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(q N(#~ 内容简介 >>zoG3H! Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 [Gy'0P(EQ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 `F 8;{`a 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Vz]=J;`Mz 0pa^O$?p 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 nn4Sy,cz 目录 a HL '(< Preface 1 T(^8ki 内容简介 2 C/Bx_j(( 目录 i l$_rA~Mo 1 引言 1 mtddLd, 2 光学薄膜基础 2 {PtTPz 2.1 一般规则 2 &Ld8Z9IeFp 2.2 正交入射规则 3 [)>8z8'f 2.3 斜入射规则 6 LW5ggU/ 2.4 精确计算 7 !p2,|6Y`y 2.5 相干性 8 1iL
xXd 2.6 参考文献 10 D
;$+] 2 3 Essential Macleod的快速预览 10 $ n[7 4 Essential Macleod的特点 32 C&N4<2b 4.1 容量和局限性 33 '<S:|$$ 4.2 程序在哪里? 33 .fY<"2g 4.3 数据文件 35 B
RjKV 4.4 设计规则 35 .oN
Sg.jG 4.5 材料数据库和资料库 37 PJ:5Lb< 4.5.1材料损失 38 _4B iF?1 4.5.1材料数据库和导入材料 39 9= $,] M 4.5.2 材料库 41 ]},Q`n>$ 4.5.3导出材料数据 43 5XO'OSdYq 4.6 常用单位 43 _J~ta. 4.7 插值和外推法 46 14!a)Ijl 4.8 材料数据的平滑 50 .eB"la|d 4.9 更多光学常数模型 54 4Xk;Qd 4.10 文档的一般编辑规则 55 b:cK >fh0_ 4.11 撤销和重做 56 1";e'?^x 4.12 设计文档 57 l!V| T? 4.10.1 公式 58 Z;SG< 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 B\>}X_\4 4.10.3 沉积密度 59 L4*fF 4.10.4 平行和楔形介质 60 x~Ly$A2p 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 edk9Qd9 4.10.4 性能 61 ,h.Jfo54, 4.10.5 保存设计和性能 64 UH&1c8y} 4.10.6 默认设计 64 @<TZH 4.11 图表 64 C|IQM4 4.11.1 合并曲线图 67 ^1yTL5#:Vw 4.11.2 自适应绘制 68 m3Z}eC8LK 4.11.3 动态绘图 68 )X!DCL:16 4.11.4 3D绘图 69 Yk@s"qm3 4.12 导入和导出 73 !2U7gVt"* 4.12.1 剪贴板 73 @3TkD_B& 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 jI2gi1,a 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Z6([/n 4.13 背景 77 c$<O0dI 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 P9mxY*K)%5 4.15 生成Rugate 84 V -4*nV 4.16 参考文献 91 _.*4Y 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 /Q>{YsRRB 5.1 Jobs 92 FoD/Q
5.2 创建一个新Job(工作) 93
)P9{47 5.3 输入材料 94 h* %0@ 5.4 设计数据文件夹 95 \R>5F\ 0 5.5 默认设计 95 n5*{hi 6 细化和合成 97 mImbS)V 6.1 优化介绍 97 ,#jhKnk2e 6.2 细化 (Refinement) 98 0H&U=9'YT 6.3 合成 (Synthesis) 100 /xm#:+Sc 6.4 目标和评价函数 101 q|$>H6H4b 6.4.1 目标输入 102 !0csNg! 6.4.2 目标 103 } .H Fm'p 6.4.3 特殊的评价函数 104 6|>\&Y!Q 6.5 层锁定和连接 104 g=g.GpFt 6.6 细化技术 104 r~G]2*3 6.6.1 单纯形 105 IL[|CB1v 6.6.1.1 单纯形参数 106 _QMHPRELk 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 e(; `9T 6.6.2.1 Optimac参数 108 :_QAjU 6.6.3 模拟退火算法 109 JGO$4DK-1 6.6.3.1 模拟退火参数 109 $sL|'ZMbS 6.6.4 共轭梯度 111 8K JQ( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ['OCw {< 6.6.5 拟牛顿法 112 )lDIzLp 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 #u<oEDQ 6.6.6 针合成 113 7fW=5wc 6.6.6.1 针合成参数 114 eFj6p< 6.6.7 差分进化 114 01{r^ZT`RH 6.6.8非局部细化 115 {Sr=SE 6.6.8.1非局部细化参数 115 _[{:!?-? 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ldCKSWIi- 6.7.1 细化 116 F@K*T2uh 6.7.2 合成 117 0nD=|W\@{ 6.8 参考文献 117 bhqq 7 导纳图及其他工具 118 N{hF [F 7.1 简介 118 @
Zgl> 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 R<lNk< 7.2.1 四分之一波长规则 119 A M1C
