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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 QqM[W/&R  
    5/.W-Q\pl}  
    任务/系统说明 "L>'X22ed  
    =, XCjiBeC  
    XIcUoKg^  
    HLyA zB~r  
    亮点 (\:Rnl  
    zs=3e~o3  
     -2hirA<^  
    -2.7Z`*(  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） k_pv6YrE  
     严格分析光栅衍射效率 y##h(y  
     考虑入射光的方向分布 [ycX)iM  
    _S9)<RVI+  
    说明：光源 45~x #Q  
    (~~m8VJ>  
    I%d=c0>%  
    [F<E0rjwM  
    说明：光束分束器 ':.Hz]]/A  
    @.;+WQE  
    _H$Lu4b)N  
    x%dny]O1;  
    说明：检测透镜系统 \[9VeqMU  
    ).KA0-  
    J;& y?%{@5  
    f-~Y  
    说明：微型晶片 ` o)KG,  
    ztVTXI%Kz  
    P@N+jS`Vf  
    Vb,V N?l  
    说明：检测物镜 M+ [ho]  
    xvl$,\iqE  
    joY7Vk!<o  
    vr;`h/  
    说明：探测器 :FAPH8]  
    CX]1I|T5  
    ?L<B]!9HZt  
    }nrjA0WN  
    结果：3D光线追迹（只有0级） ZvRa"j  
    r;Sk[Y5#  
    C m[}DB  
    ;21D^e  
    结果：3D光线追迹（所有级） }4 0T'y  
    Xs2}n^#i  
    UF"%FF  
    FL{Uz+Q  
    结果：光线追迹 ?V6,>e_+  
    iil<zEic  
     hYoUZ'4  
    ]-gyXE1.r  
    结果：场追迹 wnS,Jl  
    %bnXZA2Sx  
     J&8KIOz14Z  
    & ijz'Sg3  
    结果：线性偏振光的场追迹 m. pm,  
    a=2.Y?  
    Mj@2=c  
     
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