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tpN}9N 内容简介 V'.|IuN Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ~'3% Qr 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 YLGLr@:q 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 l&B'.6XKs ;j=1 oW 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 WQx;tX 目录 W=?87PkJu Preface 1 ks D1NB;9 内容简介 2 YC'~8\x3z 目录 i ,)1e+EnV& 1 引言 1 7%"7Rb^@ 2 光学薄膜基础 2 }b`*%141 2.1 一般规则 2 6K}=K?3Z 2.2 正交入射规则 3 }3 }=tN5 2.3 斜入射规则 6 B5G$o{WM 2.4 精确计算 7 P{18crC[1 2.5 相干性 8 k6BgY|0g C 2.6 参考文献 10 #EUgb7 3 Essential Macleod的快速预览 10 Z.pw!mu" 4 Essential Macleod的特点 32 T#7^6Ks+1 4.1 容量和局限性 33 [3Rj?z"S 4.2 程序在哪里? 33 v=VmiBq[ 4.3 数据文件 35 Vm.@qO*= 4.4 设计规则 35 vuBA&j0C 4.5 材料数据库和资料库 37 sA}R! 4.5.1材料损失 38 'Aj>+H<B 4.5.1材料数据库和导入材料 39 |T *qAJ8c 4.5.2 材料库 41 <J-Z;r(gQN 4.5.3导出材料数据 43 ]?{lQ0vw'w 4.6 常用单位 43 TzGm562o% 4.7 插值和外推法 46 UmX[=D| 4.8 材料数据的平滑 50 (N4(r<o; 4.9 更多光学常数模型 54 (+dRD]|T 4.10 文档的一般编辑规则 55 xQap44KPZ 4.11 撤销和重做 56 u7WM6X 4.12 设计文档 57 )AXH^& 4.10.1 公式 58 :g#it@
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 IviQ)hp 4.10.3 沉积密度 59 -^v}T/Kl# 4.10.4 平行和楔形介质 60 D|9fHMg% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 PqLqF5`S 4.10.4 性能 61 =fK'Ep[ 4.10.5 保存设计和性能 64 -FV'%X$i 4.10.6 默认设计 64 tL{~O= 4.11 图表 64 :n9~H+! 4.11.1 合并曲线图 67 *J5RueUG 4.11.2 自适应绘制 68 A'iF'<% 4.11.3 动态绘图 68 [oLQd-+
4.11.4 3D绘图 69 mX@*2I 4.12 导入和导出 73 j9'XZq} 4.12.1 剪贴板 73 \/'n[3x 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 a] =\h'S 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Ag0_^ 4.13 背景 77 @H0%N53nE 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 PRC)GP&q 4.15 生成Rugate 84 gecT*^ 4.16 参考文献 91 Lo E(W|nj 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 1Z8Oh_DC 5.1 Jobs 92 ?^ezEpW 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {))S<_yN 5.3 输入材料 94 3}{5
X' 5.4 设计数据文件夹 95 /(ju 5.5 默认设计 95 EZQ+HECpK 6 细化和合成 97 (!5}" fj 6.1 优化介绍 97 yVQz<tX| 6.2 细化 (Refinement) 98 Ej09RO"pB 6.3 合成 (Synthesis) 100 g{)H"
8L 6.4 目标和评价函数 101 3H#/u! W 6.4.1 目标输入 102 :*:fun
6.4.2 目标 103 }lUpC}aq_ 6.4.3 特殊的评价函数 104 ANQa2swM 6.5 层锁定和连接 104 np\2sa` 6.6 细化技术 104 }"B? 8T@_~ 6.6.1 单纯形 105 0$Y 9>)O 6.6.1.1 单纯形参数 106 }9udo,RWu 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 124L3AG 6.6.2.1 Optimac参数 108 ]!G>8Rc 6.6.3 模拟退火算法 109 J&ECm+2 6.6.3.1 模拟退火参数 109 dIa(</ } 6.6.4 共轭梯度 111 ) v5n "W 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 0$ 9;pzr 6.6.5 拟牛顿法 112 qL5#.bR 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ro^6:w3O^ 6.6.6 针合成 113 %_R|@cyD 6.6.6.1 针合成参数 114 dN\P&"` 6.6.7 差分进化 114 \.;ct 6.6.8非局部细化 115 Q=L$7 6.6.8.1非局部细化参数 115 dF11Rj,~ 8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 +<WRB\W 6.7.1 细化 116 ]n]uN~)9 6.7.2 合成 117 %>9+1lUhV 6.8 参考文献 117 xCp+<|1 7 导纳图及其他工具 118 z5&%T}$tJ 7.1 简介 118 @23RjoK 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 N'
