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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 >k&8el6h  
    @q> ktE_  
    任务/系统说明 A[^qq UL'  
    J7'f@X~nM  
    n%0]V Xx#  
    kfqpI  
    亮点 mFqSD  
    tLD~  
    KMK&[E#r  
    zd*3R+>U'>  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) XOysgX0g  
     严格分析光栅衍射效率 0^GbpSW{  
     考虑入射光的方向分布 :M22P`:  
    ~|CJsD/  
    说明:光源 k]SAJ~bS|  
    y:[BP4H?y  
    ;dqk@@O"(  
    5q|+p?C  
    说明:光束分束器 ioC@n8_[G  
    <i_> y~v`  
    j>0<#SYBu  
    On{~St'V  
    说明:检测透镜系统 KqM!!  
    -A/ds1=;  
    7$!`p,@we/  
    \C]i|]tl  
    说明:微型晶片 @gt)P4yE  
    eecw]P_?  
    _4P;+Y  
    .UM<a Ik  
    说明:检测物镜 Q~fwWp-J  
    u.Mqj"o\  
    ,M\j%3  
    T)WZ_bR  
    说明:探测器 S5i+vUI8C  
    s1X]RXX&j  
    r1i$D  
    1&"-*)  
    结果:3D光线追迹(只有0级) kWB, ;7  
    "'['(e+7  
    #F_'}?09%  
    [RAj3Fr0  
    结果:3D光线追迹(所有级) #v.L$7O  
    q1YLq(e  
    `kv1@aQPL  
    Q`H# fS~  
    结果:光线追迹 QJx9I_  
    ZhH+D`9  
    f?,-j>[.=f  
    ; D1FAz  
    结果:场追迹 4\p$4Hs}  
    6fh{lx>  
    g[/^cJHQ  
    >@^<S_KVh  
    结果:线性偏振光的场追迹 >&bv\R/  
    l`SK*Bm~<  
    Tdg6kkJ  
     
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