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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 8 a!Rb-Q:  
    <99M@ cF  
    任务/系统说明 ^L1L=c;,  
    AWjJ{#W>9  
    N#V.1<Y  
    VUTacA Y>L  
    亮点 ^ &E}r{?  
    Y3kA?p0  
     &uP~rEJl+  
    YzosZ! L!<  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） rn DCqv!'P  
     严格分析光栅衍射效率 ?oZR.D|SZ  
     考虑入射光的方向分布 7e7 M@8+4  
    E r/bO  
    说明：光源 U<XSj#&8|  
    hPq%L c  
    @3fn)YQ'  
    9[!,c`pw  
    说明：光束分束器 64Lx -avf  
    gh`m*@  
    s}5cSU!|  
    j Ja$a [  
    说明：检测透镜系统 6cqP2!~  
    ly% F."v  
    Vz14j_  
    RMO,ZVq  
    说明：微型晶片 86@c't@  
    U$oduY#  
    Z, BC*  
    B1]bRxwn?  
    说明：检测物镜 80A.<=(=.  
    &`b "a!  
    gTRF^knrY  
    Z*G(5SqUh"  
    说明：探测器 imQUR C  
    (E,T#uc{  
    E{6~oZ#L  
    Q1V9PRZX  
    结果：3D光线追迹（只有0级） sNun+xsf^  
    q&C""!h^  
    Zmbfq8K  
    .q+0pj  
    结果：3D光线追迹（所有级） CctJFcEZ  
    !lo/xQ<  
    .^J2.>.  
    T843":  
    结果：光线追迹 6TP7b|  
    0"~i ^   
     L(GjZAP  
    a>\vUv*  
    结果：场追迹 8* Jw0mSw  
    E2)h ?cs  
     Wg`R_>qQSm  
    @p\}pY$T  
    结果：线性偏振光的场追迹 Dk48@`l2  
    \EseGgd21  
    0!v ->Dk  
     
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