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    [技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-01-18
    2:n|x5\H  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 o[2Y;kP3*P  
    o8mo=V4j  
    cnC_#kp  
         ]uJM6QuQ  
    建模任务 f!^)!~  
    % M+s{ l  
    e8 v; D  
    概观 r8<JX5zyuo  
     Ckw83X  
    4g S[D  
    光线追迹仿真 e=-YP8l  
    t0+t9w/fTP  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 - =yTAx  
    %pd5w~VP  
    •点击Go! jf2y0W>6s  
    •获得3D光线追迹结果。 D@2Ya/c  
    JPHUmv6  
    _y|[Z;  
    MyK^i2eD  
    光线追迹仿真 z{@= _5;  
    IBzHR[#,^  
    ;;D% l^m+  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ,7QBJ_-;QJ  
    •单击Go! Bfu/9ad  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 T27:"LVw  
    rrW! X q  
    nz}]C04:-  
         wYC9 ~ms-  
    场追迹仿真 R A*(|n>  
    bbM4A! N  
    v4X_v!CQ  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 Cb+P7[X-  
    •单击Go! 1 VPg`+o  
    aS3P(s L  
    [>Ikitow  
         p<<6}3~  
    场追迹结果(摄像机探测器) K lPm=  
    ::kpl2r\c  
    k0gJ('zah  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 y-D>xV)n  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Y}85J:q]  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 Qf/j:  
    &;'w8_K"^  
    39'X$!  
    sxf}Mmsk  
    场追迹结果(电磁场探测器) Vj?*= UL  
    X%RQB$  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 dO Y lI`4  
    bkJwPs  
     
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