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成像系统>包括光栅 u7Y'3x,` F~Z 0 任务/系统说明 PgG |7=' rlO%%Qn`  -t~B@% i9EMi_% 亮点 `6BS-AVO7
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 $R$c1C' oX P8,{k 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Y="&|c=w#L 严格分析光栅衍射效率 |jaY[_ .@ 考虑入射光的方向分布 H-cBXp5z >NOYa3 说明：光源 ^/d^$ t zW<&^  -g[*wN8 /o1)ZC$ 说明：光束分束器 g7 U:A0Z :5cu, &<Gv  d Xo'#. SJ[@fUxO) 说明：检测透镜系统 @aD~YtL"n w)m0Z4*  xXU/m| qn"T?
O 说明：微型晶片 s-N?Tzi klC^xSx  vs0H^L 2E ; %=e 说明：检测物镜 UWWD8~: >'|xQjLl  {O&liU4 ISnS; 说明：探测器 vBn=bb'W 3D09P5$W  =ci5&B? vS t=Ax3] 结果：3D光线追迹（只有0级） n p\Q& K<L%@[gi  W7[ S7kd mV(x&`Cx 结果：3D光线追迹（所有级） ,/b /O4`;y i+ x6aQ24  ^57fHlw ccR k4xR 结果：光线追迹 m',_k Y3
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 hYZ:" x vlN. OQ 结果：场追迹 *-!ndbf zT -"kK
 %^%-h} 1 E|4XQ|B@ 结果：线性偏振光的场追迹 K9M.+d4 >hL'#;:f#  \\G6c4 fC
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