$DE 7.2.1 四分之一波长规则 119 ^Ii \vk 7.2.2 导纳图 120 h3]@M$Y[ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 a;'E}b{`F 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 CpRu*w{ 7.5 斜入射导纳图 141 xe gL! 7.6 对称周期 141 g[wP!y%V 7.7 参考文献 142 YUVc9PV)Ws 8 典型的镀膜实例 143 Ns|V7|n] 8.1 单层抗反射薄膜 145 iPY vePQ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 9p\Hx#^ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ;Ma/b= Y 8.4 W-膜层 148 Pm#x?1rAj 8.5 V-膜层 149 3Da,]w< 8.6 V-膜层高折射基底 150 $dZ>bXUw: 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ,;cel^.b 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 jQxPOl$- 8.9 四层抗反射薄膜 153 n:*_uc^C 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 \5_P5q:` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 /,Dwu?Lcqp 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 N5f0|U& 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 qaMZfA 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ~ACP%QM= 8.15十五层宽带抗反射膜 159 tFvgvx\: 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 KI Plb3oh 8.17 1/4波长堆栈 162 :,%J6Zh? 8.18 陷波滤波器 163 3KZ
y
H 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 0/SC 8.20 褶皱 165 cbh#E)[' 8.21 消偏振分光器1 169 9QOr,~~s 8.22 消偏振分光器2 171 dI_r:xN 8.23 消偏振立体分光器 172 t(j_eq}J 8.24 消偏振截止滤光片 173 8_<&f%/ 8.25 立体偏振分束器1 174 zr3q>]oma 8.26 立方偏振分束器2 177 YHO;IQ5 8.27 相位延迟器 178 ovQS
ET18b 8.28 红外截止器 179 ~}$\B^z+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 9Q C"Od9H 8.30 49层长波带通滤波器 181 O>SuZ>g+7 8.31 55层短波带通滤波器 182 !c4)pMd 8.32 47 红外截止器 183 wuIsO;}/9 8.33 宽带通滤波器 184 `i t+D 8.34 诱导透射滤波器 186 462!;/y 8.35 诱导透射滤波器2 188 ;# R3k 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ~@-QbkC 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 pYLY;qkG" 8.35 增益平坦滤波器 193 XN~#gm#
8.38 啁啾反射镜 1 196 Th7wP:iDP 8.39 啁啾反射镜2 198 i>tW|N 8.40 啁啾反射镜3 199 Z]x5! 8.41 带保护层的铝膜层 200 } g3HoFC 8.42 增加铝反射率膜 201 ?jNF6z*M6 8.43 参考文献 202 8/Et&TJ` 9 多层膜 204 FylWbQU9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 2I]]WBW#: 9.2 内部透过率 204 vx\nr8'k 9.3 内部透射率数据 205 Wj&<"Z6'm( 9.4 实例 206 kZU"Xn 9.5 实例2 210 JHvFIo 9.6 圆锥和带宽计算 212 ilDJwZg# 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 /,1SE( 10 光学薄膜的颜色 216 }.fL$,7a 10.1 导言 216 A$9q!Ui#d 10.2 色彩 216 x1 ;rb8 10.3 主波长和纯度 220 %PQldPL8 10.4 色相和纯度 221 Yw~;g:= 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Fa sI'Ulk
10.6 色差 226 lq>*x=< 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 tr}KPdE 10.8 颜色渲染指数 234 lQh
E]m>+ 10.9 色差计算 235 (@%XWg 10.10 参考文献 236 ELN|;^-/|Q 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 U9<_6Bsd 11.1 短脉冲 238 b(q$j/~ zb 11.2 群速度 239 F3r S6_ 11.3 群速度色散 241 %'{V%IXQ 11.4 啁啾(chirped) 245 I$aXnd6) 11.5 光学薄膜—相变 245 Q?*
