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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 bIP'(B#1K  
    e6n^l $'  
    任务/系统说明 v;9VX   
    u0md ^  
    P8JN m"C  
    ;)^eDJ<  
    亮点 v@43 %`"Gj  
    y: 0j$%^  
     2Et7o/\<  
    s^nwF>  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） %5=XszS  
     严格分析光栅衍射效率 #-9;Hn4x  
     考虑入射光的方向分布  *q8L$D  
    EHT5Gf  
    说明：光源 [TPr  
    U$J l5[`F^  
    eCY gi7?  
    tQy@d_a=y  
    说明：光束分束器 6#+&_ #9  
    ,zy4+GW  
    z G {1;  
    y ?FKou'  
    说明：检测透镜系统 R{~Yh.)~  
    bJD2c\qoc  
    9-DDly [)4  
    <_@ S@t)  
    说明：微型晶片 n&x#_B-  
    b$P=rIB  
    uE~? 2G  
    NZ `( d  
    说明：检测物镜 dA[Z\  
    C+-xC~  
    Akf?BB3bC  
    tL1"Dt>  
    说明：探测器 tY<D\T   
    $ u`y  
    dm1W C:b  
    o'@VDGS`  
    结果：3D光线追迹（只有0级） S(jbPQT  
    z#*w Na&@[  
    c *(]pM  
    6X5`npf  
    结果：3D光线追迹（所有级） +2=N#LM  
    <4,>`#NEo  
    WC,&p  
    7vRJQe)  
    结果：光线追迹 ~HsPYc8Fz  
    Sc;WraEn2  
     yzW9A=0A)  
    ,{A-<=6t  
    结果：场追迹 A {lzQO  
    `<2y [<y  
     w@7NoD=  
    iIu  
    结果：线性偏振光的场追迹 ?y!0QAIXK  
    XX",&cp02V  
    zr%lBHuW  
     
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