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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 2kh"8oQ  
    ec3<%+0f  
    任务/系统说明 WT\<.Py  
    f!_ ctp  
    PkuTg";  
    60>.ul2  
    亮点 } ^kL|qmjR  
    Cb;WZ3HR  
     9pKGr@&   
    }T_Te?<&  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） {w6/[ -^  
     严格分析光栅衍射效率 K%5"u'  
     考虑入射光的方向分布 r(A.<`\   
    Nf41ZT~  
    说明：光源 @OpNHQat9  
    {Qu"%h.Al  
    cC{"<fYF  
    z(y*hazK  
    说明：光束分束器 <@v ]H@ E  
    /iaf ^ >  
    5e8AmY8;  
    q8P.,%   
    说明：检测透镜系统 }iB|sl2J  
    YX*x&5]lq  
    SkQswH  
    wf.T3  
    说明：微型晶片 NQHz<3S[  
    iUk-'   
    ~nLN`H d  
    !U%T&?E l  
    说明：检测物镜 I^\&y(LJF  
    =@x`?oev  
    ),:c+~@@kT  
    (rtY!<|p  
    说明：探测器 \c,pEXG  
    5Qwh(C^H  
    }n:?7  
    #18FA|   
    结果：3D光线追迹（只有0级） Lo.rvt  
    +EXJ\wy  
    VSX@e|Nj  
    ,8'>R@o  
    结果：3D光线追迹（所有级） yM.IxpT#$  
    Bh`N[\r  
    PXoz*)tk  
    EI>l-N2  
    结果：光线追迹 ji1HV1S  
    #65^w=Sp}  
     URgk^nt2p  
    Df =dt  
    结果：场追迹 WUc#)EEM)  
    r;>+)**@vl  
     !`JHH&  
    4LcX<B U9  
    结果：线性偏振光的场追迹 `A$!]&[~|  
    lT&wOm3  
    QS.>0i/7l  
     
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