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C$Y pk\p 内容简介 :QSCky*i Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 *mqoyOa 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ozs
xqN 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 w85PRruW 2|fN*Wm 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 u6~|].j R 目录 :Kc}R)6 Preface 1 "TWNit 内容简介 2 Eua\N<!aai 目录 i }v'jFIkhI 1 引言 1 . Q#X'j 2 光学薄膜基础 2 _&/FO{ F@m 2.1 一般规则 2 Ib)>M`J 2.2 正交入射规则 3 ODGOWw0 2.3 斜入射规则 6 29+p|n 2.4 精确计算 7 Wr \rruH6 2.5 相干性 8 #&Zb8HAj 2.6 参考文献 10 :Fm{U0;" 3 Essential Macleod的快速预览 10 kEM5eY 4 Essential Macleod的特点 32 9d7$Fz# 4.1 容量和局限性 33 sA3=x7j%c 4.2 程序在哪里? 33 }&Eb {' 4.3 数据文件 35 SX$Nef9p 4.4 设计规则 35 J!Kk7!^| 4.5 材料数据库和资料库 37 FW)G5^Tf 4.5.1材料损失 38 >*TFM[((Y) 4.5.1材料数据库和导入材料 39 T)IH4UO 4.5.2 材料库 41 7Y:~'&U| 4.5.3导出材料数据 43 'RIlyH~Yf 4.6 常用单位 43 9zj^\-FA_l 4.7 插值和外推法 46 KrQ8//Ih 4.8 材料数据的平滑 50 wIW]uo/= 4.9 更多光学常数模型 54 * /S=9n0 4.10 文档的一般编辑规则 55 c'=p4Fcm 4.11 撤销和重做 56 `+~@VZ3m 4.12 设计文档 57 @"jV^2oY1 4.10.1 公式 58 kfF.Ctr1a 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 :)GtPTD 4.10.3 沉积密度 59 OUY65K 4.10.4 平行和楔形介质 60 +U(m b 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 */B-%*#I. 4.10.4 性能 61 JW!SrM xF 4.10.5 保存设计和性能 64 Fe(qf>E 4.10.6 默认设计 64 O87Ptr8 4.11 图表 64 fJ[(zjk 4.11.1 合并曲线图 67 3P1OyB 4.11.2 自适应绘制 68 Pv.z~~lY 4.11.3 动态绘图 68 [.}-n AN 4.11.4 3D绘图 69 su~_l[6 4.12 导入和导出 73 wo;`D 4.12.1 剪贴板 73 QI@!QU$K& 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 +DwyMzeE 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 < PoRnx 4.13 背景 77 *KP
60T 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 lFT_J?G$' 4.15 生成Rugate 84 6x*u S~' 4.16 参考文献 91 sjLI^#a 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 hP4*S^l 5.1 Jobs 92 H26'8e 5.2 创建一个新Job(工作) 93 eMf+b;~R 5.3 输入材料 94 I!y[7^R 5.4 设计数据文件夹 95 *$nz<? 5.5 默认设计 95 p]*BeiT#n% 6 细化和合成 97 Wq!n8O1 6.1 优化介绍 97 C LhD[/Fo 6.2 细化 (Refinement) 98 }e/P|7& 6.3 合成 (Synthesis) 100 @0`Q 6.4 目标和评价函数 101 (,<ti): 6.4.1 目标输入 102 gt3;Xi 6.4.2 目标 103 vb{+yEa 6.4.3 特殊的评价函数 104 @P: 6.5 层锁定和连接 104 75`*aAZ3 6.6 细化技术 104 0zg\thL 6.6.1 单纯形 105 [@@Ovv 6.6.1.1 单纯形参数 106 O>^0} 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ]XEkQ 6.6.2.1 Optimac参数 108 CErkmod{}e 6.6.3 模拟退火算法 109 pA9:1*+;; 6.6.3.1 模拟退火参数 109 #`6A}/@.+ 6.6.4 共轭梯度 111 'J^E|1P 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ^F<[5e)M 6.6.5 拟牛顿法 112 + >N/q(l 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ^Bihm] Aq 6.6.6 针合成 113 dA<PQKm 6.6.6.1 针合成参数 114 36D-J)-Z 6.6.7 差分进化 114 |[x) %5F 6.6.8非局部细化 115 wVD-}n1" 6.6.8.1非局部细化参数 115 NQ$tQ#chd 6.7 我应该使用哪种技术? 116 B$b'bw. 6.7.1 细化 116 P%5h!Z2m 6.7.2 合成 117 6Cut[*lj^ 6.8 参考文献 117 6KmF 9 7 导纳图及其他工具 118 M>df7.N7%P 7.1 简介 118
&UG7
