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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 z<3{.e\e  
    6w?l I  
    任务/系统说明 yLC5S3^1\"  
    mQbpv'N  
    1X ?9Ji)h  
    m L#%H(  
    亮点 tRUGgf`  
    GlVb |O"  
     &N+,{7.  
    hJ)\Vo  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） OI8Hf3d=  
     严格分析光栅衍射效率 #mK/xbW  
     考虑入射光的方向分布 A`#/:O4|f  
    (plsL   
    说明：光源 wt@Qjbqd8  
    ms(Z1ix^  
    o+w G6 9  
    X\=m  
    说明：光束分束器 tx+KxOt9Y  
    M%3P@GRg  
    MV(Sb:RZ  
    FX->_}kL=  
    说明：检测透镜系统 Ej[:!L  
    $ ]fautQlt  
    Mnv2tnU]  
    }k{h^!fV  
    说明：微型晶片 8et*q3D7`  
    ,/bSa/x`  
    `U.VfQR:  
    ( !THd  
    说明：检测物镜 WGK:XfOBQ  
    . `ND  
    bV3az/U  
    hoLQuh%2%  
    说明：探测器 #A:+|{H"  
    !5wuBJ0  
    +A!E 6+'  
    ZCcKY6b  
    结果：3D光线追迹（只有0级） q^I/  
    <*Ex6/j  
    {hNvCk  
    _MI8P/  
    结果：3D光线追迹（所有级） i3SrsVSG  
    wnPg).  
    6Hh\ys  
    2~wIHtd  
    结果：光线追迹 MjNq8'$"  
    T, z80m}  
     k^%Kw(/  
    y-1!@|l0:6  
    结果：场追迹 +n>_NVe  
    nYvx[ zq?^  
     }JWLm.e  
    }5nVZ;  
    结果：线性偏振光的场追迹 VJf|r#2  
    Mx]![O.ye  
    e  -yL  
     
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