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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 P<fnLQ9  
    > 0<)=  
    任务/系统说明 ] 7 _`]7p  
    $\k0Nup}  
    " ZX3sfkh  
    L_w+y  
    亮点 `|Or{ih  
    vp(;W,ba:|  
    al 20V  
    _uJ"m8Tl  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) V _c @b%  
     严格分析光栅衍射效率 K6olYG>  
     考虑入射光的方向分布 0KD]j8^  
    )yo a  
    说明:光源 SIKOFs  
     ykrr2x  
    2On_'^O  
    G/v/+oX  
    说明:光束分束器 ?3O9eZY@  
    I7&_Xr  
    N 75:5  
    mR;qMX)0h  
    说明:检测透镜系统 Ssk}e=]  
    sN("+ sZ.n  
     {Ha8]y  
    }za[E>z  
    说明:微型晶片 =tU{7i*+  
    !d&C>7nb  
    ^GBe)~MT  
    /cZ-tSC)o  
    说明:检测物镜 7u[j/l,  
    eh[_~>w  
    phE &7*!Q  
    >O5m5@GK3a  
    说明:探测器 76vy5R(.  
    <9sO  
    Er k?}E  
    F:#J:x'  
    结果:3D光线追迹(只有0级) p!/[K6u  
    <A9y9|>o  
    8?Z4-6!{V,  
    M_LXg%  
    结果:3D光线追迹(所有级) v2,%K`pAU  
    BA=,7y&;j  
    6'W[{gzl  
    zS< jd~  
    结果:光线追迹 8UkKU_Uso  
    [&*6_q"V  
    C%~a`e|/Y  
     mA7m  
    结果:场追迹 .qA{xbu  
    Ys8SDlMo  
    +\"-P72vjk  
    gKg-O  
    结果:线性偏振光的场追迹 tb?YLxMV  
    ;#MB7A  
    7a=S  
     
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