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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 Bn Nu/02.=  
    V/8yW3]Xy  
    任务/系统说明 +s5Yg,4*  
    (!<G` ;}u  
    h-@_.&P0e  
    l 4cTN @E  
    亮点 (XQl2C  
    y|%lw%cSe  
    'L6+B1Op  
    =(,dI [v  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) vFGVz  
     严格分析光栅衍射效率 i^/D_L.  
     考虑入射光的方向分布 .7H* F9  
    7=4V1FS6i  
    说明:光源 cs)z!  
    R(A"6a8*  
    v?4MndR  
    y/ah<Y0(  
    说明:光束分束器 }/z\%Y  
    |R>I#NO5  
    J]Qbg7|  
    Z9lfd6MU,  
    说明:检测透镜系统 K9UWyM<(2C  
    G6j9,#2@  
    nB , &m&  
    mr`EcO0  
    说明:微型晶片 qo0]7m7|  
    ?;Ge/~QU5  
    2aGK}sS6  
    J OH=)+xj  
    说明:检测物镜 Fy]j33E  
    51x)fZQ  
    ,9ZN k@q  
    rKWkT"  
    说明:探测器 z,=k F I  
    iLG~_Ob:  
    qn@:A2e d  
    .cm$*>LW:x  
    结果:3D光线追迹(只有0级) V|bN<BYJ  
    0Bhf(5  
    54, (;  
    97(*-e=e  
    结果:3D光线追迹(所有级) fmq9u(!R  
    . xdSUe  
    $v+t ~b  
    ~@bh[o~rF  
    结果:光线追迹 .TetN}w  
    ~m.@{Do0p  
    DU-&bm  
    ]Syr{|  
    结果:场追迹 2:l8RH!Y  
    gEU|Bx/!=  
    >~k"C,6  
    QWV12t$v  
    结果:线性偏振光的场追迹 m339Y2%=  
    @s;qmBX4  
    J.QFrIB{]+  
     
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