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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 IC~ljy]y_  
    L#j/0IHD  
    任务/系统说明 CT"Fk'B'  
    _}=E^/;(  
    n<R \w''x  
    UKs$W`  
    亮点 @YZ 4AC  
    }~zO+Wf2  
     @PXXt#  
    Z3;=w%W  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 9k `~x1Y)  
     严格分析光栅衍射效率 ^ KOzCLC  
     考虑入射光的方向分布 *{[d%B<lp  
    {nRUH*(d9  
    说明：光源 otq,R6 ^  
    l,bZG3,6  
    M,..Kw/ }~  
    fN[n>%)VO<  
    说明：光束分束器 VO-784I  
    M&e8zS  
    Phlk1*1n  
    Bz:0L1@,4a  
    说明：检测透镜系统 d}% (jJ(I  
    ptR  
    <!!nI%NC  
    AU`OESSI  
    说明：微型晶片 4x]NUt  
    B\zoJg&7(  
    gz\j('~-D  
    P#bm uCOS  
    说明：检测物镜 +$ ~8)95<B  
    }200g_^  
    m3"c (L`B  
    _LsYMUe  
    说明：探测器 6o(lObfo  
    D;C5,rN t  
    j4vB`Gr]  
    E7 L bSZ  
    结果：3D光线追迹（只有0级） JP%RTGu  
    1>;6x^_h0S  
    Xj;2h{#s  
    lb95!.av+I  
    结果：3D光线追迹（所有级） PL!tk^;6-  
    o@',YF>OQ  
    "i(U  
    un&>  
    结果：光线追迹 i&pMF O  
    0STk)> 3$-  
     Xky@[Td*  
    (xQI($Wq*M  
    结果：场追迹 $~ VcQ  
    <>?^4NC<M  
     R05T5Q1]A  
    `|JI\&z  
    结果：线性偏振光的场追迹 'Ye]eL,I\  
    8(uw0~GO  
    P;>!wU~*  
     
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