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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 2j8^Z  
    xcr=AhqM  
    任务/系统说明 gE%{#&*  
    oomB/"Z  
    L {(\k$>'  
    ) \Mwv&k1  
    亮点 pe=Ou0  
    YJ_`[LnL  
    XH&Fn+  
    fBS`b[ x  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) /WXy!W30<  
     严格分析光栅衍射效率 Y\luz`v  
     考虑入射光的方向分布 de]r9$ D  
    }c(".v#  
    说明:光源 zvB!=  
    H S/ 1z  
    CLU!/J $!  
    qG3 [5lti  
    说明:光束分束器 q/ -8sO}q  
    n~N>c*p  
    ),%/T,!@  
    !U.Xb6  
    说明:检测透镜系统 fI(u-z~,  
    o.U$\9MNP  
    6=o@X  
    8$a4[s  
    说明:微型晶片 $by-?z((  
    D ODo !  
    0.S].Y[  
    |1J=wp)#  
    说明:检测物镜 T677d.zaT  
    .kh%66:  
    e:}8|e~T  
    E15"AO  
    说明:探测器 JmdXh/X  
    .b>1u3  
    +F q`I2l|  
    _KiaeVE  
    结果:3D光线追迹(只有0级)  ,!_  
    q+2yp&zF  
    'SF+P)Kmz  
    ,\Gn  
    结果:3D光线追迹(所有级) ) ?rJKr[`  
    yZ3/Ia>,  
    Srj%6rgsB  
    .{ ^4I  
    结果:光线追迹 M$ g%kqa  
    f%9EZ+OP  
    -e7|DXj  
    7 y}b (q=  
    结果:场追迹 rm2"pfs  
    O @fX +W?U  
    _l]`Og@Y  
    YAnt}]u!"  
    结果:线性偏振光的场追迹 L(Q v78F  
    Q(h,P+  
    EJY[M  
     
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