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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 <oaBh)=7  
    Z^`=!n-V  
    任务/系统说明 +Q!xEfpO;  
    :iQ^1S` pH  
    b)hOzx  
    7x7r!rSe,  
    亮点 KvJP(!{  
    Q xF8=p  
     mERZ_[a2  
    'Tf#S@o  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） x\bRj>%(  
     严格分析光栅衍射效率 F}B/-".^  
     考虑入射光的方向分布 9poEUjBI  
    v8vh~^X%P  
    说明：光源 ,6orB}w?z  
    S7NnC4)=-f  
    h>^jq{yu  
    Y\g90  
    说明：光束分束器 svq9@!go  
    K]pKe" M  
    >,"D9!  
    4=F]`Lql  
    说明：检测透镜系统 ^Q)gsJY|I  
    [rUh;_b\D  
    M*~v'L_sI  
    zsMw5C  
    说明：微型晶片 "'}v0*[  
    %hQMC'c  
    O^R:_vb3I  
    IQlw 914  
    说明：检测物镜 ZLN_,/7  
    }Uwkef.Q  
    _5U%'\5s  
    2 -p  
    说明：探测器 [zh4W*K_cq  
    {80oRD2=Q  
    !7kLFW  
    n<%=~1iY+  
    结果：3D光线追迹（只有0级） 5y[b8mur  
    @!&Jgg53G  
    }[KDE{,V  
    [aWDD[#j~  
    结果：3D光线追迹（所有级） p-i.ITRS  
    EBIa%,  
     *_ {l  
    hP4)8>  
    结果：光线追迹 '?`@7Eol  
    ER;lkF`RF  
     3I;xU(rv  
    re ]Ste  
    结果：场追迹 ;o_V!< $  
    \`P2Yq  
     HeT6Dv  
    rF8W(E_=  
    结果：线性偏振光的场追迹 }rKJeOo^x?  
    1Es*=zg  
    3XApY'  
     
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