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iQrTEp 内容简介 >JNK06T Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Dv7/eRt 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 LU#DkuIG 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 k\:f2%!! 410WWR&4_ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ,zCrix
3 目录
T?!&a0 Preface 1 h6!o,qw" 内容简介 2 EYwDv4H,g 目录 i ,n')3r 1 引言 1 [+=h[DC 2 光学薄膜基础 2 *`}4]OGv. 2.1 一般规则 2 D,aJ`PK~ 2.2 正交入射规则 3 9!XW): 2.3 斜入射规则 6 qO5.NIs 2.4 精确计算 7 nN|zEw] 2.5 相干性 8 u>~G)lx% 2.6 参考文献 10 Z19d Ted33 3 Essential Macleod的快速预览 10 }m?1IU%q 4 Essential Macleod的特点 32 l:!4^>SC 4.1 容量和局限性 33 4:!KtpR[O 4.2 程序在哪里? 33 w|6;Pf~1y) 4.3 数据文件 35 )~hsd+ 0t 4.4 设计规则 35 9]Q\Pr\Ub$ 4.5 材料数据库和资料库 37 3I)!.N[m 4.5.1材料损失 38 <h_lc}o/ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 vXUrS+~x 4.5.2 材料库 41 SE0"25\_G 4.5.3导出材料数据 43 S9sFC!s1g 4.6 常用单位 43 ~I0I#_$'P 4.7 插值和外推法 46 48.2_H< 4.8 材料数据的平滑 50 }2sc|K^ 4.9 更多光学常数模型 54 a8?Zb^ 4.10 文档的一般编辑规则 55 %ZV a{Nc 4.11 撤销和重做 56 :K!@zT=o 4.12 设计文档 57 u~X]W3 4.10.1 公式 58 Hv>C#U 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 "RuH"~o 4.10.3 沉积密度 59 /jI>=:z 4.10.4 平行和楔形介质 60 {5+t\~q$ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 xg~
Baun 4.10.4 性能 61 =1o_:VOG 4.10.5 保存设计和性能 64 jW6~^>S 4.10.6 默认设计 64 ziuhS4k 4.11 图表 64 8aw'Q? 4.11.1 合并曲线图 67 1>W|vOv"Z? 4.11.2 自适应绘制 68 ;{]%ceetcu 4.11.3 动态绘图 68 *Z7W'- 4.11.4 3D绘图 69 H<dOh5MFh 4.12 导入和导出 73 _oxc~v\< 4.12.1 剪贴板 73 ;0V{^ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 *iB_$7n` 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 @DT${,.49 4.13 背景 77 I71kFtvcy* 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Rv=(D^F, 4.15 生成Rugate 84 3@e#E4+ff 4.16 参考文献 91 zJ4 2%0g 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ZHxdrX) 5.1 Jobs 92 g/+P]c6/ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 #vJDb |z 5.3 输入材料 94 q#Y%Y 5.4 设计数据文件夹 95 ^ N]u 5.5 默认设计 95 &?(r#T 6 细化和合成 97 A{Giz&p 6.1 优化介绍 97 /?l@7 6.2 细化 (Refinement) 98 <J=9,tv< 6.3 合成 (Synthesis) 100 <`EZ^S L; 6.4 目标和评价函数 101 s OD>mc#%Y 6.4.1 目标输入 102 VsOn j~@ 6.4.2 目标 103 jGM~(;iw6i 6.4.3 特殊的评价函数 104 e:IUO1# 6.5 层锁定和连接 104 vMJv.O>HW 6.6 细化技术 104 )*N]Q 6.6.1 单纯形 105 [3++Q-rR= 6.6.1.1 单纯形参数 106 //VgPl 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 =LHE_ AA 6.6.2.1 Optimac参数 108 "Ko^m(` 6.6.3 模拟退火算法 109 |yiM7U,i 6.6.3.1 模拟退火参数 109 nG&=$7x^ 6.6.4 共轭梯度 111 ,Z*?"d 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 h^ ex? 6.6.5 拟牛顿法 112 ^-T!(P: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 xg)cA C\= 6.6.6 针合成 113 Ji SJi? 6.6.6.1 针合成参数 114 XA}! 6.6.7 差分进化 114 7g3vh%G. 6.6.8非局部细化 115 A P><l@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 hA6!F#1 6.7 我应该使用哪种技术? 116 aG QC 6.7.1 细化 116 M(o?I} 6.7.2 合成 117 g$eb@0$ 6.8 参考文献 117 [gFpFz|b< 7 导纳图及其他工具 118 ]O s!=rt 7.1 简介 118 92+LY]jS 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 t {tcy$bw 7.2.1 四分之一波长规则 119 %..{ c#V 7.2.2 导纳图 120 /02|b}{ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 zC6,m6Dv 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 s =Pwkte 7.5 斜入射导纳图 141 xlF$PpRNM 7.6 对称周期 141 z
