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成像系统>包括光栅 %?S[{ 4A& jOK!k 任务/系统说明 5fmQ+2AC1 ,.<c|5R 'I r
9p4SxMMO 亮点 4 .(5m\s! RyWfoLc
2Z`Jr/ !y2yS/ 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) w2r*$Q 严格分析光栅衍射效率 3rLc\rK 考虑入射光的方向分布 h 3 J& OO,%zwgt 说明:光源 rK'O 85)eU cBCC/n #wh[F"zX 0p\Kf(|E*6 说明:光束分束器 QlH[_Pi ,wyEo>>4) JX{rum v|3mbApv 说明:检测透镜系统 ,}Im^~5 `bd9N!K %PK(Z*> CXi:?6OG 说明:微型晶片 b,(<74!#8 DKl\N~{F [Qqss8a ]XYD2fR2qA 说明:检测物镜 i&)OJy K_qA[n aHNn!9#1 G^/8^Zi 说明:探测器 JbXi|OS/ zIU6bMMT3u Go[anf <DEu]-'> 结果:3D光线追迹(只有0级) LftGA7uGJ)
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%e+*&Z', RiIafiaD 结果:场追迹 * C*aH6* -L
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