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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 a5a1'IVq  
    F"'n4|q4n  
    任务/系统说明 ibXe"X/_  
    =+<d1W`>0  
    i X%[YQ |  
    V5AW&kfd  
    亮点 8V-,Xig;`  
    34ha26\np  
     & 1_U1  
    '<7S^^ax  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 3y ryeS  
     严格分析光栅衍射效率 )Vg2Jix,]  
     考虑入射光的方向分布 g`[`P@  
    %hc'dZ  
    说明：光源 Ra[>P _  
    i ?;R}%~  
    e0 u,zg+m  
    n_P3\Y|  
    说明：光束分束器 (bv,02  
    D L{R|3{N  
    \tx%WC  
    WS:5MI,OL  
    说明：检测透镜系统 QL97WK\$  
    \5TxE  
    B76 v}O:  
    ZB[k{Y  
    说明：微型晶片 ~zF2`.  
    f@@s1gdb  
    ?gSSli[  
    J-V49X#  
    说明：检测物镜 pZk6 w1d!  
    D. Kqc  
    *V1J4 u  
    Qf xH9_  
    说明：探测器 ^:u?ye;  
    J#Z5^)$  
    3~Qd)j"<  
    \4{2eU  
    结果：3D光线追迹（只有0级） `#Kx|x6  
    tHh HrMxO  
    # ??%B  
    c*;7yh&%  
    结果：3D光线追迹（所有级） 8;8c"'Mn  
    A\AT0th  
    Wto ;bd  
    Qx)Jtb0`V  
    结果：光线追迹 1ibnx2^YB  
    .A6lj).:  
     9o0!m Cq  
    >MG(qi  
    结果：场追迹 XIAeCU  
    #yW\5)  
     6X)@ajGWg~  
    &(blN.2  
    结果：线性偏振光的场追迹 `f9gC3Hk  
    6CCbBA  
    DCQ^fZ/  
     
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