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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 T"1=/r$Ft  
    2S-f5&o  
    任务/系统说明 vIf-TQw  
    Po*!eD  
    C-XJe~  
    <<R2 X1  
    亮点 rE]Nr ;Ys  
    !*S,S{T8  
    WtO@Kf:3GH  
    FmSE ]et  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))  \>||  
     严格分析光栅衍射效率 M4(57b[`  
     考虑入射光的方向分布 Vh>|F}%E  
    kW0ctGFYlf  
    说明:光源 ?TJ4L/"(k6  
    GL~ Wnt  
    6|IJwP^Q_  
    Swh\^/B8  
    说明:光束分束器 cbl>:ev1h  
    bM.$D-?dF*  
    <KfR)7I$0a  
    yzZzaYv "/  
    说明:检测透镜系统 z[6avW"q  
    "!CVm{7[  
    wY ??#pS  
    xojt s;n   
    说明:微型晶片 ix$ ^1(  
    2qojU%fiH  
    ,:2Z6~z{  
    ^+~ 5\c*  
    说明:检测物镜 8!YQ9T[  
    ug.|ag'R  
    fef y`J  
    B!&y>Z^$  
    说明:探测器 kR3wbA  
    KDP"z  
    g9CedD%40  
    pU'${Z~b  
    结果:3D光线追迹(只有0级) W?"l6s  
    u80C>sQ  
    bDudETl  
    3Gr"YG{,  
    结果:3D光线追迹(所有级) dm]g:KWg  
    yYSmmgrX0  
    v 2 p  
    Ijap%l1I  
    结果:光线追迹 Uk*(C(  
    \o=9WKc  
    `Tf}h8*  
    QAt]sat  
    结果:场追迹 [V qiF~o,  
    X)6G :cD  
    4f~sRubK  
    FPkk\[EU  
    结果:线性偏振光的场追迹 Y652&{>q  
    dQ~GE}[  
    mj'N)6ga  
     
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