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成像系统>包括光栅 KtH-QQDluj q {v?2v{ 任务/系统说明 Fv_rDTo lQ/u#c$n Xi vzhI4 h:%L% Y9z 亮点 7\ELr 5
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&,~0*&r0 P")duv 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 1Q-O&\-xg 严格分析光栅衍射效率 l!UF`C0g 考虑入射光的方向分布 P,1[NW ~:8}Bz2!5 说明:光源 24;F~y8H ;oL`fQyr !e+ex"7 %-u Ra\ 说明:光束分束器 <*O~?=6p !@2L g ,D#ssxV -n.ltgW@ 说明:检测透镜系统 G .PzpBA ibe#Y jpg$5jZ w, uyN 说明:微型晶片 6KT]3*B g~,"C8-H xz9xt cPQUR^!5 说明:检测物镜 7&ty!PpD {{'GR"D ZY NHVR !cblmF;0 说明:探测器 |"7F`M96I |/Q7 o1i 0xv@l^B 7;]n+QRfm 结果:3D光线追迹(只有0级) P[E:=p J-Xw}|>@ ji'NR Z+# =]Kw) 结果:3D光线追迹(所有级) UvR F\x% x+1Cs$E; RZKdh}B?\ V(/ @$& 结果:光线追迹 ,_ zivUU |ATz<"q>
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