o=@ UXi 高NA物镜广泛用于
光学光刻,
显微镜等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用
VirtualLab对这种
镜头进行
光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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+:b 建模任务 r@;$V_I =$[W,+X6f
={OCa1 概观 4bWfx_0W [!5l0{0
i /C'0 光线追迹仿真 Mru~<:9 td%Y4-+ - •首先选择“光线追迹
系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
OfW%&LAMQ 5'),) •点击Go!
`yy%<& •获得3D光线追迹结果。
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"rL"K '\4c "Ho 光线追迹仿真 eN Hpgj vxF:vI# @ uTxX`vH@! •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
?#x'_2 •单击Go!
`AB~YX%( •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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6Uch0xha! T %$2k> 场追迹仿真 F%9e@{ l A 0-?k <d3PDO@w/ •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
Q=dw 6 •单击Go!
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8|fLe\" +!D=SnBGs 场追迹结果(摄像机探测器) +?ws !LgF \z&03@Sw {(8U8f<'=y •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
<.y;&a o •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
MYKs??]Y1 Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
0-6:AHix 2(@LRl>:
&h98.A*& 6tDg3`w> 场追迹结果(电磁场探测器) 5)h+(u C3 GG@iKL V •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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