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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 +~roU{& o  
    'u_t<F ]b  
    任务/系统说明 ryCI>vJz  
    rN<b?KE  
    1_ C]*p  
    NqEA4C  
    亮点 mG`e3X6@-  
    1~ t{aLPz  
     \ZhfgE8{%  
    rEv*)W  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） I_%a{$Gjl  
     严格分析光栅衍射效率 \&3"<6xA  
     考虑入射光的方向分布 *gF<m9&  
    S:q3QgU=X  
    说明：光源 )+"'oY$]}  
    MR,R}B$  
    3=$q  
    T<@cd|`  
    说明：光束分束器 -zO2|@S,  
    7aYn0_NKp  
    u4neXYSy  
    O Xi@c;F  
    说明：检测透镜系统 )r z+'|,  
    uy^   
    ym/fFm6h  
    ,7)C"  
    说明：微型晶片 )VK }m9Ae  
    st &  
    :BukUket1e  
    ZBG}3Z   
    说明：检测物镜 6PF8 /@Nh  
    pdb1GDl0q  
    ;.Ie#Vr1N  
    0hn-FH-XE  
    说明：探测器 X$\i{p9jw  
    tYqs~B3  
    mNAY%Wn6k  
     oM1 6C|  
    结果：3D光线追迹（只有0级） H{c?lT  
    " ;w}3+R  
    L]hXp t  
    0g<K[mPr7  
    结果：3D光线追迹（所有级） 25|8nfeC5  
    x/MZ(A%D  
    Dli^2hD  
    MZSxQ8  
    结果：光线追迹 1fL<&G  
    hc$@J}`  
     j#6|V]l  
    |"$uRV=qm  
    结果：场追迹 QI[}(O7#6  
    UU}7U]9u  
     =KX<_;E  
    |\uYv|sT  
    结果：线性偏振光的场追迹 ]y)Q!J )Q  
    iY/KSX^~O  
    $ 'QdFkOr  
     
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