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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 tG_-;03<`4  
    roL}lM$  
    任务/系统说明 6OMb`A@/2  
    JTjzT2`A.  
    ?F9hDLX  
    [q w  
    亮点 k-io$  
    s!NisF  
    9*f2b.Aj  
    7G?Ia%u  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) O3!Ouh&  
     严格分析光栅衍射效率 #DrZ`Aq  
     考虑入射光的方向分布 dy'X<o^?W  
    )Gx": D  
    说明:光源 t]gq+ c Lo  
    OCvml 2 vP  
    !'Gb$l!  
    Feh"!k <6k  
    说明:光束分束器 "^18&>^  
    fp,1qzU[k  
    gD,A9a(3  
    'M47'{7T  
    说明:检测透镜系统 Z3Bo@`&?  
    {6-;P#Q0_  
    u=1B^V,6V  
    =%:JjgKc*t  
    说明:微型晶片 $,p.=j;P  
    aB/{ %%o  
    $:xF)E  
    yp( ?1  
    说明:检测物镜 iH($rSE  
    D >psh- ,1  
    TJeou# =/  
    QJ[(Y@ O6a  
    说明:探测器 07~pf}  
    kyp U&F  
    /e;e\k_}'  
    (YaOh^T:|  
    结果:3D光线追迹(只有0级) "US" `a2  
    50}.Xm@,BO  
    Y8x(#qp,  
    Z5"!0B^ j  
    结果:3D光线追迹(所有级) 5d)'`hACe  
    0+$hkd n  
    g}\U, (  
    oHYD_8'f  
    结果:光线追迹 %4QoF  
     |JirBz  
    b'1/cY/!  
    R^mu%dw)(%  
    结果:场追迹 7I@9v=xV  
    Rfkzv=<"X  
    ux" D ]P  
    e'}ePvN  
    结果:线性偏振光的场追迹 Pu/-Qpqh  
    <k!mdj)  
    hX{g]KE>  
     
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