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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 KtH-QQDluj  
    q{v?2v{  
    任务/系统说明 Fv_rDTo  
    l Q/u#c$n  
    Xi vzhI4  
    h:%L% Y9z  
    亮点 7\ELr 5  
    2rK%fV53b  
    &,~0*&r0  
    P")duv  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 1Q-O&\-xg  
     严格分析光栅衍射效率 l!U F`C0g  
     考虑入射光的方向分布 P,1[NW  
    ~:8}Bz2!5  
    说明:光源 24;F~y8H  
    ;oL`fQyr  
    !e+ex"7  
    %-u Ra\  
    说明:光束分束器 <*O~?=6p  
    !@2L g  
    ,D#ssxV  
    -n.ltgW@   
    说明:检测透镜系统 G .PzpBA  
    ibe#Y  
    j p g$5jZ  
    w,uyN  
    说明:微型晶片 6KT]3*B   
    g~,"C8-H  
    xz9x t  
    cPQUR^!5  
    说明:检测物镜 7&ty!PpD  
    {{'GR"D  
    ZY N HVR  
    !cblmF;0  
    说明:探测器 |"7F`M96I  
    |/Q7 o1i  
    0xv@l^B  
    7;]n+QRfm  
    结果:3D光线追迹(只有0级) P[E:=p  
    J-Xw}|>@  
    ji'NR  
    Z+# =]Kw)  
    结果:3D光线追迹(所有级) UvR F\x%  
    x+1Cs$E;  
    RZKdh}B?\  
    V(/ @$&  
    结果:光线追迹 ,_ zivUU  
    |ATz<"q>  
    u;-_%?  
    Sxn#  
    结果:场追迹 #2&DDy)B f  
    ?_hKhn%K9  
    *RPdU.  
    fV}:eEo|Y  
    结果:线性偏振光的场追迹 H);O.m  
    dS+/G9X^  
    .TI =3*`G  
     
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