH~[n,  
     a=m4)tjk  
    62L,/?`B$  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） IRWVoCc9/\  
     严格分析光栅衍射效率 0?@;zTE0  
     考虑入射光的方向分布 Y!!w*G9b  
    6"@`iY  
    说明：光源 Y.>F fL  
    |HT5G=dw  
    B=vBJC)  
    eK8y'VY  
    说明：光束分束器 KK-}&N8  
    .J?cV;:`  
    &E& _Z6#  
    2%!yV~Z  
    说明：检测透镜系统 PBkTI2 v  
    L_@P fI  
    'YFy6rds  
    hj4!* c  
    说明：微型晶片 %%uvia=e  
    0Y|"Bo9k  
    d8N{sT  
    NW=gi qB  
    说明：检测物镜 :v$][jZ2  
    W}6OMAbsE;  
    &/+LY_r'<I  
    9(-f)$u  
    说明：探测器 7{W#i<W  
    Bp:PAy  
    l%\p  
    pB(|Y]3A  
    结果：3D光线追迹（只有0级） ?^} z  
    obzdH:S  
    uT#4"G9A[  
    ~DJILc  
    结果：3D光线追迹（所有级） _P}wO8  
    {JGXdp:SB  
    \&XtPQ  
    4tA`,}ywPq  
    结果：光线追迹 >;s!X(6 b  
    .]XBJc  
     }uFV\1  
    S UB rFsA  
    结果：场追迹 SJ7-lben3  
    %(}%#-X  
     OCN:{  
    8"=E 0(m  
    结果：线性偏振光的场追迹 >1*Dg?/=S  
    VX6M4<8  
    r?%,#1|$$  
     
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