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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 &7kSLat+9{  
    "YvBb:Z>  
    任务/系统说明 HE<%d  
    $6?KH7lA  
    hB<z]sl  
      SrU   
    亮点 ;\&bvGj8V  
    %fSk "%u%<  
    o!dkS/u-m  
    1bAp{u&  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 8; N}d)*O  
     严格分析光栅衍射效率 +CHO0n  
     考虑入射光的方向分布 8lb `   
    UY& W]  
    说明:光源 (8X8<>w~  
    CvSG!l.6f<  
    #7:9XID /  
    l:C0:m%  
    说明:光束分束器 J0)WRn"h  
    =,;3z/k%  
    (#Kvm  
    6h*bcb#C  
    说明:检测透镜系统 v+2q R0,LM  
    ba1QFzN  
    j%<@ui u  
    :[?o7%"  
    说明:微型晶片 &T.P7nJ=  
    rpI7W?hh  
    rca"q[,  
    ^[NmNi*  
    说明:检测物镜 cmLu T/oV  
    TKydOw@P"  
    #IJKMSGw?E  
    ng6p#F,3  
    说明:探测器 Y##P9^zH1  
    -Af`AX  
    v2z/|sG  
    ^/YAokj  
    结果:3D光线追迹(只有0级) MX_a]$\ :n  
    qk"=nAJX  
    .B n2;nO  
    bg. KkJMrR  
    结果:3D光线追迹(所有级) .`=PE&xq  
    8LKZ3Y|  
    Hx0,kOh)  
    3&2q\]Y,  
    结果:光线追迹 \ku{-^7  
    Q9V4-MC9  
    z,P7b]KVe  
    TzXl ?N  
    结果:场追迹 _$lQK{@rY  
    3c6)  
     ?wY.B  
    WSwmX3rn  
    结果:线性偏振光的场追迹 -"L6^IH7  
    1 niTkop  
    ) O^08]Y g  
     
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