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成像系统>包括光栅 f$F*3 v}[dnG 任务/系统说明 ZnfNQl[ 98= la,^$  >]?H`>4( `hrQw)5?r 亮点 ' ~Q 2!F
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 ~uj;qq o2uj =Gnx 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） RU&_j* U 严格分析光栅衍射效率 T ):SGW 考虑入射光的方向分布 `i fiL y%cO# P @ 说明：光源 x0Z5zV9 }roG(  e @n!x}t8 %*W<vu>H 说明：光束分束器 <Q5Le dN yL1CZ_  ~cqryr9
z`U Ukl}T 说明：检测透镜系统 Qe$k3! 51xk>_Hm}|  A3{0q>CC m*e YC 说明：微型晶片 n$["z
w Y(6Sp'0  ]%dnKP~ cQUC.TZ_ 说明：检测物镜 H0*,8i5I ,k0r  kB
P *K )qU7`0'8 说明：探测器 MI#mAg< vqNsZ 8|`  -?a<qa?$ - u3e5gW 结果：3D光线追迹（只有0级） cs Qfic %[QV,fD'E  ;<wS+4, #kmh:P 结果：3D光线追迹（所有级） lU2c _4 d- E4~)Qy  L;6.r3bL ;LwqTlJ*[L 结果：光线追迹 Nt -<W+, A( d5G^
 r':TMhzHq? bGXR7u&K 结果：场追迹 v"Jgw;3 0GXO&rCG
 >G"X J<IO qE7R4>5xjO 结果：线性偏振光的场追迹 q/ &y*)&'O % _M2N.n  Q<"[C
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