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成像系统>包括光栅 r &TxRsg{ `|PxEif+J 任务/系统说明 v}cm-_*v Q"Bgr&RJ  3K#e]zoI [KjQW/sb' 亮点 N gH %
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 JG4&e K$- f0hi70\(X 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） :ss9- 严格分析光栅衍射效率 i !Ne<Q 考虑入射光的方向分布 bUqO.FZ[ {'vvE3iZ 说明：光源 C8n1j2G\ `rs1!ZJ,  JP@U vDE | rre;HJGEL 说明：光束分束器 *tP,Ol 1 r.q]^Pq~  IGI2).$[ L9AfLw5&X 说明：检测透镜系统 NtT)Wl Xt~/8)&  IjrTM{f Sa<R8X' J 说明：微型晶片 ")o.x7~N LpF6e9V\Wp  1yE~#KpH ''WX 说明：检测物镜 ? j OpW1 Y#N 'bvE|%  }Rf }
iG X0C\87xfG 说明：探测器 +B&FZ4' %E Vg.k$  yBr{nFOgdY pYa<u,>pN 结果：3D光线追迹（只有0级） 979L] H# "n0 5y}  E]7G4 $hN!DHz 结果：3D光线追迹（所有级） ;j52a8uE'} o= 8yp2vG  @lBH@HR=C ?dTz?C.w 结果：光线追迹 )
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 Q.8Jgel1 x,1&ml5 结果：场追迹 6: M c''!&;[!
 E*'O)) *]H ./a:1 结果：线性偏振光的场追迹 aH >.o 1; "%Rx;xw|  "o TwMU
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