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成像系统>包括光栅 1z8fhE iiE B!1L W4^ 任务/系统说明 Ec!R3+ _&$nJu 69``j{Z+ )dRBI)P 亮点 0&6(y*
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y.Q 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) !4+@b
s 严格分析光栅衍射效率 n_t.l<V 考虑入射光的方向分布 -lI6!a^ =K6{AmG$ 说明:光源 ']>/$[! N8`q.;qewz ia%U;M (0S;eM& 说明:光束分束器 FzQ6UO~' pIvr*UzY D{iPsH6};5 x/?w1 说明:检测透镜系统 (!diPwcv od]1:8OF W&9X <c* FmtV[C# 说明:微型晶片 <ta#2 [gE2;J0* sKL"JA
T -T .C?Q g 说明:检测物镜 7j{63d`2 x`zE#sD U$6(@&P! .OvH<%g!. 说明:探测器 jRSY`MU}t+ d/` d:g -ob1_0 hXP'NS`iv 结果:3D光线追迹(只有0级) p!p:LSk"/b ~5wT|d "I^pb.3 sKGR28e 结果:3D光线追迹(所有级) Z oQPvs7_ #~;:i FK`M+ j ?8@EBPpC 结果:光线追迹 *d,Z?S/ iea7*]vW
}Uunlz< sn:wLc/GAd 结果:场追迹 0^zp*u mu&%ph=
eR:!1z_h Nmu=p~f}3` 结果:线性偏振光的场追迹 B-EDVMu f-a+&DB9 #(Ezt% ^
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