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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 KOYU'hw  
    h$[tEmD%  
    任务/系统说明 ;5ANw"Dq  
    pGwBhZnb>  
    1@$n )r`  
    +NM`y=@@  
    亮点 %^zGM^PD  
    `vMrlKq  
    4s <|8   
     D|8Pe{`  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) i_[nW  
     严格分析光栅衍射效率 dTATJ)NH  
     考虑入射光的方向分布 Xb/W[rcs  
    vrGx<0$  
    说明:光源 -45xa$vv  
    n'i~1pM,?  
    7uI~Xo ?N  
    :!cNkJa  
    说明:光束分束器 {&I3qk2(  
    ?'jRUfl   
    Xy[*)<  
    [f8mh88 r  
    说明:检测透镜系统 3-%F)@n  
    Qf$3!O}G  
    <$:Hf@tpMo  
    -9X#+-  
    说明:微型晶片 YXFUZ9a#e  
    5nQxVwY  
    #P^cR_|\  
    FN>ns,  
    说明:检测物镜 2B !Bogs  
    W "}Cfv  
    r ?e''r  
    +{7/+Zz  
    说明:探测器 T\"eqa  
    K'DRX85F  
    Y/Dah*  
    aj\ zc I  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ?T (@<T  
    U~nW>WJ+.  
    `#Yv(a2TY  
    k2@|fe  
    结果:3D光线追迹(所有级) {~=Z%Cj2Q  
    o4l=oY:'  
    V']{n7a-  
    \c .^^8r  
    结果:光线追迹 $HE ?B{  
    wV& UB@  
    \0'0)@uziQ  
    ky^u.+cZ  
    结果:场追迹 -h|YS/$f  
    /z(;1$Ld6{  
    ndB [f  
    nUy2)CL[L  
    结果:线性偏振光的场追迹 7c7:B2Lq  
    V]fsjpvlmr  
    # 1#?k  
     
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