cN1i^
7.7 参考文献 142 ,g%2-#L% 8 典型的镀膜实例 143 &;5QB 8.1 单层抗反射薄膜 145 PiXegh WH 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 x/47e8/ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 :
'M$:ZJ 8.4 W-膜层 148 0V
,R|Ln 8.5 V-膜层 149 E[HXbj" 8.6 V-膜层高折射基底 150 0XFJ/ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 t8 g^W K 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 \D>vdn"Lx 8.9 四层抗反射薄膜 153 Y~( #_K 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 `s(T(l 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !vHUe*1a{ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 DSad[>Uj], 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ['j_W$8n 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 *@|d7aiO 8.15十五层宽带抗反射膜 159 mR:G,XytxM 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 +[Nc";Oy 8.17 1/4波长堆栈 162 Qy`{y?T2 8.18 陷波滤波器 163 54s+4R FL 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 {\
vj": 8.20 褶皱 165 =<j8)2 8.21 消偏振分光器1 169 lDd+.44V: 8.22 消偏振分光器2 171 fgYdKv8 8.23 消偏振立体分光器 172 ~|kre:j9 8.24 消偏振截止滤光片 173 !q;EC`i# 8.25 立体偏振分束器1 174 c*$&MCh 8.26 立方偏振分束器2 177 2,?4'0Z@R 8.27 相位延迟器 178 6f/>o$ 8.28 红外截止器 179 hX(:xc 8.29 21层长波带通滤波器 180 CsG1HR@ 8.30 49层长波带通滤波器 181 .t|vwx 8.31 55层短波带通滤波器 182 :a#Mq9ph! 8.32 47 红外截止器 183 JaP2Q} &B 8.33 宽带通滤波器 184 tK{2'e6x 8.34 诱导透射滤波器 186 8xzEbRNJ) 8.35 诱导透射滤波器2 188 j4Ppn 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 &PWz4hZ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Dz;^' 8.35 增益平坦滤波器 193 DZKVZ_q 8.38 啁啾反射镜 1 196 &(3kwdI 8.39 啁啾反射镜2 198 FglCqO} 8.40 啁啾反射镜3 199 ~.7r 8.41 带保护层的铝膜层 200 :{?8rA5 8.42 增加铝反射率膜 201 S@;>lw,s! 8.43 参考文献 202 +[M5x[[$ 9 多层膜 204 ujsJ;\c 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 E8#RG-ci 9.2 内部透过率 204 AHX_I 9.3 内部透射率数据 205 ;i?Ao:] 9.4 实例 206 $ KQ7S>T 9.5 实例2 210 M0g!"0? 9.6 圆锥和带宽计算 212 :[P>e
ox 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Rda o 10 光学薄膜的颜色 216 g-j`Ex% 10.1 导言 216 n}X)a-= 10.2 色彩 216 *kE2d{h^=C 10.3 主波长和纯度 220 _UKH1qUd4 10.4 色相和纯度 221 6n37R#( 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Vvu+gP'z. 10.6 色差 226 g
&~T X 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 -_BS!T%r 10.8 颜色渲染指数 234 E&r*[;$ 10.9 色差计算 235 Ld6j;ZJ'; 10.10 参考文献 236 u! `oKe; 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 <Okk;rj2 11.1 短脉冲 238 +~mBo+ , 11.2 群速度 239 %tiFx:F+ 11.3 群速度色散 241 $$8xdv# 11.4 啁啾(chirped) 245 'zV/4iE= 11.5 光学薄膜—相变 245 0Pw?@uV 11.6 群延迟和延迟色散 246 TMZg GUn 11.7 色度色散 246 Qag@#!&n 11.8 色散补偿 249 e!wBNcG2 11.9 空间光线偏移 256 >v^Bn|_/ 11.10 参考文献 258 g(m3
