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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 v]UT1d=_T  
    7>#?-, B  
    任务/系统说明 kjVUG >e>  
    N~rA/B]T  
    |$*1!pL-QP  
    S{HAFrkm7  
    亮点 z'=8U@P'#  
    6 V{Sf9V|  
     87; E#2  
    gD}lDK6N  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） RLy(Wz3%  
     严格分析光栅衍射效率 g=)B+SY'  
     考虑入射光的方向分布 HSXv_  
    @|AHTf!  
    说明：光源 0&M~lJ  
    &8p]yo2zO  
    =35g:fL  
    Iw)}YZmn  
    说明：光束分束器 H7{)"P]{f  
    ''t\J^+&  
    t zn1|  
    ~e|RVY,  
    说明：检测透镜系统 k P]'  
    O52B  
    `_YXU  
    Q]/ZVcoqo  
    说明：微型晶片 V{jQ=<)@e  
    #mT\B[4h  
    >:o$h2  
    / thFs4  
    说明：检测物镜 8jBrD1  
    ^/6LVB*  
    _3Kow{y\  
    o >wty3l:  
    说明：探测器 wh Hp}r  
    8dPDs#Zl  
    Nxm^jPM 0  
    ={'3j  
    结果：3D光线追迹（只有0级） Z "mqH  
    u-s*3Lg&  
    .1{:Q1"S  
    >H r&F nh+  
    结果：3D光线追迹（所有级） D02'P{  
    V;pR w`  
    Ew< sK9[o  
    LZ=E  
    结果：光线追迹 plNoI1st  
    :9H`O!VF  
     @23?II$=@  
    'hGUsi  
    结果：场追迹 FhP$R}F  
    vRhI:E)So#  
     r+Pfq[z&  
    ,+P2B%2c  
    结果：线性偏振光的场追迹 5'<J@3B  
    \sn wR  
    Wq2 Bo*[*  
     
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