nuE 11.6 群延迟和延迟色散 246 u{g]gA8s 11.7 色度色散 246 -]Q3/"Q 11.8 色散补偿 249 X!U]`Qh 11.9 空间光线偏移 256 /QrA8 11.10 参考文献 258 2-8YSHlh 12 公差与误差 260 }7iUagN 12.1 蒙特卡罗模型 260 nnfY$&3A 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 b%3Q$wIJ6 12.2.1 误差工具 267 Xy[}G p 12.2.2 灵敏度工具 271 ?D1x;i9< 12.2.2.1 独立灵敏度 271 >:.w7LQy/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 !aQIh 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 IM[54_I 12.3 参考文献 276 $|Q".dD 13 Runsheet 与Simulator 277 F`fGz)Mk 13.1 原理介绍 277 2#'rk'X,K 13.2 截止滤光片设计 277 @b]VCv0*f% 14 光学常数提取 289 D4AEZgC F, 14.1 介绍 289 zTkFX67) 14.2 电介质薄膜 289 D35m5+=I 14.3 n 和k 的提取工具 295 z8g=;>< 14.4 基底的参数提取 302 hbVE;
9 14.5 金属的参数提取 306 IKvd!,0xf 14.6 不正确的模型 306 n)tU9@4Np 14.7 参考文献 311 Xf6fH O 15 反演工程 313 53bM+ 15.1 随机性和系统性 313 86/. 8 15.2 常见的系统性问题 314 +*n]tlk 15.3 单层膜 314 6e,Apj 0 15.4 多层膜 314 nARxn#<+ 15.5 含义 319 zs4>/9O 15.6 反演工程实例 319 ~@xT]D!BQ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 qO7fbql_ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 l &}piC 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 0xN!DvCg>. 16.1 光学性质的热致偏移 329 Po!oN~r 16.2 应力工具 335 \'[3^/(' 16.3 均匀性误差 339 W5pn;u- sz 16.3.1 圆锥工具 339 Dp^"J85}
16.3.2 波前问题 341 -y%QRO( 16.4 参考文献 343 v,n); 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 <sa #|Y$ 17.1 引言 345 1d`cTaQ- 17.2 操作数 345 kl| g 18 如何在Function中编写脚本 351 F@g17 aa 18.1 简介 351 4/b(Y4$,[r 18.2 什么是脚本? 351 HB%K|&!+ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 sD{j@WEZ 18.4 基础 352 Y^4q9?2G 18.4.1 Classes(类别) 352 :
-E, 18.4.2 对象 352 c2/"KT 18.4.3 信息(Messages) 352 n4Vwao/9x 18.4.4 属性 352 (m6EQoW^s+ 18.4.5 方法 353 6Ux[,]GK 18.4.6 变量声明 353 >xZ5ac
I 18.5 创建对象 354 b,9@P&=:2 18.5.1 创建对象函数 355 V)=Z6 ti 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 >A<Df 18.5.3 丢弃对象 356 L,#^&9bHa# 18.5.4 总结 356 YDW|-HIF 18.6 脚本中的表格 357 ]7*kWc2 18.6.1 方法1 357 VDG|>#[! 18.6.2 方法2 357 3eWJt\}?B 18.7 2D Plots in Scripts 358 lHcA j{6 18.8 3D Plots in Scripts 359 su}&".e^ 18.9 注释 360 f#1/}Hq/I 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 To pHE 18.11 一个更高级的脚本 362 V- /YNRV 18.12 <esc>键 364 DjY8nePyE 18.13 包含文件 365 ,}KwP*:Z 18.14 脚本被优化调用 366 I,]J=xi 18.15 脚本中的对话框 368 9YAM#LBTWi 18.15.1 介绍 368 0',[J 18.15.2 消息框-MsgBox 368 #vtN+E 18.15.3 输入框函数 370 55^tfu 18.15.4 自定义对话框 371 3EI]bmi~ 18.15.5 对话框编辑器 371 =)(0.E 18.15.6 控制对话框 377 Z0aUHWms 18.15.7 更高级的对话框 380 nX )f'[ 7 18.16 Types语句 384 >:%BNeO 18.17 打开文件 385 -A}zJBcR 18.18 Bags 387 7 I@";d8~ 18.13 进一步研究 388 !W~QT} 19 vStack 389 0t+])> 19.1 vStack基本原理 389 H$Kw=kMw 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 mzz$`M1 19.3 五棱镜 393 {tc57jsr 19.4 光束距离 396 bi.wYp(*6L 19.5 误差 399 iKhH ^V%j 19.6 二向分色棱镜 399 v$;@0t:;# 19.7 偏振泄漏 404 h
D.)M 19.8 波前误差—相位 405 :G#KB' 19.9 其它计算参数 405 cv]BV>=E 20 报表生成器 406 7k'gt/#up 20.1 入门 406 GB=bG%Tb 20.2 指令(Instructions) 406 )nOE8y/ 20.3 页面布局指令 406 TtZ}"MPZ 20.4 常见的参数图和三维图 407 jQ|:I7y 20.5 表格中的常见参数 408 m<3w^mww 20.6 迭代指令 408 Kr]z]4.d@ 20.7 报表模版 408 eVx~n(m!} 20.8 开始设计一个报表模版 409 \sITwPA[z 21 一个新的project 413 Q ?^4 \_ 21.1 创建一个新Job 414 ]+ZM/'X 21.2 默认设计 415 {yS;NU`2 21.3 薄膜设计 416 )b9_C
O} 21.4 误差的灵敏度计算 420 !VRo*[yD@ 21.5 显色指数计算 422 uFo/s&6K 21.6 电场分布 424 C `6S}f, 后记 426 s&VOwU 有兴趣扫码加微联系 l|q%%W0
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