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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 9Zpd=m8dU  
    C2W&*W*  
    任务/系统说明 @# &y  
    UU]a).rz  
    r WPoR/M  
    ^EmI;ks  
    亮点 dzyp:\&9  
    )nA fT0()0  
     ;TG<$4N  
    OqA#4h4^  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ;Fm7!@u^0  
     严格分析光栅衍射效率 ^`oyf{w@  
     考虑入射光的方向分布 [78^:q-/0  
    by0M(h  
    说明：光源 Tjza3M  
    GJ4R f%  
    :sXn*k4v  
    3+2cD  
    说明：光束分束器 R3gg{hQ  
    hQ}B?'>  
    JO"-"&>  
    UqaV9  
    说明：检测透镜系统 @b"J FB|  
    )%]`uj>*[  
    Dg2=;)"L  
    w-9fskd6e  
    说明：微型晶片 or]kXefG3  
    %,[p[`NRYR  
    !_My]>S  
    zeG_H}[2&  
    说明：检测物镜 W: vw.  
    bClMM  
    t^-yK;`?q:  
    l9Sx'<  
    说明：探测器 0NMekVi  
    6+Wkcr h  
    @ 80Z@Pj  
    eW^_YG%(  
    结果：3D光线追迹（只有0级） /K<.$B8  
    l d4#jV ei  
    j=~c( B  
    +Pm yFJH  
    结果：3D光线追迹（所有级） R#UcwX}o  
    KM ;'MlO  
    [exIK  
    _.y0 QkwV  
    结果：光线追迹 OfSHZ;,  
    !R.*Vn[  
     (( D*kd"  
    dy%#E2f  
    结果：场追迹 $Q cr  
    \E3e vU  
     "=97:H{!  
    o<r|YRzQl  
    结果：线性偏振光的场追迹 WfDpeXdO  
    ) ]x/3J@  
    ni$S@0  
     
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