$ 7.2.2 导纳图 120 ^`jZKh8)h 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 C>:/(O 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 }rY?=I 7.5 斜入射导纳图 141 eb.cq"C 7.6 对称周期 141 3?*M{Y| 7.7 参考文献 142 Y0X"Zw 8 典型的镀膜实例 143 =(|xU?OL 8.1 单层抗反射薄膜 145 CmJ?_> 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 )pZekh]v 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Z4HA94 8.4 W-膜层 148 y3KcM#[ 8.5 V-膜层 149 EOBs}M; 8.6 V-膜层高折射基底 150 $['7vcB^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 mP)3cc5T 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 KCJN< 8.9 四层抗反射薄膜 153 | ,1bkJt 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 S}m$,<x 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 pVV}1RDa 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 uK;K{ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 (!0j4' 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Tbi]oB# 8.15十五层宽带抗反射膜 159 >St.c 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 MS st 8.17 1/4波长堆栈 162 |ilv|U V 8.18 陷波滤波器 163 UBhciZ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 _^6|^PT. 8.20 褶皱 165 +-H}s` 8.21 消偏振分光器1 169 %R.xS}
Q 8.22 消偏振分光器2 171 SY$J+YBLM 8.23 消偏振立体分光器 172 `sk!C7% 8.24 消偏振截止滤光片 173 |%'6f}fnE 8.25 立体偏振分束器1 174 {*?sVAvj 8.26 立方偏振分束器2 177 2<[eD`u 8.27 相位延迟器 178 (Pk"NEP 8.28 红外截止器 179 Ue{vg$5|| 8.29 21层长波带通滤波器 180 })o~E 8.30 49层长波带通滤波器 181 kfqpI
8.31 55层短波带通滤波器 182 mFqSD 8.32 47 红外截止器 183 fjIcB+Z 8.33 宽带通滤波器 184 IU Y> ih 8.34 诱导透射滤波器 186 ocIt@#20K 8.35 诱导透射滤波器2 188 VX^o"9Ntl 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 o%Be0~n' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 fJ)N:q` 8.35 增益平坦滤波器 193 k]SAJ~bS| 8.38 啁啾反射镜 1 196 [F/^J|VMV 8.39 啁啾反射镜2 198 ^w:OS5 %R 8.40 啁啾反射镜3 199 uFwU-LCe 8.41 带保护层的铝膜层 200 Si?$\H*: 8.42 增加铝反射率膜 201 hWq.#e6 8.43 参考文献 202 XJx,9trH 9 多层膜 204 L@{!r=%_> 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 .q0218l:dF 9.2 内部透过率 204 SXRdNPXFO 9.3 内部透射率数据 205 AVXX\n\_ 9.4 实例 206 Ni2]6U 9.5 实例2 210
gd337jw 9.6 圆锥和带宽计算 212 M"=8O>NZ2 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 lpl8h4d 10 光学薄膜的颜色 216 }Vvsh3 10.1 导言 216 Q~fwWp-J 10.2 色彩 216 u.Mqj"o\ 10.3 主波长和纯度 220 _Kc1 10.4 色相和纯度 221 .A3DFm3 t 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 X^zYQ6t 10.6 色差 226 UF@IBb}0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 n?'d|h 10.8 颜色渲染指数 234 `IEq@Wr#$! 10.9 色差计算 235 %ZujCZn 10.10 参考文献 236 Ya}T2VX 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 :{[<g]( 11.1 短脉冲 238 FE/$(7rM 11.2 群速度 239 >f&xJq 11.3 群速度色散 241 \'n$&PFe 11.4 啁啾(chirped) 245 oi7
3YOB 11.5 光学薄膜—相变 245 9*#$0Y= 11.6 群延迟和延迟色散 246 :e1'o 11.7 色度色散 246 JXpoCCe 11.8 色散补偿 249 n!GWqle 11.9 空间光线偏移 256 CN$I:o04C 11.10 参考文献 258 ?n!lUr$:y 12 公差与误差 260 @Z?7E8( 12.1 蒙特卡罗模型 260 WK
pUn8&N