g 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 rm*Jo|eH` 7.2.1 四分之一波长规则 119 N1ZHaZ 7.2.2 导纳图 120 MT" 2^&R 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 K /h9x9^ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 F"9f6<ge 7.5 斜入射导纳图 141 0(VQwGC[ 7.6 对称周期 141 f<A Bs4w 7.7 参考文献 142 Zg%SE'kK 8 典型的镀膜实例 143 fSdv%$;Hc 8.1 单层抗反射薄膜 145 \HFh?3-g 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 i*j[j~2>C; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,R$n I*mf_ 8.4 W-膜层 148 o>{+vwK 8.5 V-膜层 149 uQ#3;sFO 8.6 V-膜层高折射基底 150 1cS{3 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 k3se<NL[ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 zH8l-0I+$ 8.9 四层抗反射薄膜 153 6o&{~SV3 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 emb~l{K $ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 =8 d`qS" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ]*-9zo0 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ulsr)Ik 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 GE=#8-@g~p 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Owalt4}C 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Ftj3`Mu 8.17 1/4波长堆栈 162 $H ^hK0?' 8.18 陷波滤波器 163 C(C4R+U 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 XiI@Px?FL 8.20 褶皱 165 Vin d\yvM 8.21 消偏振分光器1 169 BvpGP 8.22 消偏振分光器2 171 r?d601(fa 8.23 消偏振立体分光器 172 pU)wxv[~ 8.24 消偏振截止滤光片 173 elXY*nt8h 8.25 立体偏振分束器1 174 Y;S+2])R2 8.26 立方偏振分束器2 177 }Tn]cL{]C 8.27 相位延迟器 178 72} MspzUt 8.28 红外截止器 179 cYdk,N 8.29 21层长波带通滤波器 180 r: n^U# 8.30 49层长波带通滤波器 181 %"@KuqV 8.31 55层短波带通滤波器 182 ciI;U/V 8.32 47 红外截止器 183 j2" jCv 8.33 宽带通滤波器 184 <R}(UK 8.34 诱导透射滤波器 186 zLuej' 8.35 诱导透射滤波器2 188 )DuOo83n[" 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 t)XNS!6#]? 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 NvXds;EC 8.35 增益平坦滤波器 193 eu~WFI 8.38 啁啾反射镜 1 196 OUn,URI 8.39 啁啾反射镜2 198 {$ 4fRxj 8.40 啁啾反射镜3 199 9>d$a2nc 8.41 带保护层的铝膜层 200 e4Ol:V 8.42 增加铝反射率膜 201 Ph2jj,K 8.43 参考文献 202 axnkuP( 9 多层膜 204 & :x_ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 d_Ll,*J9 9.2 内部透过率 204 %1a\"F![ 9.3 内部透射率数据 205 CD%wi:C%| 9.4 实例 206 `TKe+oS) 9.5 实例2 210 mZJ"e,AY 9.6 圆锥和带宽计算 212 %0@Jm)K^ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 sCSrwsbhv 10 光学薄膜的颜色 216 HS]|s': 10.1 导言 216 Q&^ti)vB 10.2 色彩 216 >f4H<V- 10.3 主波长和纯度 220 +mE y7qM 10.4 色相和纯度 221 He. gl 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 nRN&u4 10.6 色差 226 YY{S0jnhF 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )P@t,mxW/ 10.8 颜色渲染指数 234 s2riayM9/
10.9 色差计算 235 #rqLuqw 10.10 参考文献 236 i1ur>4Ns 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 dGf{d7 D 11.1 短脉冲 238 N|?"=4Z? 11.2 群速度 239 6",1JH,;p 11.3 群速度色散 241 B.6gJ2c 11.4 啁啾(chirped) 245 dGMBgj 11.5 光学薄膜—相变 245 *Ibl+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 `omZ'n) 11.7 色度色散 246 DY'D]*'7$ 11.8 色散补偿 249 wqJ^tA! 11.9 空间光线偏移 256 ZJ'#XZpr 11.10 参考文献 258 :84fd\It4 12 公差与误差 260 ?V"X=B2 12.1 蒙特卡罗模型 260 l_FttN 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 _CDUUr 12.2.1 误差工具 267 6pM[.:TM 12.2.2 灵敏度工具 271 c?"