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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 u7Y'3x,`  
    F~Z 0  
    任务/系统说明 PgG |7='  
    rlO%%Qn`  
    -t~B@%  
    i9EMi_%  
    亮点 `6BS-AVO7  
    "$E!_  
    $R$c1C'oX  
    P8,{k  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) Y="&|c=w#L  
     严格分析光栅衍射效率 |jaY[_ .@  
     考虑入射光的方向分布 H-cBXp5z  
    >NOYa3  
    说明:光源 ^/d^$  
    t zW<&^  
    -g[*wN8  
    /o1)ZC$  
    说明:光束分束器 g7U:A0Z  
    :5cu,&<Gv  
    d Xo'#.  
    SJ[@fUxO)  
    说明:检测透镜系统 @aD~YtL"n  
    w)m0Z4*  
    xXU/m|  
    qn"T? O  
    说明:微型晶片 s-N?Tzi  
    klC^xSx  
    vs0H^L  
    2E ; %=e  
    说明:检测物镜 UWWD8~:  
    >'|xQjLl  
    {O&liU4  
     ISnS;  
    说明:探测器 vBn=bb'W  
    3D09P5$W  
    =ci5&B?  
    vS t=Ax3]  
    结果:3D光线追迹(只有0级) np\Q&  
    K<L%@[gi  
    W7[ S7kd  
    mV(x&`Cx  
    结果:3D光线追迹(所有级) ,/b/O4`;y  
    i+x6aQ24  
    ^57fHlw  
    ccRk4xR  
    结果:光线追迹 m',_k Y3  
    IM5^E#-g7  
    hYZ:" x  
    vlN. OQ  
    结果:场追迹 *-!ndbf  
    zT-"kK  
    %^%-h}1  
    E|4XQ|B@  
    结果:线性偏振光的场追迹 K9M.+d4  
    >hL'#;:f#  
    \\G6c4 fC  
     
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