"eKM<S 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
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ebB8.(k9G3 TbhsOf! 本用例展示了......
M4}zRr([.5 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
7C^W <SUo - 矩形光栅界面
kS(v|d - 过渡点列表界面
Kdd5ysTQ - 锯齿光栅界面
VK$s+" - 正弦光栅界面
e&XJK*Wf •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
K9euNa + WFa4NZ 光栅工具箱初始化 Tn\59 ( •初始化
SV_b(wP9 - 开始
1BA5| 光栅
JztSP? 通用光栅光路图
~C ;gEE- •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
(W$>!1~ 可直接选择特定的光路图。
QU^?a~r Zk
9 i}H
.&c!k1kH MG0d&[ 光栅结构设置 ]Saw}agE[% •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
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zvP>8[
•在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
/hbdQm •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
U10:@Wzh $3 ~/H"K
X0gWTs \"hP*DJ" •例如,选择第一个界面上的堆栈。
G_n~1? N'RUtFqj 堆栈编辑器 23[X mBf •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
C*,PH!$k •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
-&_;x&k
/ B"fKv0
M/a5o|>8 }{m.\O 矩形光栅界面 e't1.%w A**PGy.Ni •一种可能的界面是矩形光栅界面。
a$P$Ngi?S •此类界面适用于简单二元结构的配置。
!V;glx[ •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
[+Y;w`;Fq •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
,*'aH z •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
*Wz\FixP0 ?o6\>[O
s~MCt|a 23WlUM 矩形光栅界面 rA#Ji~ •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
7FD.3/ •所选界面在视图中以红色突出显示。
R?GF,s<j
jneos~ 'n8 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
i5^U1K\M •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
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ZpQ8KY$5 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
x$\w^h\F •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
0] $5jW6] •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
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`di/nv) rCdf*;
qJrMr4:F G`r*)pdm 矩形光栅界面参数 uA2-&smw •矩形光栅界面由以下参数定义
nH^RQ'19 - 狭缝宽度(绝对或相对)
$*i"rlJC - 光栅周期
5!)_"u3 - 调制深度
esVZ2_eL •可以选择设置横向移位和旋转。
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Y /*yPy?
fKZgAISF !4l\*L 高级选项和信息 D&r2k
9 •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
trC+Etc •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
nzK"eNDN. •可以设置总级次数或衰逝波级次数
gELb(Y\ak (evanescent orders)。
'uOzC"_yF •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
r@m2foaO •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
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h8lI#Gs edy6WzxBcm •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
~NtAr1 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
!1\jD •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
ep3iI77/ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
L7lRh=D f:-dw6a=s
E@F:U*A6% E5b JIC(
过渡点列表界面 ';z5]O~ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
H^no&$2`1 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
5{&<X.jv •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
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X519}
l3 sR1
&2hB 过渡点列表参数 eL+L
{Ac •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
Lx"a #rZ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
8/y~3~A{D %g>{m2o
nBVknyMFNF An%V>a-[ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
@Sl!p) •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
=abth6#) •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
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cs%NsnZ CXsi 高级选项及信息 ]3E':JM@ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
HGgw<Os-k ]cv|A^
> HL8hN'q' {:3XP<hqN 正弦光栅界面 ,A>i)brc •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
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.? •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
~"*;lT5KX •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
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