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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 H87k1^}HV  
    %GMCyT  
    任务/系统说明 ~ntDzF  
    !4YmaijeN  
    )2:U]d%pk  
    dw| VH1fS  
    亮点 Kzwe36O;?  
    8Qkwg]X  
     tC7 4=  
    A "'h0D  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） .j"@7#tW  
     严格分析光栅衍射效率 fvA167\  
     考虑入射光的方向分布 5 <7sVd.  
    N#X* 0i"  
    说明：光源 wiM4,  
    #"[EVF0%1D  
    #smfOGSd  
    &NI\<C7_Gw  
    说明：光束分束器 KJt6d`ZN  
    xhMAWFg|  
    c/Li,9cT'  
    Q>L.  
    说明：检测透镜系统 ++=jh6  
    G P`sOPr  
    &=wvlI52`  
    *mW2vJ/B  
    说明：微型晶片 1buO&q!vn  
    7{NH;U t  
     gq} c  
    gy"<[N .?c  
    说明：检测物镜 JX#0<U|L  
    ]q&NO(:kbq  
    1L=)93,M  
    @Z<Z//^k  
    说明：探测器 3L{)Y`P  
    sR)jZpmC(  
    dKa2_|k'  
    h]j>S  
    结果：3D光线追迹（只有0级） y!_8m#n S  
    v <OZ # L$  
    QI78/gT,d  
    Q2* ~9QkU  
    结果：3D光线追迹（所有级） S7~HBgS<  
    -]QP#_   
    6.6?Rp".  
    ?MS!t6  
    结果：光线追迹 R'fEw3^  
    x1Z*R+|>2  
     FwD q@Oj  
    2HF`}H)H  
    结果：场追迹 %al 5 {  
    zU_ dk'&,  
     :@-.whj  
    Qraa0]56  
    结果：线性偏振光的场追迹 4 =T_h`  
    ,qNbo 11  
    MZ~N}y  
     
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