#x-<1s 12.2.2.1 独立灵敏度 271 y|Tb&XPD 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Zm!T4pL 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 l4u_Z:<w 12.3 参考文献 276 kUUeyq 13 Runsheet 与Simulator 277 q3TAWNzI0 13.1 原理介绍 277 &z8@ rk| 13.2 截止滤光片设计 277 .Ebg>j:\ 14 光学常数提取 289 Zsc710_ 14.1 介绍 289 puA~}6C 14.2 电介质薄膜 289 g"c\ouSY 14.3 n 和k 的提取工具 295 uV`r_P 14.4 基底的参数提取 302 v^0D 14.5 金属的参数提取 306 f/&gR5 14.6 不正确的模型 306 <xOXuve 14.7 参考文献 311 [U.3rcT"N 15 反演工程 313 o(Yfnnuy 15.1 随机性和系统性 313 d}j%.JJK 15.2 常见的系统性问题 314 w2_$>z 15.3 单层膜 314 cm@q{(r 15.4 多层膜 314 <R582$( I 15.5 含义 319 #mLF6"A 15.6 反演工程实例 319 d5T M_C 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 '`&gSL.1a@ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 {DJ!T 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 {.qeVE{ 16.1 光学性质的热致偏移 329 rg64f'+Eug 16.2 应力工具 335 $!%/Kk4M 16.3 均匀性误差 339 9`]Gosz 16.3.1 圆锥工具 339 N]udZhkn 16.3.2 波前问题 341 E58fY|9 16.4 参考文献 343 F9p'|- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 W5PNp%+KE 17.1 引言 345 uMKO^D 17.2 操作数 345 b6Pi:!4 18 如何在Function中编写脚本 351 5&Al 18.1 简介 351 k#X~+}N^ 18.2 什么是脚本? 351 /I}#0} 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 z)p(
l! 18.4 基础 352
b5lZ| |W. 18.4.1 Classes(类别) 352 ,r^zDlS<q 18.4.2 对象 352 A?V}$PTlx 18.4.3 信息(Messages) 352 ^=`7]E [p 18.4.4 属性 352 ea[vzD] 18.4.5 方法 353 "TEF 18.4.6 变量声明 353 'ol8l Ia.P 18.5 创建对象 354 k8IhQ{@ 18.5.1 创建对象函数 355 F|pM$Kd` 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 UgI0
*PE2 18.5.3 丢弃对象 356 UtPFkase 18.5.4 总结 356 9'+Eu)l: 18.6 脚本中的表格 357 3}R}|Ha
J# 18.6.1 方法1 357 NV\t%/ ? 18.6.2 方法2 357 ,yc_r=_ 18.7 2D Plots in Scripts 358 -i93 18.8 3D Plots in Scripts 359 Sv3O${B| 18.9 注释 360 &iKy 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 c
I K 18.11 一个更高级的脚本 362 !2L?8oP-z 18.12 <esc>键 364 X.}i9a
6 18.13 包含文件 365 ^f6pw! 18.14 脚本被优化调用 366 1.Kun !w 18.15 脚本中的对话框 368 =D-u".{ 18.15.1 介绍 368 wT\JA4 18.15.2 消息框-MsgBox 368 3
UUOB. 18.15.3 输入框函数 370 NzS(,F 18.15.4 自定义对话框 371 oP>+2.i 18.15.5 对话框编辑器 371 (~S=DFsP 18.15.6 控制对话框 377 #<h//< 18.15.7 更高级的对话框 380 x -;tV=E} 18.16 Types语句 384 +/O3L=QyJ 18.17 打开文件 385 9u[^9tL+D 18.18 Bags 387 |ppG*ee 18.13 进一步研究 388 .cks){\ 19 vStack 389 1N\/61+aA 19.1 vStack基本原理 389 U]Y</>xGI
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 o6bT.{8\ 19.3 五棱镜 393 EKu%I~eM 19.4 光束距离 396 7:/gO~gI 19.5 误差 399 ^mwS6WH6 19.6 二向分色棱镜 399 6_mkt|E= 19.7 偏振泄漏 404 @!'rsPrI 19.8 波前误差—相位 405 B^;"<2b* 19.9 其它计算参数 405 _:+hB9n s 20 报表生成器 406 ;f?suawMv 20.1 入门 406 8MQb5( ! 20.2 指令(Instructions) 406 L2\<iJA}c 20.3 页面布局指令 406 N 2XL5< 20.4 常见的参数图和三维图 407 J2ZV\8t 20.5 表格中的常见参数 408 76oJCNY 20.6 迭代指令 408 G0%},Q/ 20.7 报表模版 408 7q%xF#mK= 20.8 开始设计一个报表模版 409 S:(YZ%# 21 一个新的project 413 vKO/hZBh 21.1 创建一个新Job 414 X+2uM+ 21.2 默认设计 415 OsT|MX 21.3 薄膜设计 416 ldFR%v>9 21.4 误差的灵敏度计算 420 }INj~d<: 21.5 显色指数计算 422 !jWE^@P/B 21.6 电场分布 424 )4#YS$B$@) 后记 426 X
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