UDFDJm$ 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
Vp\,CuQ `(;m?<%
C.P*#_R }>|s=uGW 本用例展示了......
Q{>k1$fkV •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
{S\{Ii6 - 矩形光栅界面
DCa^
u'f - 过渡点列表界面
= svN#q5s - 锯齿光栅界面
H8jpxzXv - 正弦光栅界面
y.k~Y0 •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
4_lrg|X1 _LnpnL: 光栅工具箱初始化 ,p a {qne •初始化
(9d & - 开始
c6]U E@A 光栅
^76]0`gS 通用光栅光路图
8,%^
M9zBP •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
V0YZp 可直接选择特定的光路图。
6MW{,N OT*mO&Z
[|L<_.8 i]4I [! 光栅结构设置 "k@/3 •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
u=s p`%?
b|DdG/O •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
JbbzV> •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
|df Pki{ 33q}CzK
e*C(q~PQ #!#
l45p6 •例如,选择第一个界面上的堆栈。
]6`% 0d&6lqTo 堆栈编辑器 / SB;Von •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
(ZizuHC •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
Vb_4f" BU_nh+dF
T^KKy0ZGM ^x,YW]AS} 矩形光栅界面 cT,sh~-x, 2zb"MEOS5 •一种可能的界面是矩形光栅界面。
Il'fL'3 •此类界面适用于简单二元结构的配置。
~
7s!VR •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
SnfYT)Ph •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
W!(zT6# •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
\b x$i* "+s++@
z
Hn"RH1Zy oc`H}Wvn 矩形光栅界面 X"Swi&4 •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
>bW#Zs,6 •所选界面在视图中以红色突出显示。
oPM96
(
CdQ!GS<'y •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
KRzAy)8 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
i.m^/0!
Z9|P'R(l •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
?tbrbkx •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
QWYJ* •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
R/YqyT\SM .q>iXE_c
}7Q% 6&IR '=pU^Oz<}
L,!?Nt\ L8B!u9% 矩形光栅界面参数 0(HU}I •矩形光栅界面由以下参数定义
(<9u-HF# - 狭缝宽度(绝对或相对)
fHFE){ - 光栅周期
]a`$LW} - 调制深度
Zy/_
E@C}u •可以选择设置横向移位和旋转。
;Y, y 4{H3 * EH~_F
fJg+ Ryo k_#)Tw* 高级选项和信息 })%{AfDRF •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
]f_p8?j" •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
yWSGi#)1 •可以设置总级次数或衰逝波级次数
@yYkti;4- (evanescent orders)。
~"!fP3"e •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
eR>oq, •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
>(<f 0 *.[.
{qG(
h*\%vr Pq$n5fZC! •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
jP.dDYc •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
XiWmV ? •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
:ws<-Qy •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
?@x/E& xmoxZW:
Vurqt_nb $`8wJf9@w 过渡点列表界面 R=?[Nz •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
n@3>6_^rwT •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
~W/z96'
5 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
ueNS='+m
i|kRK7[6B UiNP3TJ'L 过渡点列表参数 :`sUt1Fw. •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
Id9TG/H7 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
EU#^7 lB4WKn=?Kl
7tp36 TE *Pr )% •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
M6TD"- •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
WIGi51yC.x •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
K
8O|?x] E{(;@PzE
eMzk3eOJ *^`Vz?g< 高级选项及信息 k5)om;.w •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
{;oPLr+Z x)&\z}
wd6owr <UCl@5g& 正弦光栅界面 U0+-W07> •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
,zc(t<|-y •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
9+N-eW_U •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
I-)4YQI - 脊的材料:基板的材料
!r-F>!~ - 凹槽材料:光栅前面的材料
gqR(.Pu \)e'`29;
*zLMpL_ )/P}?`I 正弦光栅界面参数 Bw
yx c - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
'GScszz •光栅周期
$[|mGae •调制深度
+ge?w#R - 可以选择设置横向移位和旋转。
8Fub<UhJ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
JXxwr)i ~J]qP #C
i/.6>4tE: 'ga/ 高级选项和信息 ^J{:x •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
&,/S`ke= #&4=VGx{
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Y-9I3?ar k7^5Bp8= 高级选项及信息 W*G<X.Hf •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
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u?EN 锯齿光栅界面 {RPI]DcO/ •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
8EYkQ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
^rz_f{c]- •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
)%]J>&/0J - 脊的材料:基板的材料
>mkFV@` - 凹槽材料:光栅前面的材料
~"bVL[ ?A0)L27UE&
8XaQAy%d] _v:SP
L U 锯齿光栅界面参数 6~+emlD •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
)B*t
:tN - 光栅周期
4e - 调制深度
[><Tm\(: •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
8,|k ao: •可以选择设置横向移位和旋转。
bd`P0f? •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
tBSW|0 YZ7.1`8
#;S*V" p}P-6&k,U 高级选项和信息 )gi9f1n` •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
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m+9#5a- 探测器位置的注释 SWLo|)@[/ 关于探测器位置的注释 q\)-BXw: •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
Zd&S@Z •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
P
{'b:C •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
{+Jv+J9 •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
ULW~90 •可以避免这些干涉效应的不良影响。
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P2Y^d#jO