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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 MZYh44  
    UI:YzR  
    任务/系统说明 mjgwU8'![  
    <//82j+px  
    v[$-)vs*ag  
    :r4]8X-  
    亮点 E} Ir<\  
    3=[#(p:  
    JFOto,6L:  
    hz:^3F`>/&  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 2Y~UeJ_\Lq  
     严格分析光栅衍射效率 cnJL*{H<2  
     考虑入射光的方向分布 ~\vGwy  
    m/{HZKh  
    说明:光源 * SAYli+@  
    ZtzSG@f  
    )q.Z}_,)@  
    K)-Gv|*t  
    说明:光束分束器 XOOWrK7O  
    mT]+wi&  
    \R!.VL3Tx$  
    woSO4e/  
    说明:检测透镜系统 7CKpt.Sz6  
    p#14  
    @.rVg XE=!  
    g(X-]/C{  
    说明:微型晶片 bIvF5d>9#K  
    VV_Zrje  
    aJ!(c}N~97  
    OO7sj@  
    说明:检测物镜 J A=9EnTU  
    $5(_U  
    24Y8n  
     {J aulg  
    说明:探测器 o0yyP,?yh  
    JPo.&5k  
    iTX:*$~I  
    jCJbmEfo9@  
    结果:3D光线追迹(只有0级) d]3c44kkK{  
    ]'L#'"@  
    W^o* ^v  
    q+j.)e  
    结果:3D光线追迹(所有级) M-#OPj*  
    \>B$x@-wg  
    '7'*+sgi$  
    "-y 2En  
    结果:光线追迹 !b !C+ \v  
    NZu\ Ae  
    7g* "AEk  
    R04%;p:k#  
    结果:场追迹 d65fkz==A)  
    ?MW *`U  
    -dj9(~?^  
    asT/hsSNS  
    结果:线性偏振光的场追迹 5} v(Ks>  
    +%O_xqq  
    a\K__NCrX  
     
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