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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 iR-MuDM  
    %]9 <a  
    任务/系统说明 h3^ &,U  
    gI A{6,A  
    K`PmWxNPh  
    K7&A^$`  
    亮点 ? C2 bA5 M  
    /*GRE#7S  
    H~~I6D{8  
    "4FL<6  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) EXz5Rue LV  
     严格分析光栅衍射效率 tK&.0)*=  
     考虑入射光的方向分布 +4emkDTdR  
    Xq&x<td  
    说明:光源 YBgHX [q  
    g j`"|  
    nbYkr*: "t  
    Fi{~UOZg  
    说明:光束分束器 xh> /bU!>  
    LX.1]T*m`  
    sY,!Ir`/`  
    hoASrj{s  
    说明:检测透镜系统 JWG7QH  
    #)%N+Odnr  
    o a,Ju  
    R<mLG $  
    说明:微型晶片 ]>@; 2%YvY  
    {jzN  
    vCwDE~  
    xmtbSRgK9  
    说明:检测物镜 0_bt*.w I+  
    /qF7^9LtaY  
    S[UHx}.  
    x&R&\}@G m  
    说明:探测器 G?QFF6)}!  
    (H9%a-3  
    -5\aL"?4  
     $J mL)r  
    结果:3D光线追迹(只有0级) > 3 JU  
    H<`[,t  
    _u}v(!PI  
    @.kv",[{[  
    结果:3D光线追迹(所有级) pooi8" G  
    0c1}?$f[?%  
    kETA3(h'  
    \E.t=XBn  
    结果:光线追迹 5fb,-`m.  
    4:cbasy  
    ~U8#Iq1  
    tH:ea$A  
    结果:场追迹 MCQ>BP  
    ^Gv<Xl  
    c i7;v9  
    7V0:^Jov  
    结果:线性偏振光的场追迹 [RD ^@~x  
    6u7 (}K  
    u7j-uVG  
     
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