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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 i!}nGJGg  
    s)DNLx  
    任务/系统说明 gZ >orZL'  
    89- 8v^ Pq  
    OTHd1PSOu  
    er7/BE&  
    亮点 F-7b`cF9[r  
    E0B2>V  
     nTy,Jml  
    ,bwopRcA  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） *0@; kD=  
     严格分析光栅衍射效率 *2C79hi1  
     考虑入射光的方向分布 =^AZx)Kwd  
    2c`=S5  
    说明：光源 bOIM0<(h  
    I;.E}k   
    83,1d*`  
    {,C8}8 a W  
    说明：光束分束器 u.4vp]eU  
    Qufv@.'AY  
    -j=&J8Za  
    z.Kq}r^  
    说明：检测透镜系统 QT l._j@  
    D!$ =oK  
    ~Q 9)Q  
    V42*4hskL  
    说明：微型晶片 ]S aH/$  
    !vp!\Zj7o  
    Y[]+C8"O  
    :#htOsP  
    说明：检测物镜 TdIFZ[<7  
    LU7)F,ok  
    ^?xJpr%)  
    FY}*Z=D%  
    说明：探测器 % j{pz  
    29657k8  
    6|qvo+%  
    z\d2T%^:g(  
    结果：3D光线追迹（只有0级） .eXA.9 |jm  
    Tv)y }  
    `+;oo B  
    SWd[iD  
    结果：3D光线追迹（所有级） q &6=oss!  
    "$cT*}br  
    |5B9tjJ"  
    HMd)64(  
    结果：光线追迹 ioCkPj  
    /l%qq*Ew  
     Z9~Wlt'?  
    kzpbs?<;  
    结果：场追迹 Z=8CbS).  
    =e{KtX.  
     b/Q"j3  
    ^O*hs%eO%  
    结果：线性偏振光的场追迹 "FvlZRfXj  
    ^WPV  
    Vho0f<`E  
     
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