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    [技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-01-18
    Jl`^`Yv  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 \j62"  
    {eaR,d~X  
    In96H`  
         eQu(3sYb  
    建模任务 hoqZb<:  
    xS/W}-dPv  
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    概观 iiIns.V  
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    C:t>u..  
    光线追迹仿真 e! *] y&W  
    ?0qD(cfx<  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 X_o#!  
    EOrui:.B)  
    •点击Go! 'QT~o-U  
    •获得3D光线追迹结果。 Y|fD)zG_  
    K!&W}_@l  
    BA2"GJvfIA  
    v-3VzAd=*&  
    光线追迹仿真 .s*N1 U?h  
    ?o;ip  
    [:cD  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 bt)C+|i  
    •单击Go! : "| /  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 *O~y6|U?  
    <.n,:ir  
    9,INyEyAL  
         rz%~=Ca2j  
    场追迹仿真 )-)rL@s.  
    x:MwM?  
    Jq &Hz$L|  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 yogavCD9b/  
    •单击Go! $45|^.b  
    8>e YM  
    HfVHjF)  
         < bC'.m  
    场追迹结果(摄像机探测器) F(ydqgH~a  
    wBXa;.  
    1]Xx {j<  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 >fXtu:C-!J  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 GLtWo+g0  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 wkx9@?2*  
    &Uam4'B6-  
    HXKM<E{j  
    {k3ItGQ_  
    场追迹结果(电磁场探测器) #MA6eE'R  
    i#*[, P~  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 ),p0V  
    #("M4}~  
     
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