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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 C C09:L?  
    &q< 8tTW5  
    任务/系统说明  vXvV5Oq  
    @TprS d  
    \k,bz 0  
    &7W6IM   
    亮点 "_K 6=  
    m2! 7M%]GC  
     .UYpPuAkn  
    E\zhxiI  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ^~aSrREo  
     严格分析光栅衍射效率 4eEs_R  
     考虑入射光的方向分布 =_H39)|T  
    m#ie{u^  
    说明：光源 2|=_kN8;  
    L C7LO  
    bS'r}  
    o{he) r6)_  
    说明：光束分束器 II8nz[s  
    (lnQ!4LK  
    aOHCr>po,  
    H_j<%VW  
    说明：检测透镜系统 16>uD;G  
    vck$@3*  
    yq}{6IyZ^  
    k:TfE6JZ  
    说明：微型晶片 w!}1oy  
    BQU5[8l  
    *o[%?$8T  
    Tpukz_F  
    说明：检测物镜 8joQPHkI\  
    c6HU'%v  
    ' XF`&3 i  
    fh_ .J[Y.k  
    说明：探测器 3ngLEWT  
    JB+pFBeY  
    9^^#I ~-  
    Oi0;.< kX  
    结果：3D光线追迹（只有0级） #:|Y(,c  
    L0kNt &di  
    `0i3"06lr  
    '-IT@}  
    结果：3D光线追迹（所有级） AD\<}/3U  
    swlWe}1  
     J31M:<  
    S=}~I  
    结果：光线追迹 (UF!Zb]{  
    XijLS7Aw|  
     H/k W :k  
    .$0Ob<.  
    结果：场追迹 'pY;]^M  
    C._sgO  
     Z0eBx  
    mi<D bnou  
    结果：线性偏振光的场追迹 9|?Lz  
    !B lk=L+p  
    CFm1c1%Hg  
     
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