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成像系统>包括光栅 iR-MuDM %]9
<a 任务/系统说明 h3^&,U gIA{6,A K`PmWxNPh K7&A^$` 亮点 ?
C2 bA5M /*GRE#7S
H~~I6D{8 "4FL<6 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) EXz5Rue
LV 严格分析光栅衍射效率 tK&.0)*= 考虑入射光的方向分布 +4emkDTdR Xq&x<td 说明:光源 YBgHX [q g
j`"| nbYkr*: "t Fi{~UOZg 说明:光束分束器 xh>/bU!> LX.1]T*m` sY,!Ir`/` hoASrj{s 说明:检测透镜系统 JWG7QH #)%N+Odnr o a,Ju R<mLG $ 说明:微型晶片 ]>@;
2%YvY {jzN vCwDE~ xmtbSRgK9 说明:检测物镜 0_bt*.wI+ /qF7^9LtaY S[UHx}. x&R&\}@G m 说明:探测器 G?QFF6)}!
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