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成像系统>包括光栅 T"1=/r$Ft 2S-f5&o 任务/系统说明 vIf-TQw Po*!eD C-XJe~ <<R2
X1 亮点 rE]Nr ;Ys !*S,S{T8
WtO@Kf:3GH FmSE]et 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) \>|| 严格分析光栅衍射效率 M4(57b[` 考虑入射光的方向分布 Vh>|F}%E kW0ctGFYlf 说明:光源 ?TJ4L/"(k6 GL~
Wnt 6|IJwP^Q_ Swh\^/B8 说明:光束分束器 cbl>:ev1h bM.$D-?dF* <KfR)7I$0a yzZzaYv "/ 说明:检测透镜系统 z[6avW"q "!CVm{7[ wY ??#pS xojt s;n
说明:微型晶片 ix$
^1( 2qojU%fiH ,:2Z6~z{ ^+~5\c* 说明:检测物镜 8!YQ9T [ ug.|ag'R fefy`J B!&y>Z^$ 说明:探测器 kR3wbA KDP"z g9CedD%40 pU'${Z~b 结果:3D光线追迹(只有0级) W?"l6s u80C>sQ bDudETl 3Gr"YG{, 结果:3D光线追迹(所有级) dm]g:KWg yYSmmgrX0 v 2p Ijap%l1I 结果:光线追迹 Uk*(C( \o=9WKc
`Tf}h8* QAt]sat 结果:场追迹 [VqiF~o, X)6 G :cD
4f~sRubK FPkk\[EU 结果:线性偏振光的场追迹 Y652&{>q
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