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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 1z8fhE iiE  
    B!1L W4^  
    任务/系统说明 Ec!R3+  
    _&$nJu  
    69``j{Z+  
    )dRB I)P  
    亮点 0&6(y* #Z  
    idZ]d6  
    0(|36 ;x  
    h]^= y.Q  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) !4+@b s  
     严格分析光栅衍射效率 n_t.l<V  
     考虑入射光的方向分布 -lI6!a^  
    =K6{AmG$  
    说明:光源 ']>/$[!  
    N8`q.;qewz  
    ia%U;M  
    (0 S;eM&  
    说明:光束分束器 FzQ6UO~'  
    pIvr*UzY  
    D{iPsH6};5  
    x /?w1  
    说明:检测透镜系统 (!diPwcv  
    od]1:8OF  
    W&9X <c*  
    FmtV[C #  
    说明:微型晶片 <ta#2  
    [gE2;J0*  
    sKL"JA T  
    -T.C?Q g  
    说明:检测物镜 7j{63d`2  
    x`zE#sD  
    U$6(@&P!  
    .OvH<%g!.  
    说明:探测器 jRSY`MU}t+  
    d /`d:g  
    -ob1_0  
    hXP'NS`iv  
    结果:3D光线追迹(只有0级) p!p:LSk"/b  
    ~5wT|d  
    "I^pb.3  
    sKGR28e  
    结果:3D光线追迹(所有级) Z oQPvs7_  
    #~;:i  
    FK`M+ j  
    ?8@EBPpC  
    结果:光线追迹 *d,Z ?S/  
    iea7*]vW  
    }Uunlz<  
    sn:wLc/GAd  
    结果:场追迹 0^zp*u  
    mu&%ph=  
    eR:!1z_h  
    Nmu=p~f}3`  
    结果:线性偏振光的场追迹 B-EDVMu  
    f-a+&DB9  
    #(Ezt% ^  
     
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