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X;i~<Tq 内容简介 g'H$R~ag Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 `+o2DA)#( 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 kS_(wpA 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 oXb;w@: E7.2T^o;M 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 EK;YiJ 目录 vbb5f #WZ Preface 1 >33=<~#n 内容简介 2 lr`&mZ( j 目录 i pi
Z[Y
5OE 1 引言 1 w2
a1mU/ 2 光学薄膜基础 2 Y0x%sz5 2.1 一般规则 2 vR s,zL$W 2.2 正交入射规则 3 K('hC)1 2.3 斜入射规则 6 |y0(Q V 2.4 精确计算 7 ^>i63Yc 2.5 相干性 8 IFF92VD& 2.6 参考文献 10 h| ,:e;>} 3 Essential Macleod的快速预览 10 _H j!2 ' 4 Essential Macleod的特点 32 .?R!DYC` 4.1 容量和局限性 33 jz
qyk^X 4.2 程序在哪里? 33 ~8GF Q ph 4.3 数据文件 35 Fs9I7~L3 4.4 设计规则 35 ,Wk?I%> 4.5 材料数据库和资料库 37 =<?+#-;p 4.5.1材料损失 38 f"%{%M$K 4.5.1材料数据库和导入材料 39 nEJY5Bz$ 4.5.2 材料库 41 wB!Nc Y\p 4.5.3导出材料数据 43 _#r+ !e 4.6 常用单位 43 9{
>Ui 4.7 插值和外推法 46 .(^ ,z& 4.8 材料数据的平滑 50 Cj{1H([- 4.9 更多光学常数模型 54 gBC@38|6) 4.10 文档的一般编辑规则 55 2/"u5 4.11 撤销和重做 56 wVEm:/;z& 4.12 设计文档 57 vUohtS* 4.10.1 公式 58 `< xn8h9p 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 +RyjF~[e 4.10.3 沉积密度 59 M<kj_.
4.10.4 平行和楔形介质 60 7Rd'm'l) 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 KX'{[7}m' 4.10.4 性能 61 6)Y.7 XR 4.10.5 保存设计和性能 64 OmIg<v0\; 4.10.6 默认设计 64 vb<oi&X 4.11 图表 64 %M7` Hwu 4.11.1 合并曲线图 67
TU:7Df 4.11.2 自适应绘制 68 nV -mPyfL8 4.11.3 动态绘图 68 dep=& 4.11.4 3D绘图 69 X voo= 4.12 导入和导出 73 ;[=8B\? 4.12.1 剪贴板 73 (9Ux{@$o[ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 v(ZYS']d2 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 56zL"TF` 4.13 背景 77 B9NWW6S 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 $5ak_@AC 4.15 生成Rugate 84 MP_ ~<Q 4.16 参考文献 91 .J)I | ' 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 +n{#V;J 5.1 Jobs 92 i}.&0Fp 5.2 创建一个新Job(工作) 93 NbgK@eV}+{ 5.3 输入材料 94 B0dQ@Hq* 5.4 设计数据文件夹 95 o<COm9)i 5.5 默认设计 95 P<X\%_Iat 6 细化和合成 97 18+)`M-5o 6.1 优化介绍 97 4^WpS/#4 6.2 细化 (Refinement) 98 .Le?T&_ 6.3 合成 (Synthesis) 100 5|o6v1bM 6.4 目标和评价函数 101 +a^nlW9g 6.4.1 目标输入 102 Ye2 {f"F 6.4.2 目标 103 /aZ+T5O 6.4.3 特殊的评价函数 104 "alyfyBu'M 6.5 层锁定和连接 104 {^CY..3
A 6.6 细化技术 104 {khqu:HUn` 6.6.1 单纯形 105 b{L/4bu 6.6.1.1 单纯形参数 106 b:lP%|7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 oSyyd 6.6.2.1 Optimac参数 108 lQ" p ! 6.6.3 模拟退火算法 109 G,o6292hj 6.6.3.1 模拟退火参数 109 2R;}y7{ 6.6.4 共轭梯度 111 OBOtu u. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 tzZ`2pSh 6.6.5 拟牛顿法 112 j27?w< 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 iBF|&h(\ 6.6.6 针合成 113 i~I%D%; 6.6.6.1 针合成参数 114 bCo7*<I4 6.6.7 差分进化 114 g.BdlVB\ 6.6.8非局部细化 115 Si8pzd 6.6.8.1非局部细化参数 115 =Xi07_8Ic< 6.7 我应该使用哪种技术? 116 4]?<hH 9 6.7.1 细化 116 +S>j0m<* 6.7.2 合成 117 "P7nNa 6.8 参考文献 117 L^}_~PO N5 7 导纳图及其他工具 118 ad*m%9Y1Q 7.1 简介 118 j(m.