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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 ;ND$4$  
    b^Z2Vf:k]  
    任务/系统说明 [j-?)  
    ?@9v+Am!  
    7h}gIm7e"  
    AQUAQZc  
    亮点 Yi%lWbr  
    }bv+^#  
    } +}nrJv  
    oI{.{]  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) c$ !?4z_.  
     严格分析光栅衍射效率 q4[}b-fF  
     考虑入射光的方向分布 Kf:!tRE  
    C '( Y  
    说明:光源 9?H$0xZV  
    i90X0b-A  
    C P}fxDW  
    =G:Krc8w@  
    说明:光束分束器 N!(mM;1X)  
    bW6| &P}X  
    \Nt 5TG_  
    *'-4%7C`1  
    说明:检测透镜系统 x(TF4W=j  
    IQPu%n{0v  
    E2'Wzrovlo  
    BA c+T  
    说明:微型晶片 /P*XB%y  
    ChTq!W  
    wHj 1+W  
    }QCnN2bV  
    说明:检测物镜 _d@YLd78P  
    ^YLC{V  
    >K9Ia4I,  
    T/3LJGnY  
    说明:探测器 8OZj24*'DS  
    $Q/@5f'T`9  
    $pES>>P  
    jw:z2:0~  
    结果:3D光线追迹(只有0级)  `Eh>E,  
    GQtNk<?$I  
    ~.W]x~X$  
    l;iU9<~  
    结果:3D光线追迹(所有级) CT[9=wV)m%  
    W#F9Qw  
    2t\0vV2)/O  
    nqo{]fn  
    结果:光线追迹 .yj@hpJM  
    |fgUW.  
    D.a>i?W  
    dipfsH]p  
    结果:场追迹 f kZHy|m  
    Zk=,`sBC  
    4aS}b3=n  
    $X#y9<bW  
    结果:线性偏振光的场追迹 ;7P '>j1?U  
    spV7\Gs.@  
    |8k1Bap`z  
     
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