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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 ohusL9D  
    \^SL Zhe  
    任务/系统说明 VztalwI  
    %).phn"ij[  
    HH+NNSRO  
    a9Lf_/w{&  
    亮点 ^#e:q  
    orf21N+[  
     !cT#G  
    NS6Bi3~  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） LlL\7?_;  
     严格分析光栅衍射效率 j,eeQ KH  
     考虑入射光的方向分布 Ta?#o  
    s0v?*GRX  
    说明：光源 +SkD/"5ng  
    Sj(uc#  
    EaFd1  
    6'395x_ .\  
    说明：光束分束器 0}hN/2}&  
    No<2+E!  
    Xj"/6|X  
    `R0>;TdT  
    说明：检测透镜系统 IV_u f  
    8qp!S1Qnv  
    *aS|4M-  
    p=\DZU~1  
    说明：微型晶片 -w=rNlj  
    ##BMh!  
    j{>E.F2.  
    g$kK)z  
    说明：检测物镜 M kko1T=6  
    ?(>7v[=iT  
    #nX0xV5=  
    e<YC=67n)  
    说明：探测器 COc1np  
    r ^_8y8&l  
    *ZyIbT  
    a-x8LfcbF  
    结果：3D光线追迹（只有0级） ~ygiKsD6b  
    uf\Hh -+p  
    QE)I7(  
    =t<!W  
    结果：3D光线追迹（所有级）  kOETx  
    468LVe?0  
    >pO[ S[  
    Ud^+a H  
    结果：光线追迹 (' /S~  
    ?+D_*'65D  
     })g|r9=  
    HB{w:  
    结果：场追迹 5|NM]8^^0[  
    N'Ywn}!js  
     a36n}R4Q  
    LTS3[=AB  
    结果：线性偏振光的场追迹 B{H;3{0  
    cz OhSbmc  
    &\. LhOm  
     
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