$: 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 uJzG|$; 7.2.1 四分之一波长规则 119 a1C{(f) 7.2.2 导纳图 120 >/l? g5{ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 KN<S}3MN 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 (;T^8mI2 7.5 斜入射导纳图 141 7 HIeJ 7.6 对称周期 141 hs^zTZ_ 7.7 参考文献 142 11o.c; 8 典型的镀膜实例 143 ]^h]t~ 8.1 单层抗反射薄膜 145 3EJj9}#x"' 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 [pbo4e,4O 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 [<n2Uz7MP 8.4 W-膜层 148 zk$FkbX 8.5 V-膜层 149 ojaws+(& y 8.6 V-膜层高折射基底 150 [k.t WA,& 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 &dqLP95 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 idLWe9gC 8.9 四层抗反射薄膜 153 - Ajo9H 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 fObg3S92 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 iW$_zgN 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 J\+0[~~ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 dBYmiF!+ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 /rK}?U 8.15十五层宽带抗反射膜 159 'GNK "XA^ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 [%q@]\U$s 8.17 1/4波长堆栈 162 n6wV.?8
8.18 陷波滤波器 163 5eLtCsHz 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 \hTm)-FP 8.20 褶皱 165 dG@%jD) 8.21 消偏振分光器1 169 <^&ehy:7y 8.22 消偏振分光器2 171 `F-/QX[: 8.23 消偏振立体分光器 172 2^r<{0@n 8.24 消偏振截止滤光片 173 9B{k , 1
8.25 立体偏振分束器1 174 c/D+|X* 8.26 立方偏振分束器2 177 } df
W%{ 8.27 相位延迟器 178 2M.fLQ? 8.28 红外截止器 179 ^X=arTE 8.29 21层长波带通滤波器 180 p2#)A" 8.30 49层长波带通滤波器 181
9Vg?{v!yn 8.31 55层短波带通滤波器 182 X3{G:H0\p 8.32 47 红外截止器 183 m4**~xfC 8.33 宽带通滤波器 184 $mu^G t 8.34 诱导透射滤波器 186 o*-)Tq8GHE 8.35 诱导透射滤波器2 188 QX!-B 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 DVG(Vw 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 qyZ"
%Kz 8.35 增益平坦滤波器 193 ( Z619w 8.38 啁啾反射镜 1 196 ZT'`hK_up 8.39 啁啾反射镜2 198 qU+t/C. 8.40 啁啾反射镜3 199 1#C4;3i, 8.41 带保护层的铝膜层 200 .8@$\ZRP 8.42 增加铝反射率膜 201 I5`4Al 8.43 参考文献 202 7S-ys+ 9 多层膜 204 g,Lq)'N;O 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 .I7pA5V{# 9.2 内部透过率 204 2a-w%
(K 9.3 内部透射率数据 205 EMh7z7}Rr 9.4 实例 206 C;;Sih5 9.5 实例2 210 Vp#JS3Y 9.6 圆锥和带宽计算 212 i5en*)O8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 lAS#874dE 10 光学薄膜的颜色 216 rx'RSo#1O 10.1 导言 216 {ME2ImD 10.2 色彩 216 4-?C> 10.3 主波长和纯度 220 ?h3Y)5x T 10.4 色相和纯度 221 ,g%0`SO 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 $ZUdT 10.6 色差 226 J28M@cn 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 O(#)m>A 10.8 颜色渲染指数 234 #pT"BSz] 10.9 色差计算 235 Pj[PIz 10.10 参考文献 236 l>2E (Y| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 _64A(U 11.1 短脉冲 238 xmNB29# 11.2 群速度 239 }QN1|mP2 11.3 群速度色散 241 %oF}HF. 11.4 啁啾(chirped) 245 @GPCwE1 11.5 光学薄膜—相变 245 }d[ kxo 11.6 群延迟和延迟色散 246 XR8,Vt)= 11.7 色度色散 246 ]jtK I4 11.8 色散补偿 249 J; 3{3 11.9 空间光线偏移 256 ]S&&|Fc 11.10 参考文献 258 HeK/7IAqp 12 公差与误差 260 &D>G8 12.1 蒙特卡罗模型 260 h2)yq:87 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 0QBiC]9 12.2.1 误差工具 267 niiA7Ux 12.2.2 灵敏度工具 271 7P%%p3 12.2.2.1 独立灵敏度 271 4{}FL 12.2.2.2 灵敏度分布 275 o906/5M 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 aKV$pC<[o 12.3 参考文献 276 )mI 05 13 Runsheet 与Simulator 277 q YC;cKv 13.1 原理介绍 277 Qn^' 13.2 截止滤光片设计 277 Km%]1X7T6 14 光学常数提取 289 u9:`4b 14.1 介绍 289 Kc!}`Pm 14.2 电介质薄膜 289 G[B=>Cy 14.3 n 和k 的提取工具 295 &Q9qq~ 14.4 基底的参数提取 302 QsGiclU 14.5 金属的参数提取 306 Vmc5IPd{\ 14.6 不正确的模型 306 TIx|L 14.7 参考文献 311 )bA;?i 15 反演工程 313 wGU*:k7p 15.1 随机性和系统性 313 v:EB*3n5 15.2 常见的系统性问题 314
