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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 f=!VsR2o  
    iMFgmM|  
    任务/系统说明 S:q3QgU=X  
    \nB8WSvk2W  
    GbA.UM ~  
    ;9ly'<up  
    亮点 iNWo"=J  
    A"l?:?rtw]  
     nF4a-H&Fo  
    /K{9OT@>  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） V$icWu  
     严格分析光栅衍射效率 xIGfM>uq  
     考虑入射光的方向分布 E+tB&  
    !\#_Jw%y  
    说明：光源 )0e2ic/  
    _s$_Sa ;  
    P<2 +L|X?}  
    7kK #\dI  
    说明：光束分束器 "zY](P  
    1>Dl\czn  
    -0Tnh;&=  
    U{$1[,f  
    说明：检测透镜系统 ?@t  d  
    $GQ-(/  
    TO*BH^5R  
    #nO|A\N  
    说明：微型晶片 |?,[@z _,  
    wHv]ViNvXE  
    ;v~-'*0  
    |*X*n*oI  
    说明：检测物镜 ',4x$qe  
    rgf#wH%hN  
    F3lw@b3])  
    #:|+XLL  
    说明：探测器 <uk1?Q g  
    {(#%N5%  
    Bo+DJizu  
    -MugnB6  
    结果：3D光线追迹（只有0级） =!UR=Hq  
    "ZHtR/;  
    W85@v2b  
    KZ e)K_1[  
    结果：3D光线追迹（所有级） 4E[!,zvl  
    EQIo5  
    @[?!s%*2  
    ORWm C!  
    结果：光线追迹 \cJ-Dd  
    ]:$ O{y  
     Tv]<SI<B[  
    " ;w}3+R  
    结果：场追迹 c<BO gNr  
    HygY>s+3[  
     %T=A{<[`  
    ExXM:1 e26  
    结果：线性偏振光的场追迹 sNHSr  
    !b-bP,q  
    =}fd6ea(o  
     
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