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    [技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-01-18
    o=@ UXi  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 #W.bZ]&WA  
    5 5a@)>h  
    w[|y0jtw  
         ELD +:b  
    建模任务 r@;$V_I  
    =$[W,+X6f  
    ={OCa1  
    概观 4bWfx _0W  
    [!5l0{0  
    i /C'0  
    光线追迹仿真 Mru~<:9  
    td%Y4-+-  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 OfW%&LAMQ  
    5'),)  
    •点击Go! `yy%<&  
    •获得3D光线追迹结果。 QK,=5~IJ  
    Jr|K>  
    "rL"K  
    '\4c "Ho  
    光线追迹仿真 eNHpgj  
    vxF:vI# @  
    uTxX`vH@!  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ?#x'_2  
    •单击Go! `AB~YX%(  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 5X#i65_-  
    hwc:@'  
    6Uch 0xha!  
         T %$2k>  
    场追迹仿真 F%9e@{  
    l A 0-?k  
    <d3PDO@w/  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 Q=dw 6  
    •单击Go! /YS@[\j4  
    -Cg`x=G;z  
    8|fLe\"  
         +!D=SnBGs  
    场追迹结果(摄像机探测器) +?ws !LgF  
    \z&03@Sw  
    {(8U8f<'=y  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 <.y;&a o  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 MYKs??]Y1  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 0-6:AHix  
    2(@LRl>:  
    &h98.A*&  
    6tDg3`w>  
    场追迹结果(电磁场探测器) 5)h+(u C3  
    GG@iKL V  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 }(8D!XgWa  
    T2;v<(  
     
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