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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 %?S[{ 4A&  
    jOK !k  
    任务/系统说明 5fmQ+2A C1  
    ,. <c|5R  
    'Ir   
    9p4SxMMO  
    亮点 4 .(5m\s!  
    RyWfoLc  
    2Z`Jr/  
    !y2yS/  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) w2r* $Q  
     严格分析光栅衍射效率 3 rLc\rK  
     考虑入射光的方向分布 h 3  J&  
    OO,%zwgt  
    说明:光源 rK'O 85)eU  
    cBCC/n  
    #wh[F"zX  
    0p\Kf(|E*6  
    说明:光束分束器 QlH[_Pi  
    ,wyEo>>4)  
    JX{rum  
    v|3mbApv  
    说明:检测透镜系统 ,}I m^~5  
    `bd9N !K  
    %PK(Z*>  
    CXi:?6OG  
    说明:微型晶片 b,(<74!#8  
    DKl\N~{F  
    [Qqss8a  
    ]XYD2fR2qA  
    说明:检测物镜 i&)OJy  
    K_qA[n  
    aHNn!9#1  
    G^/8^Zi  
    说明:探测器 JbXi|OS/  
    zIU6bMMT3u  
    Go[anf  
    <DEu]-'>  
    结果:3D光线追迹(只有0级) LftGA7uGJ)  
    -"bC[WN  
    :G5O_T$  
    iU# "G" &  
    结果:3D光线追迹(所有级) ^r{N^  
    5/HkhT yj  
    nKjT&R  
    j`MK\*qmz  
    结果:光线追迹 YH{n   
    Sa:;j4  
    %e+*&Z',  
    RiIafiaD  
    结果:场追迹 * C*aH6*  
    -L wz T  
    (:}}p}u  
    g$qM}#s0}  
    结果:线性偏振光的场追迹 3u,B<  
    FbW$H]C$  
    Bc<pD?uOK  
     
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