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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 EmH2 Dbw  
    eR;cl$  
    任务/系统说明 hsVWD,w  
    m"xw5aa>  
    T"dEa-O  
    ft$/-;  
    亮点 ^(a%B  
    Z!ub`coV[  
    NB>fr#pb  
    7 bpV=  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) M#2DI?S@  
     严格分析光栅衍射效率 3g} ]nj:N  
     考虑入射光的方向分布 CM~)\prks  
    OHH wcJ7N  
    说明:光源 /<M08ze  
    PCD1I98  
    :;]6\/ky  
     4INO .  
    说明:光束分束器  @4H*kA  
    P~=|R9 t  
    #:2 36^xYS  
    mNs&*h}  
    说明:检测透镜系统 &{"aD&  
    UB=I>  
    NbfV6$jo  
    3;#v$F8R  
    说明:微型晶片 ,AWN *OS  
    {6A3?q  
    347p2sK>  
    Rl-Sr  
    说明:检测物镜 \~U8<z  
    $\{@wL  
    a B%DIH,  
    p)Z$q2L  
    说明:探测器 i!jx jP  
    ZOfyy E  
    }<A\>  
    k6. }.  
    结果:3D光线追迹(只有0级) jsc1B  
     I=|b3-  
    G' Jsk4:c  
    }"%tlU!}  
    结果:3D光线追迹(所有级) =K}5 fe  
    <<Ut@243\  
    xR\$2(  
    i5q VQo  
    结果:光线追迹 fD]}&xc  
    8`kK)iCq  
    ,;hI yT  
    ?nCG:\&;'=  
    结果:场追迹 8( 7DW |\  
    F3i+t+Jt  
    V- Oy<  
    iLNKC'  
    结果:线性偏振光的场追迹 uI!rJc>TX  
    Kbrb;r59  
    9v8{JaI3  
     
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