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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 wN_Vfb  
    ]#)()6)2v  
    任务/系统说明 u^@f&BIG]:  
    _C%3h5  
    :;t:H] f  
    b|l:fT?&  
    亮点 0fb2;&pUa  
    EizKoHI-z  
    tU}h~&M  
    w1Nm&}V  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) jFQQ`O V  
     严格分析光栅衍射效率 @>r._ ~  
     考虑入射光的方向分布 v|XTr,#  
    EU2$f  
    说明:光源 l: HTk4$0  
    xK *b1CB  
    8g@<d ^8@  
    yr)G]K[/  
    说明:光束分束器 u@Ih GME  
    dP9qSwTa  
    >:74%D0UF  
    u 1J0$  
    说明:检测透镜系统 5kc/Y/4o  
    "@e3EX7h  
    Sj%u)#Ub  
    kvL=> A  
    说明:微型晶片 @E&J_un  
    5V?& 8GTe  
    5Yg'BkEr  
    @6Y?\Wx$w  
    说明:检测物镜 H4WP~(__  
    >6ni")Q9  
    (!ux+K  
    b o6d)Q  
    说明:探测器 3 ]5^r}  
    b.2aHu( 3  
    EaO6[E  
    q$0*b]=E  
    结果:3D光线追迹(只有0级) lUOF4U&r  
    Kfbb)?  
    @x*c1%wg  
    EuZ<quwWg  
    结果:3D光线追迹(所有级) F|'>NL-=  
    kjTduZ/3 "  
    %R}qg6dL  
    Tm~" IB*  
    结果:光线追迹 P{8iJ`rBG  
    0!4Ts3qn1  
    &W| [r(  
    +^` I?1\UF  
    结果:场追迹 *D'22TO[[!  
    2~Kgv|09  
    tIWmp30S  
    ew>XrT=Zm  
    结果:线性偏振光的场追迹 JB%',J  
    $h+1u$po  
    OSRp0G20k\  
     
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