& 12 公差与误差 260 w.exLC 12.1 蒙特卡罗模型 260 E`%Ewt$Z 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 .n]P6t 12.2.1 误差工具 267 qg?O+-+ 12.2.2 灵敏度工具 271 8_WFSF^ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ]p>6r*/nw 12.2.2.2 灵敏度分布 275 QHnk@R! 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 c!"&E\F 12.3 参考文献 276 $>zLa_cn| 13 Runsheet 与Simulator 277 -#T?C]} 13.1 原理介绍 277 \AV6;;}& 13.2 截止滤光片设计 277 Cn4o^6? " 14 光学常数提取 289 O.4ty)* 14.1 介绍 289 AG6tt 14.2 电介质薄膜 289 =\H.C@r 14.3 n 和k 的提取工具 295 hp?hb-4l 14.4 基底的参数提取 302 (5S(CYls 14.5 金属的参数提取 306 \v.16o bH 14.6 不正确的模型 306 ZZqImB.Cz6 14.7 参考文献 311 Mo`7YS-Y 15 反演工程 313 zMasA 15.1 随机性和系统性 313 {'P7D4w 15.2 常见的系统性问题 314 }|>mR]; 15.3 单层膜 314 KZ^W@*`D 15.4 多层膜 314 WF#eqU*& 15.5 含义 319 Yy]^_,r 15.6 反演工程实例 319 2lPj%i 5 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 >
E;`;b 15.6.2 反演工程提取折射率 327 qXmkeidb&W 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 \P% E1c# 16.1 光学性质的热致偏移 329 s\g"~2+ 16.2 应力工具 335 KsI[ 16.3 均匀性误差 339 Qm86!(eZ- 16.3.1 圆锥工具 339 xv;'27mUt 16.3.2 波前问题 341 VE{[52 16.4 参考文献 343 w]Z*"B&h 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 3]Rb2$p[= 17.1 引言 345 'P(S*sr 17.2 操作数 345 !uoU 8Ki9 18 如何在Function中编写脚本 351 xKIzEN
& 18.1 简介 351 =y.!Ny5A 18.2 什么是脚本? 351 m }I@:s2 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 tpp. 9 18.4 基础 352 |~vo 18.4.1 Classes(类别) 352 P wL]v. : 18.4.2 对象 352 >-fOkOWXy 18.4.3 信息(Messages) 352 t~m > \(& 18.4.4 属性 352 !C>}j* 4 18.4.5 方法 353 /-BKdkBCpZ 18.4.6 变量声明 353 Nb/W+& y 18.5 创建对象 354 t.Hte/,k 18.5.1 创建对象函数 355 h3y0bV[g= 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 v:0. 18.5.3 丢弃对象 356 ?u`+?"'H 18.5.4 总结 356 wc##'u 18.6 脚本中的表格 357 /Zs;dam 18.6.1 方法1 357 YI!ecx%/4 18.6.2 方法2 357 (bnyT?p% 18.7 2D Plots in Scripts 358 g/Q hI 18.8 3D Plots in Scripts 359 (izGF;N+ 18.9 注释 360 YB{hQ<W 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 [>l2E 18.11 一个更高级的脚本 362 /y/O&`X( 18.12 <esc>键 364 Xk=bb267 18.13 包含文件 365 JD1IL` ta; 18.14 脚本被优化调用 366 ^gx`@^su 18.15 脚本中的对话框 368 a?#v,4t^ 18.15.1 介绍 368 h">L>*Wfx 18.15.2 消息框-MsgBox 368 p&'oJy.P 18.15.3 输入框函数 370 ge*(w{|x 18.15.4 自定义对话框 371 *`D(drnT{ 18.15.5 对话框编辑器 371 7,Tg>,%Q 18.15.6 控制对话框 377 7!.#:+rg5# 18.15.7 更高级的对话框 380 )Zx;Z[ 18.16 Types语句 384 6^
UQ{P1; 18.17 打开文件 385 owYf1=G 18.18 Bags 387 et[n ;nl>V 18.13 进一步研究 388 m]t`;lr< 19 vStack 389 UzZzt$Kw 19.1 vStack基本原理 389 bs{i@1$ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 yhnhORSY; 19.3 五棱镜 393 E#'JYz@ 19.4 光束距离 396 Y"J'
'K 19.5 误差 399 8%-+@\= 19.6 二向分色棱镜 399 \va'>?#o1 19.7 偏振泄漏 404 [k)xn3[ 19.8 波前误差—相位 405 pU4k/v555; 19.9 其它计算参数 405 Fy(-.S1 20 报表生成器 406 *fs'%"w- 20.1 入门 406 xb`,9.a7 20.2 指令(Instructions) 406 }"k+e^0^ 20.3 页面布局指令 406 |8,|>EyqK 20.4 常见的参数图和三维图 407 ,khB*h14;h 20.5 表格中的常见参数 408 fZM)> 20.6 迭代指令 408 '~-JR> 20.7 报表模版 408 3/+r*lv>X 20.8 开始设计一个报表模版 409 [,;h1m ~iX 21 一个新的project 413 F$[1KjS 21.1 创建一个新Job 414 xw2dEvjgp% 21.2 默认设计 415 <_X`D4g]XO 21.3 薄膜设计 416 3Yu1ZuIR 21.4 误差的灵敏度计算 420 d4'*K1m 21.5 显色指数计算 422 34k}7k~n 21.6 电场分布 424 =3KK/[2M 后记 426 wNzALfS 有兴趣扫码加微联系 &OpGcbf1
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