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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 Q~Z=(rP20  
    QFIL)'K  
    任务/系统说明 D_8x6`z  
    @9&P~mo/  
    3 zn W=  
    L;od6<.*m  
    亮点 PdVfO8-  
    t>H`X~SR?  
    07hF2[i  
    ;m2<eS`o'  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) YX*Qd$chZ  
     严格分析光栅衍射效率 EKp@9\XBC  
     考虑入射光的方向分布 ooV*I|wcI  
    y7^{yS[,  
    说明:光源 IVW1]y  
    ~0b O}  
    5MSB dO  
    _$>pw<  
    说明:光束分束器 kEd@oC  
    <`0h|m'U  
    0T>H)c6:\  
    Ig5L$bAM~  
    说明:检测透镜系统 &  =/  
    wYlf^~#"  
    %K]euEqs  
    W}|'#nR  
    说明:微型晶片 lKgKtQpi  
    vO;I(^Q  
    Ks\ NE=;5  
    w4LScvBg  
    说明:检测物镜 %2V-~.Ro6  
    hTbI -u7BF  
    Oq3A#6~  
    nQ GQWg`  
    说明:探测器 )3h^Y=43  
    K|oacOF9  
    d`1I".y  
    |!F5.%PY  
    结果:3D光线追迹(只有0级) g&n)fF  
    p^iRPI  
    ( 9]_ HW[  
    ^`<w&I@  
    结果:3D光线追迹(所有级)  ykrr2x  
    2On_'^O  
    G/v/+oX  
    ?3O9eZY@  
    结果:光线追迹 I7&_Xr  
    W0=O+0$^  
    mR;qMX)0h  
    SwU\ q]^|Z  
    结果:场追迹 F_bF  
    HV/cc"  
    7r{83_B  
    CB&iI'  
    结果:线性偏振光的场追迹 srV.)Ur  
    K\)Td+~jc  
    /\) a  
     
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