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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 r7]"?#  
    DjCx~@  
    任务/系统说明 Aaw(Ed  
    `7+j0kV)  
    7OVbP%n)d2  
    0_yP\m  
    亮点 k$Rnj`*^  
    gVU1Y6.  
     7S$&S;  
    k_GP> b\"k  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） oc{EuW{Ag  
     严格分析光栅衍射效率 DF1<JdO+  
     考虑入射光的方向分布 OQ4c#V?  
    0 nW F  
    说明：光源 Ep~wWQh  
    =y%rG :!  
    Y7U&Q:5'  
    zz_[S{v!#  
    说明：光束分束器 fT Y/4(  
    6'OO-o  
    Q;h3v1GC\P  
    \k.vN@K#  
    说明：检测透镜系统 ad n|N  
    >O]s&34  
    Ulqh@CE)  
    (A/0@f1#  
    说明：微型晶片 ~fzuwz  
    9 1P4:6  
    80ZnM%/}  
    TSo:7&|  
    说明：检测物镜 VY'Q|[  
    jB@4b 'y  
    L>Jd7; =  
    . p^xS6e{  
    说明：探测器 S7n"3.k  
    zW4 O4b$T  
    Y?Vz(udD  
    FUeq \Wuo  
    结果：3D光线追迹（只有0级） 3@5p"X  
    6~5$s1Yc  
    &1)xoZ'\  
    d*;$AYI#R  
    结果：3D光线追迹（所有级） $V8vrT#:  
    ;R[&pDx  
    9 Aivf+  
    [{F%LRCo-  
    结果：光线追迹 y7zkAXhJ  
    "D> ]ES%5  
     R]b! $6Lt  
    p/|(,)'+jx  
    结果：场追迹 : d'65KMi  
    x3p9GAd#  
     TGWdyIk  
    ;;LuU<,$  
    结果：线性偏振光的场追迹 Etmo7 8e  
    gOE_ ]  
    W\ULUK  
     
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