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" O0p.o 内容简介 =f0qih5.4 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 v6=pV4k9 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 9MP_#M7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 U[7 &
GPV=(}z 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 San3^uX 目录 )+ifVv50 Preface 1 l@:Tw.+/9 内容简介 2 vDI$
QUMD6 目录 i 'kU5 1 引言 1 :jL>sGvBv 2 光学薄膜基础 2 ?-M?{De 2.1 一般规则 2 h; " 9. 2.2 正交入射规则 3 "y~tAg 2.3 斜入射规则 6 0C!f/EZK 2.4 精确计算 7 IE*eDj 2.5 相干性 8 M;2@<,rM 2.6 参考文献 10 h pf,44Kg 3 Essential Macleod的快速预览 10 c_"=G#^9@i 4 Essential Macleod的特点 32 ,GOH8h 4.1 容量和局限性 33 :Kq]b@X 4.2 程序在哪里? 33 FgwIOpqE* 4.3 数据文件 35 I;xSd.- 4.4 设计规则 35 H!SFSgAu 4.5 材料数据库和资料库 37 P=3mLz- 4.5.1材料损失 38 9-:\ NH^; 4.5.1材料数据库和导入材料 39 OHRkhwF. 4.5.2 材料库 41 hp|.hN(kS] 4.5.3导出材料数据 43 CcCcuxtR 4.6 常用单位 43 Ymvd3> _ 4.7 插值和外推法 46 #hMS?F| 4.8 材料数据的平滑 50 + /+> : 4.9 更多光学常数模型 54 p~Wy`g- 4.10 文档的一般编辑规则 55 ZLIt3 4.11 撤销和重做 56 lKdd3W"o 4.12 设计文档 57 +H{TV#+r 4.10.1 公式 58 =D~>$Y 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ohU}ST:9 4.10.3 沉积密度 59 s5s'[< 4.10.4 平行和楔形介质 60 njxfBA: 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 gN@|lHbU 4.10.4 性能 61 "ov270: 4.10.5 保存设计和性能 64 sP:nTpTsC 4.10.6 默认设计 64 gwGw 4.11 图表 64 /SW*y@R2l 4.11.1 合并曲线图 67
B\54e Tn 4.11.2 自适应绘制 68 %T6
sm 4.11.3 动态绘图 68 s$gR;su)g 4.11.4 3D绘图 69 9%Eo<+myh 4.12 导入和导出 73 ;kDUQw 4.12.1 剪贴板 73 -DuI
6K 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 -I?8\ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 xm Ns% 4.13 背景 77 8bJj3vr 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 {8* d{0l 4.15 生成Rugate 84 ;rRV=$y 4.16 参考文献 91 Z% DJ{!Hnh 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |:w)$i& * 5.1 Jobs 92 "wy2u~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1*GL;W~ix* 5.3 输入材料 94 6gs0Vm 5.4 设计数据文件夹 95 5,R4:y ?cK 5.5 默认设计 95 X5pb9zRq 6 细化和合成 97 R53^3"q~ 6.1 优化介绍 97 =`ZRPA!aY 6.2 细化 (Refinement) 98 uv=a}U; 6.3 合成 (Synthesis) 100 r2*8.j51 6.4 目标和评价函数 101 $b~[>S-Q 6.4.1 目标输入 102 W3zYE3DZf 6.4.2 目标 103 iE?yvtr8 6.4.3 特殊的评价函数 104 [ $5u:* 6.5 层锁定和连接 104 xtBu]I)% 6.6 细化技术 104 PI.Zd1r 6.6.1 单纯形 105 ,j6R/sg 6.6.1.1 单纯形参数 106 u69UUkG 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ck< `kJ`b 6.6.2.1 Optimac参数 108 Ht:\
z;cu 6.6.3 模拟退火算法 109
kRjNz~g 6.6.3.1 模拟退火参数 109 -UM|u_ 6.6.4 共轭梯度 111 PN3 Qxi4F 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 c@2a)S8Y] 6.6.5 拟牛顿法 112 D;&\) 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 *_Vv(H& 6.6.6 针合成 113 ypgM&"eR 6.6.6.1 针合成参数 114 u`ryCZo#g 6.6.7 差分进化 114 !w}b}+]GB 6.6.8非局部细化 115 ?[uHRBR' 6.6.8.1非局部细化参数 115 -{}h6r 6.7 我应该使用哪种技术? 116 7},oY""8 6.7.1 细化 116 "O'c.v?{x 6.7.2 合成 117 k`;d_eW 6.8 参考文献 117 $4mCtonP= 7 导纳图及其他工具 118 L+S)hgUH 7.1 简介 118 A=0{}B# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^Ze(WE) 7.2.1 四分之一波长规则 119 Q*Y-@lZ 7.2.2 导纳图 120 HC}vO0X4 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 wfv\xHG 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 vV xw*\`<6 7.5 斜入射导纳图 141 b}DC|?~M 7.6 对称周期 141 -u(,*9]cJ* 7.7 参考文献 142 DZ @B9<Zz{ 8 典型的镀膜实例 143 m_;fj~m 8.1 单层抗反射薄膜 145 0hhxTOp
