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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 r$GPYyHK  
    B;Xoa,  
    任务/系统说明 )bLGEmm  
    vi]r  
    s\'y-UITi1  
    `DLp<_z>  
    亮点 fJN*s  
    ,3Wb4so  
     4\LZD{  
    JEWL)  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） $#%U\mI z  
     严格分析光栅衍射效率 FXP6zHsV  
     考虑入射光的方向分布 D##+)`dK  
    \  Md 3  
    说明：光源 d_Q*$Iz)3  
    Bo`Tl1K#  
    |K L')&"  
    t})lr\  
    说明：光束分束器 X E|B)Q(  
    NO-k-  
    LHh5 v"zjG  
    {<qF}i:V  
    说明：检测透镜系统 {5^K Xj$B  
    nX0HT )}  
    !FTNmyM~F  
    *GQDfs`m  
    说明：微型晶片 .VT;H1#  
    NS`07#z^  
    d1v<DU>M  
    <W>++< -  
    说明：检测物镜 z{S:X:X  
    %2f//SZ:  
    gtiEhCF2W  
    .%=V">R  
    说明：探测器 % Y~>Jl  
    0n Y6A~  
    veeI==]  
    .it#`Yz;  
    结果：3D光线追迹（只有0级） HBH$  
    9lf*O0Z&n  
    L!t@-5~  
    7kKuZW@K-  
    结果：3D光线追迹（所有级） !8sgq{x((  
    8S\RN&T$  
    E<tK4?i"  
    f-Jbs`(+  
    结果：光线追迹 `vd= ec  
    <$%X<sDkq  
     ! QM.P t7c  
    WJ |:kuF  
    结果：场追迹 rcV-_+KE(B  
    ^$v3eKA  
     S}(8f!9<  
    Z$ p0&~   
    结果：线性偏振光的场追迹 k.<3HU  
    y<pnp?x4  
    "- 31'R-  
     
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