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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 k*C[-5&#  
    +(z[8BJl  
    任务/系统说明 feeHXKD|  
    G )`gn  
    :#{0yno)H  
    -}( o+!nl  
    亮点 Kb-m  
    _34%St!lg  
     ~*+evAP  
    o>T+fBHE  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） QFoCi&  
     严格分析光栅衍射效率 L/%{,7l<^?  
     考虑入射光的方向分布 JsMN_%y?  
     -)KNsW  
    说明：光源 KoWG:~>|  
    k,8^RI07@  
    ,^ dpn  
    :f7vGO"t  
    说明：光束分束器 Ke]'RfO\  
    so| U&`G  
    %M`zkA2]J  
    AMO{ee7Po  
    说明：检测透镜系统 -mo4`F  
    u6IM~kk>5  
    /TIt-c  
    Ol>/^3 a=  
    说明：微型晶片 $ 9E"{6;@  
    q|IU+r:! 3  
    hst Ge>f[6  
    =4U$9jo!;  
    说明：检测物镜 '"ze Im~  
    SJi;_bVf  
    ] \!,yiVeU  
    w\V<6_[vv.  
    说明：探测器 F[0~{*/|G  
    U!RIeC  
    JE*?O*&|Q  
    7 n^1H[q  
    结果：3D光线追迹（只有0级） oR7f3';?6  
    npbf>n^R  
    =4&"fZ"v  
    sqjDh  
    结果：3D光线追迹（所有级） g2rH"3sC  
    |?MD>Pez  
    w vI v+Q9  
    7uF @Xh  
    结果：光线追迹 -~H "zu`  
    / T_v8 {D  
     O#>,vf$  
    Gc5mR9pV   
    结果：场追迹 &NbSG+t  
    |<y1<O>F  
     HW'I$ .  
    jMX|1b  
    结果：线性偏振光的场追迹 02(Ob  
    #G?",,&dM  
    M9(lxu y1  
     
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