8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 i\_LLXc 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 s=]NKJaQH 8.4 W-膜层 148 "F}dZ 8.5 V-膜层 149 R[14scV 8.6 V-膜层高折射基底 150 +;\w'dBi, 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |{Ex)hkw 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 oNIYO*[ 8.9 四层抗反射薄膜 153 8Ji`wnkXe 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ^.R!sQ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ZY8w1:'
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 G pI4QzR 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 oN[}i6^,e 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 nw\C+1F 8.15十五层宽带抗反射膜 159 R:+'"dBge 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 '#yqw% 8.17 1/4波长堆栈 162 4Z>gK( 8.18 陷波滤波器 163 (6B; 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 _
xym 8.20 褶皱 165 5'NNwc\ 8.21 消偏振分光器1 169 'YB[4Q /0 8.22 消偏振分光器2 171 2F>Y{3& 8.23 消偏振立体分光器 172 HHZw-/s,% 8.24 消偏振截止滤光片 173 4b[bj").A 8.25 立体偏振分束器1 174 =}%#j0a4 8.26 立方偏振分束器2 177 6lCpf1>6@ 8.27 相位延迟器 178 _?:jZ1wZ 8.28 红外截止器 179 P))BS 8.29 21层长波带通滤波器 180 {ZrlbDQX 8.30 49层长波带通滤波器 181 Yb^e7Eug 8.31 55层短波带通滤波器 182
+WAkBE/ 8.32 47 红外截止器 183 mW4Cc1* 8.33 宽带通滤波器 184 i%!<6K6UT 8.34 诱导透射滤波器 186 =3c?W&: 8.35 诱导透射滤波器2 188 ~N i 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 '5Yzo^R; 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 -N% V5 TN 8.35 增益平坦滤波器 193 &BLCP d 8.38 啁啾反射镜 1 196 SGSyO0O 8.39 啁啾反射镜2 198 \?]U*)B.r 8.40 啁啾反射镜3 199 {ibu0 8.41 带保护层的铝膜层 200 haBmwq(f 8.42 增加铝反射率膜 201 {j9TzR 8.43 参考文献 202 J{^md0l 9 多层膜 204 o_`6oC"s 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 t 8 6w& 9.2 内部透过率 204 !p/SX>NJ 9.3 内部透射率数据 205 @]%eL 9.4 实例 206 x;)I%c 9.5 实例2 210 Fy"M 4;7 9.6 圆锥和带宽计算 212 }< H> 9iJ: 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 l>K+4 10 光学薄膜的颜色 216 A[uE#T^ 10.1 导言 216 ':fp|m)M 10.2 色彩 216 ru@#s2 10.3 主波长和纯度 220 #?Kw
y 10.4 色相和纯度 221 !Pw*p*z 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 CyR`&u 10.6 色差 226 :-}K:ucaj 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 \KnRQtlI 10.8 颜色渲染指数 234 =4MTb_ 10.9 色差计算 235 <HoCt8>U 10.10 参考文献 236 F|eWHw?t 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 TL2E|@k1] 11.1 短脉冲 238 '";#v.! 11.2 群速度 239 D#L(ZlD4 11.3 群速度色散 241 $uHQl#!; 11.4 啁啾(chirped) 245 GZ~Tl0U 11.5 光学薄膜—相变 245 A|8"}Hm 11.6 群延迟和延迟色散 246 JY2<ECO 11.7 色度色散 246 ySr,HXz 11.8 色散补偿 249 p/-du^:2 11.9 空间光线偏移 256 EjLq&QR. 11.10 参考文献 258 n#g_)\ 12 公差与误差 260 R>O_2`c 12.1 蒙特卡罗模型 260 V?j,$LixY 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 yuZLsH 12.2.1 误差工具 267 UqI #F 12.2.2 灵敏度工具 271 (M$0'BV0 12.2.2.1 独立灵敏度 271 !CUl1L1DSi 12.2.2.2 灵敏度分布 275 L]H'$~xx* 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 [*^.