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成像系统>包括光栅 -*~ = 4m< !8 lG"l|,l 任务/系统说明 >v7fR<(%s V7[6jW gH  {Fs}8\ z VgD z:j 亮点 /{>$E>N;
29("gB
 t J>%Xop Uy 2NZ%rnt 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） *1"xvle 严格分析光栅衍射效率 ajC'C!"^Ty 考虑入射光的方向分布 UCG8=+t5T a"SH_+T{ 说明：光源 ` Fnl<C< )9I>y2WU~  !m"LIa#/Cs O=~8+sa 说明：光束分束器 #S)] `YW 8 mj Pa^A  Yv<' QC @ 32~#0a 说明：检测透镜系统 kW#,o 9f\ 5$f
vI#NO<  R % [ZQ K 7=i8$v&GX 说明：微型晶片 zx` % )r POvxZU  =^8*]/k 701a%Jq_2 说明：检测物镜 )3K# ${p O AJGwm  mN^w?R41m Loz5[L 说明：探测器 XJg8-)T# 8 Na.H::cZ  -#<6 }L
mhM 结果：3D光线追迹（只有0级） H#H@AY3Y >QyJRMY  w-iu/|} : rxS &5 结果：3D光线追迹（所有级） be?>C
5 {1?94rz  kN7 J Z12 UWU(6J|Fk 结果：光线追迹 KLb"_1z :j(e+A1@
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