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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 Y*}xD;c k  
    h_xHQf&#  
    任务/系统说明 Hu4\4x$?  
    a,>`ab%>  
    !:zWhu,  
    _s(izc  
    亮点 zQPQP`  
    ;";#{B:  
     e<.O'!=7Y  
    e#R'_}\yj  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） R WfC2$z  
     严格分析光栅衍射效率 vv 7T/C  
     考虑入射光的方向分布 u)NmjW  
    U&PwEh4uG  
    说明：光源 948lL&  
    cq?&edjP  
    xD|/98  
    b@p3iq:  
    说明：光束分束器 szZ8-Y  
    y,YK Mc  
    bOvMXj/HV=  
    ?H30  
    说明：检测透镜系统 q>n0'`q   
    = nIl$9  
    6/4?x)l3-  
    xllk hD4F  
    说明：微型晶片 X{-@3tG<r  
    8dBG ZwyET  
    \NgBF  
    i wFI lJ@  
    说明：检测物镜 "3\C;B6I  
    q.GA\o  
    - C  
    li`4&<WGC  
    说明：探测器 D=!e6E<>@  
    C{5^UCJkg  
    o 5;V=8T;  
    3lW7auH4Y{  
    结果：3D光线追迹（只有0级） M8,_E\*  
    .5ItH^  
    L)mb.U$`c|  
    #("/ 1N6  
    结果：3D光线追迹（所有级） Z'@a@Y+  
    <dd(i  
    v[}g+3a  
    uFXu9f+  
    结果：光线追迹 Gv$}>YJ  
    ~?BN4ptc  
     CSBk  
    vT&xM  
    结果：场追迹 faqh }4  
    jcY:a0[{D  
     bVbh| AA  
    n>5/y c"/q  
    结果：线性偏振光的场追迹 j/h>G,>T=  
    f(}AdW}?  
    B(z?IW&  
     
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