$s( 12.3 参考文献 276 &N^~=y^`C' 13 Runsheet 与Simulator 277 2.aCo, Kb; 13.1 原理介绍 277 MvpJ0Y ( 13.2 截止滤光片设计 277 @v%Kw e1Q 14 光学常数提取 289 `.MZ,Xhqi" 14.1 介绍 289 Nu6NyYs 14.2 电介质薄膜 289 ^$: w 14.3 n 和k 的提取工具 295 vHf)gi}O| 14.4 基底的参数提取 302 Ax&!Nz+? 14.5 金属的参数提取 306 ,!l _ 14.6 不正确的模型 306 =@Oo3*> 14.7 参考文献 311 P:'wSE91 15 反演工程 313 oRCc8& 15.1 随机性和系统性 313 p-}X=O$ 15.2 常见的系统性问题 314 i]r(VKX 15.3 单层膜 314 3[[oAp 15.4 多层膜 314 cF8
2wg 15.5 含义 319 Rlewp8?LB 15.6 反演工程实例 319 .2fvRN92 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 JJd qdX; 15.6.2 反演工程提取折射率 327
2'?'dfj 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 tLy:F*1i 16.1 光学性质的热致偏移 329 WiytHuUF 16.2 应力工具 335 n{;Q"\*Sg 16.3 均匀性误差 339 uI-T]N:W8x 16.3.1 圆锥工具 339 l1 Kv`v\ 16.3.2 波前问题 341
77@N79lqO 16.4 参考文献 343 m=01V5_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 /Sj~lHh 17.1 引言 345 "Au4&Fu 17.2 操作数 345 BTkx}KK 18 如何在Function中编写脚本 351 3^UdB9j; 18.1 简介 351 n)kbQ] 18.2 什么是脚本? 351 ~</FF'Xz 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 N]+6< 18.4 基础 352 Mh7m2\fLbd 18.4.1 Classes(类别) 352 m8fj\,X 18.4.2 对象 352 ]W5*R07 18.4.3 信息(Messages) 352 P4[kW}R 18.4.4 属性 352 ,0! 2x"Q= 18.4.5 方法 353 `NW/Z/_ 18.4.6 变量声明 353 yNns6 18.5 创建对象 354 !rUP&DA 18.5.1 创建对象函数 355 /]`@.mZ9: 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 : .x((
FU 18.5.3 丢弃对象 356 &!8 WRJ 18.5.4 总结 356 QXkA%'@' 18.6 脚本中的表格 357 L0g+RohW 18.6.1 方法1 357 Bg~]u+c* 18.6.2 方法2 357 uE's&H 18.7 2D Plots in Scripts 358 d)AYY}pw 18.8 3D Plots in Scripts 359 x?wvS]EBg 18.9 注释 360 z)3TB&; 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 XZ%,h 18.11 一个更高级的脚本 362 [Fr](&Tx 18.12 <esc>键 364 |owr?tC 18.13 包含文件 365 !vwio! 18.14 脚本被优化调用 366 *?X&Y8Kf 18.15 脚本中的对话框 368 Q>{$Aqc,e 18.15.1 介绍 368 [{7#IZL 18.15.2 消息框-MsgBox 368 y*iZ;Bv j 18.15.3 输入框函数 370 nONuw;K 18.15.4 自定义对话框 371 arL>{mj 18.15.5 对话框编辑器 371 =?OU^u`C 18.15.6 控制对话框 377 y74Q( 18.15.7 更高级的对话框 380 bB_LL 18.16 Types语句 384 Z 8rD9
k$6 18.17 打开文件 385 i6if\B 18.18 Bags 387 oV%:XuywT 18.13 进一步研究 388 H~j@n!) 19 vStack 389 ukR0E4p 19.1 vStack基本原理 389 +dCDk* /m 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 81Kf X {| 19.3 五棱镜 393 6(8F4[D 19.4 光束距离 396 0<m7:D
Gd 19.5 误差 399 ]\M{Abqd{ 19.6 二向分色棱镜 399 _EMI%P&s 19.7 偏振泄漏 404 Cf[tNq 19.8 波前误差—相位 405 q }@L "a` 19.9 其它计算参数 405 Z@Rm^g]o 20 报表生成器 406 5T;LWS 20.1 入门 406 {xTq5`&gT 20.2 指令(Instructions) 406 0>|q[SC 20.3 页面布局指令 406 c-$rB_t+ 20.4 常见的参数图和三维图 407 =0cTct6\ 20.5 表格中的常见参数 408 *?m)VvR>| 20.6 迭代指令 408 agUdI_'~@9 20.7 报表模版 408 }QI \K 20.8 开始设计一个报表模版 409 5eTA] 21 一个新的project 413 tyR?A>F4 21.1 创建一个新Job 414 s 4`-mIa 21.2 默认设计 415 WESD^FK 21.3 薄膜设计 416 UPfE\KN+p# 21.4 误差的灵敏度计算 420 E/:U,u{ 21.5 显色指数计算 422 bbC@ 21.6 电场分布 424 2y!n c% 后记 426 rp@:i _] 有兴趣扫码加微联系 ud/!@WG
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