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高NA物镜广泛用于
光学光刻,
显微镜等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用
VirtualLab对这种
镜头进行
光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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N['DqS = L G}{ibB 建模任务 <'Q6\R}:vC bWPsfUn#
l{By]S 概观
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8P I%Z6 光线追迹仿真 J,W<ha* wO??"${OH •首先选择“光线追迹
系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
E^8|xT'h6 J}|X •点击Go!
fRp] •获得3D光线追迹结果。
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%9-^,og R'BB- 光线追迹仿真 1NYR8W]2 E'iE#He 0R
x#Fm •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
vPkLG*d8 •单击Go!
!gh8 Qs •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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X [Y0r ]n^iG7aB? 场追迹仿真 N8A)lYT]_u v,4{:y]p fit{n]g •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
?v^NimcZ •单击Go!
G
e;67 m8n) sw,,
:Cq73:1\B _^ hg7&dF 场追迹结果(摄像机探测器) zB.cOMx =Rd`"]Mnfb <2U#U; •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
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-cM •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
X[tt'5 Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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!GOaBs @9/I^Zk 场追迹结果(电磁场探测器) Y ^^4n$ {FIzoR" •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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