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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 #}^waYAk)  
    K#OL/2^ 5  
    任务/系统说明 p<L7qwOii  
    al[^pPKZ  
    /b,>fK^  
    </25J((  
    亮点 '4'Z  
    'h$1 z$X5  
    9lq5\ tL-  
    1 uU$V =  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) cO5F=ZxR  
     严格分析光栅衍射效率 "1a;);S=*)  
     考虑入射光的方向分布 9`f@"%h  
    %6Gg&Y$j!  
    说明:光源 2K:A4)jZ  
    ys`-QlkB  
    p-s\D_  
    }c8nn  
    说明:光束分束器 do8[wej<:  
    $@Vn+| Ix  
    V|YQhd0kv  
    GN_L"|#)=  
    说明:检测透镜系统 +?)7 l  
    -E}X`?WhD  
    9^/Y7Wp/@  
    MFq?mZ,  
    说明:微型晶片 9 dNB _  
    *}]#E$  
    #Vum  
    uw3vYYFX  
    说明:检测物镜 1]/;qNEv  
    d[6 'w ?  
    6k hBT'n  
    =q VT  
    说明:探测器 XZ%[;[  
    LuySa2 ,  
    =d Q[I6  
    $ W7}Igx#  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 0`E G-Hw  
    _*H Hdd5I  
    ChK-L6  
    T U6s~  
    结果:3D光线追迹(所有级) LcGKYl(\K  
    ;O7"!\  
    4`8s]X  
    "mQp#d/'  
    结果:光线追迹 eKOEOm+  
    3VLwY!2:  
    T+L=GnYl  
    H~yHSm 3  
    结果:场追迹 a{xJ#_/6  
    _;3,  
    brmS J7  
    U5C]zswL  
    结果:线性偏振光的场追迹 yBy7d!@2  
    AO5&Y.A#  
    vb[0H{TT2  
     
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