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 |q3f]T&+>{ 12.2.1 误差工具 267 `vudS? 12.2.2 灵敏度工具 271 +0VG[c\8 12.2.2.1 独立灵敏度 271 t,RyeS/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Tdg6kkJ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 @u,+F0Yd 12.3 参考文献 276 I0!j<G 13 Runsheet 与Simulator 277 :~yzDk\I"- 13.1 原理介绍 277
F[5S(7M
7 13.2 截止滤光片设计 277 l;Q
>b]DZ 14 光学常数提取 289 ~eDI$IO 14.1 介绍 289 AlO,o[0 14.2 电介质薄膜 289 Vl<`|C> 14.3 n 和k 的提取工具 295 {={^6@ 14.4 基底的参数提取 302 Q~phGD3!~ 14.5 金属的参数提取 306 Q/p(#/y#b 14.6 不正确的模型 306 yL.^ = 14.7 参考文献 311 l$F_"o?&S@ 15 反演工程 313 My. dD'C 15.1 随机性和系统性 313 DB#$~(o 15.2 常见的系统性问题 314 Y+FP 15.3 单层膜 314 C5Xof|#p| 15.4 多层膜 314 Qh^R Ax 15.5 含义 319 1YFeVMc 15.6 反演工程实例 319 bZ/
hgqS 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ei@3,{~5 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ^\MhT)x 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 m=H_?W; 16.1 光学性质的热致偏移 329 )!i!3 16.2 应力工具 335 EJ G2^DSS 16.3 均匀性误差 339 D ZVXz|g 16.3.1 圆锥工具 339 ?1CJf>B > 16.3.2 波前问题 341 V~85oUc\- 16.4 参考文献 343 )!A 2> 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 D i+4Eb
17.1 引言 345 `$at9 17.2 操作数 345 /jR8|sb 18 如何在Function中编写脚本 351 5C B%=iL{ 18.1 简介 351 I] jX7.fx 18.2 什么是脚本? 351 gwiR/(1 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 VgA48qZ 18.4 基础 352 c}%es=@ 18.4.1 Classes(类别) 352 M|k&TTV 18.4.2 对象 352 ^#;RLSv
18.4.3 信息(Messages) 352 >60"p~t 18.4.4 属性 352 yw'ezpO" 18.4.5 方法 353 -bA!PeI 18.4.6 变量声明 353 as(*B-_n~ 18.5 创建对象 354 7H%_sw5S. 18.5.1 创建对象函数 355 3T1P$E" m 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 !Av1Leb9$ 18.5.3 丢弃对象 356 [t{](- 18.5.4 总结 356 a%E8(ms37y 18.6 脚本中的表格 357 @V$I?iXV 18.6.1 方法1 357 Zi/-~')E 18.6.2 方法2 357 i
j/o;_ 18.7 2D Plots in Scripts 358 z?kd'j`FG 18.8 3D Plots in Scripts 359 _s*!
t 18.9 注释 360 MKC$;>i 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 D-pX<0-y 18.11 一个更高级的脚本 362 t!{x<9 18.12 <esc>键 364 aM$=|%9/ 18.13 包含文件 365 lUHtjr 18.14 脚本被优化调用 366 f*<ps
o 18.15 脚本中的对话框 368 B'p5M.6d#: 18.15.1 介绍 368 A#35]V06 18.15.2 消息框-MsgBox 368 0wFh%/: 18.15.3 输入框函数 370 &2{]hRM 18.15.4 自定义对话框 371 $ 6!iBX@ 18.15.5 对话框编辑器 371 4)^vMG& 18.15.6 控制对话框 377 Fc'[+L--Q 18.15.7 更高级的对话框 380 VjB*{, 18.16 Types语句 384 {2:d`fqD 18.17 打开文件 385 BSKEh"f 18.18 Bags 387 DWrbp 18.13 进一步研究 388 zh%qS~8Yv 19 vStack 389 ~^$MA$ /p 19.1 vStack基本原理 389 q5p e~ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ZoxS*Xk 19.3 五棱镜 393 <Oa9oM},d 19.4 光束距离 396 Q>=-ext}q 19.5 误差 399 TKOP;[1h 19.6 二向分色棱镜 399 ZMdW2_*F 19.7 偏振泄漏 404 6m+W#]^ 19.8 波前误差—相位 405 ln#\sA?iG 19.9 其它计算参数 405 &z>q#'X;. 20 报表生成器 406 K/| 20.1 入门 406 &XQZs`41+ 20.2 指令(Instructions) 406 AS|Rd+. 20.3 页面布局指令 406 ]fE3s{y
&- 20.4 常见的参数图和三维图 407 X$V|+lTk 20.5 表格中的常见参数 408 KjOi(YUnq7 20.6 迭代指令 408 Pm^lr! 3p 20.7 报表模版 408 fY_%33_I$ 20.8 开始设计一个报表模版 409 JZ=5Bpw 21 一个新的project 413 :l"dYfl 21.1 创建一个新Job 414 lKWr=k~ 21.2 默认设计 415 a,n93-m(m 21.3 薄膜设计 416 "IwM:v 21.4 误差的灵敏度计算 420 2-mQt_
i 21.5 显色指数计算 422 sPCMckt 21.6 电场分布 424 _whF^g8 后记 426 T3z(k
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