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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 WVY\&|)$  
    ;FZ@:%qDm  
    任务/系统说明 $Y5)(  
    +3KEzo1=)  
    )T;?^kho  
    6252N]*  
    亮点 B'^:'uG  
    6xD#?  
     O(+phRwJ  
    u|4$+ QiD  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） %/9 EORdeH  
     严格分析光栅衍射效率 ?_I[,N?@41  
     考虑入射光的方向分布 765p/**  
    SJIOI@\b  
    说明：光源 4wrk2x[  
    hAHq\  
    MNSbtT*^  
    2(/g}  
    说明：光束分束器 8T(e.I  
    LVJxn2x6  
    $V1;la!  
    QR1{ w'c  
    说明：检测透镜系统 Ot]Ru,y->+  
    To?W?s  
    8P=o4lO+  
    otk}y8  
    说明：微型晶片 JGuN:c$  
    ~i`>adJ:  
    =2@B&  
    Vb9',a?#n  
    说明：检测物镜 -YsLd 9^4  
    \?jeWyo  
    }fKSqB]T-  
    IEU^#=n  
    说明：探测器 #lkM=lY'  
    o`Ta("9^  
    &gjF4~W]  
    8stwg'  
    结果：3D光线追迹（只有0级） .jj$Kh q]  
    [o?* "c  
    e [8LmuIZ  
    gCxAG  
    结果：3D光线追迹（所有级） /tUy3myJ  
    `\+@Fwfx  
    JJ%ePgWT  
    *k19LI.5  
    结果：光线追迹 ai{Sa U  
    S%Us5`sd  
     Ps 8%J;  
    uV=Qp1~  
    结果：场追迹 '7oA< R  
    =KR NvW  
     rta:f800z  
    ]niJG t  
    结果：线性偏振光的场追迹 ahPoEh  
    %DdJ ^qHI  
    Op_RzZP`  
     
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