#c!*</ 15.3 单层膜 314 z(o,m3@v 15.4 多层膜 314 IW)()*8;/ 15.5 含义 319 +y,T4^{ 15.6 反演工程实例 319 E_gD:PPU5 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 LZ\q37UV 15.6.2 反演工程提取折射率 327 )r';lGh2# 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 VGLaN%| 16.1 光学性质的热致偏移 329 <z+t,<3D 16.2 应力工具 335 Okgv!Nt8)A 16.3 均匀性误差 339 cO-7ke 16.3.1 圆锥工具 339 R7]l{2V#^ 16.3.2 波前问题 341
*aX F5S 16.4 参考文献 343 -Q2, " 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 {qDSPo 17.1 引言 345 32l3vv.j 17.2 操作数 345 |D'4uN8\ 18 如何在Function中编写脚本 351 ~aw.(A?MI 18.1 简介 351 2;xIL] 18.2 什么是脚本? 351 `+`Z7 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 BK*x] zG$ 18.4 基础 352 .\K_@M 18.4.1 Classes(类别) 352 Twh!X*uQ 18.4.2 对象 352 )W|w C# 18.4.3 信息(Messages) 352 *RT>`,t/ 18.4.4 属性 352 gep;{G} 18.4.5 方法 353 _t:$XJ`bTk 18.4.6 变量声明 353 9K/HO!z 18.5 创建对象 354 zFfoqb#*g 18.5.1 创建对象函数 355 agkA}O 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 eD-#b| 18.5.3 丢弃对象 356 d[r#-h>dS 18.5.4 总结 356 ]5BX:% 18.6 脚本中的表格 357 ?m![Pg% 18.6.1 方法1 357 z+x\(/ 18.6.2 方法2 357 :#2Bw]z&z 18.7 2D Plots in Scripts 358 -\+s#kE: 18.8 3D Plots in Scripts 359 CF&NFSti^ 18.9 注释 360 ,/[6e\0~ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 X(!Cfb8+5 18.11 一个更高级的脚本 362 ODZ5IO}v 18.12 <esc>键 364 soPLA68 18.13 包含文件 365 PiY Y6i0 18.14 脚本被优化调用 366 8 m5p_\& 18.15 脚本中的对话框 368 Q)"C&)`l 18.15.1 介绍 368 aGK?x1_ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 SH3|sXH< 18.15.3 输入框函数 370 z
MLK7+ 18.15.4 自定义对话框 371 [N1hWcfvd 18.15.5 对话框编辑器 371 J~=n`pW 18.15.6 控制对话框 377 |}23>l7 18.15.7 更高级的对话框 380 "~`I::'c 18.16 Types语句 384 ^L0d/,ik 18.17 打开文件 385 jQk*8 18.18 Bags 387 Kqun^"Df 18.13 进一步研究 388 iM2W] 19 vStack 389 syk!7zfK 19.1 vStack基本原理 389 ]FD'5p{ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 +U_=*"@| 19.3 五棱镜 393 ]e>RK' 19.4 光束距离 396 R,)}>X|< 19.5 误差 399 1[kMOp 19.6 二向分色棱镜 399 O#&c6MDB: 19.7 偏振泄漏 404 YiYV>gaf"H 19.8 波前误差—相位 405 ]'5;|xc9$/ 19.9 其它计算参数 405 OQ8 bI=?[x 20 报表生成器 406 AGH|"EWG 20.1 入门 406 b k|m4| 20.2 指令(Instructions) 406 $\b$}wy* 20.3 页面布局指令 406 kR]!Vr*yh 20.4 常见的参数图和三维图 407 %cCs?ic 20.5 表格中的常见参数 408 6)z?f4, 20.6 迭代指令 408 {)DHH:n 20.7 报表模版 408 Wf>zDW^"R 20.8 开始设计一个报表模版 409 ";BlIovT=R 21 一个新的project 413 p7);uF^O% 21.1 创建一个新Job 414 c;{Q,"9U 21.2 默认设计 415 R E}?5XHb 21.3 薄膜设计 416 ,\X@~j 21.4 误差的灵敏度计算 420 RbCPmiZcH 21.5 显色指数计算 422 [(o7$i29|% 21.6 电场分布 424 uqM yoIc 后记 426 7uT:b!^f[ 有兴趣扫码加微联系 Wqc)Fv70m
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