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成像系统>包括光栅 KOYU'hw h$[tEmD% 任务/系统说明 ;5ANw"Dq pGwBhZnb> 1@$n)r` +NM`y=@@ 亮点 %^zGM^PD `vMrlKq
4s <|8 D|8Pe{` 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
i_[nW 严格分析光栅衍射效率 dTATJ)NH 考虑入射光的方向分布 Xb/W[rcs vrGx<0$ 说明:光源 -45xa$vv n'i~1pM,? 7uI~Xo?N :!cNkJa 说明:光束分束器 {&I3qk2( ?'jRUf l Xy[*)< [f8mh88r 说明:检测透镜系统 3-%F)@n Qf$3!O}G <$:Hf@tpMo -9X#+- 说明:微型晶片 YXFUZ9a#e 5nQxVwY #P^cR_|\ FN>ns, 说明:检测物镜 2B!Bogs W "}Cfv r ?e''r +{7/+Zz 说明:探测器 T \"eqa K'DRX85F Y/Dah* aj\
zc I 结果:3D光线追迹(只有0级) ?T (@< |