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成像系统>包括光栅 \ ux {J BGH'&t_5 任务/系统说明 4}0YLwgJ n#?y;Y\  >*^SQ{9 % bdBg 亮点 SuV3$-);z
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 :To{& T siV]NI ':| 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Y>2#9LA 严格分析光栅衍射效率 AEFd, ;GF 考虑入射光的方向分布 wYS r.T8Q 3F6A.Ny
说明：光源 FKf2Q&2I K1;b4Sl?A  `6NcE-oJ ]haQ#e}WH 说明：光束分束器 w:1U wgcPC u?z,Vs"  VS~+W=5} LH@Kn?R6 说明：检测透镜系统 ]_L ;AD NSzTl-eS  F,mStw: >B$ IrM7J 说明：微型晶片 NOAz"m+o (2 hI  i\4YT r, ][ 8`}ki 1 说明：检测物镜 fCO<-L9k$ 9A`^ (  tC=K;zsXpz cp`ZeLz2^ 说明：探测器 e+ m (g 7D~~<45ct  Smh=Q4,W bXM&VW?OP 结果：3D光线追迹（只有0级） urL@SeV+$ G8Ow;:Ro
 \ 2Q #' }4,[oD 结果：3D光线追迹（所有级） g\49[U}[~F &< FKcrZ,  X7?14W
z' 5 结果：光线追迹 ,a0RI<D i DsY 5l
 {"N:2 3r?T|>| 结果：场追迹 {uqP+ Cs %Go/\g
 XHJ /211 R3#| *)q 结果：线性偏振光的场追迹 {yxLL-5c 4jVd  #~r+Z[(,p
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