1ka58_^ 高NA物镜广泛用于
光学光刻,
显微镜等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用
VirtualLab对这种
镜头进行
光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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@z(s\T $2k9gO 建模任务 zMAlZ[DN Fi#b0S
`Zz;[<*< 概观 >zv}59M yrR,7vJ
/f,*| 光线追迹仿真 X(K5>L> 0 oHnam •首先选择“光线追迹
系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
m?<5-"hz T@DT|lTI •点击Go!
MY>o8A •获得3D光线追迹结果。
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JA^Y:@<{/ UmA'aq 光线追迹仿真 /;rk-I {@<EVw 7_AcvsdW •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
%%k`+nK~ •单击Go!
*'ex>4^ •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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E.OL_ \ nHmi%R7k 场追迹仿真 ZG)%vB2c a`uHkRX
)U t0gLz
J •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
}\)O1 •单击Go!
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GOhGSV# bcZ s+FOPd 场追迹结果(摄像机探测器) BF>3CW7 `SO"F, xk8P4`;d$ •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
9DP6g<>B •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
X3;|h93.a Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
7tr;adjs Ok&u4'<
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qo 场追迹结果(电磁场探测器) N_"mC^Vx 5//.q;z •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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