EM0]"s@Lf 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
A9C {"@E_{\
['\u?m %z5P%F'5 本用例展示了......
~/1eF7 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
t.6gyrV7>< - 矩形光栅界面
@>Ul0&Mf? - 过渡点列表界面
f}?q - 锯齿光栅界面
)NCSO b - 正弦光栅界面
x[1(cj •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
FA#8 Z*M-PaU} 光栅工具箱初始化 %#-'|~ •初始化
G&v. cF#Y' - 开始
pb=yQ}. 光栅
`'}c-
Q 通用光栅光路图
jjU("b= •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
N83g=[ 可直接选择特定的光路图。
UWW_[dJr Ilv
_.
2` j#eB1 V;>u() 光栅结构设置 ma7@vD •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
z! /
MBM
g9oYK •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
Yn1CU •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
]Q*eCt;l"K mZb[Fi
RlnJlY/ u|uPvbM •例如,选择第一个界面上的堆栈。
c&u~M=EW UJ1Ecob 堆栈编辑器 = *~Q5F •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
=EdLffU[J •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
BuIly&qbm< oCR-KR>{Q
HE>sZ; {fAj*,pzl 矩形光栅界面 84UI)nE:Q eE-c40Bae •一种可能的界面是矩形光栅界面。
@gHWU>k,A •此类界面适用于简单二元结构的配置。
v|K<3@J •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
#E#.`/4 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
[t}$W*hY
•在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
"8YXFg 7n*[r*$
sPUn"7 +/Q?<*[ 矩形光栅界面 -+w^"RBV •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
hY-;Vh0J •所选界面在视图中以红色突出显示。
)Y:9sd8g7
D?<R5zp •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
Lr}>Md •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
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_aLml9f
W •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
Nq=r404 •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
A-XWG9nL •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
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4_B1qN
S|HnmkV66
BV`,~n: :w5p#+/,P 矩形光栅界面参数 P-~kxb9aa •矩形光栅界面由以下参数定义
`OWw<6`k - 狭缝宽度(绝对或相对)
HLml:B[F( - 光栅周期
D%=FCmL5@= - 调制深度
-F+dmI,1$ •可以选择设置横向移位和旋转。
W u9))Ir l{b*YUsz>
5$C]$o} qe\JO'g#e 高级选项和信息 jaq`A'o5 •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
}3&~YBx;: •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
n'-?CMH` •可以设置总级次数或衰逝波级次数
%x G3z7; (evanescent orders)。
y@?t[A#v •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
j(SBpM •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
\L@DDK|"`6 /5Zt4&r
/K2=GLl; &lp5W)D •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
bn8`$FA^ •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
%oY=.Ok ] •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
%m5&U6 •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
^Td_B03) 78[5@U
ILQB%0! LAT%k2%Wx 过渡点列表界面 u^!c:RfE? •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
It
.` •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
F3L'f2yBG •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
Cm5:_K`;]
6]*~!al? Q5:8$
C}+ 过渡点列表参数 vS$_H<;P •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
_,m|gr,S •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
[`eqma c+^#(OB
wC~ra:/?:7 :jc
?T •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
bim
82<F •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
'l| e}eti> •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
:GaK.W
q T1&^IO-F7$
}}g.L| c<PML|e 高级选项及信息 :172I1|7 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
%di]1vQ .<Lbv5m
1JIo,7 > (.V(]{3y 正弦光栅界面 !k= ~5)x •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
3bGJ?hpp •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
qf7oG0 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
.-Xp]>f, - 脊的材料:基板的材料
ba-J-G@YW - 凹槽材料:光栅前面的材料
HZHzjrx APC,p,"
covr0N) Z?#_3h$"T 正弦光栅界面参数 EMV<PshW= - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
!)}3[h0 •光栅周期
\VTNXEw*G •调制深度
G q" [5r" - 可以选择设置横向移位和旋转。
.=nx5yz - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
2'38(wXn# &s|a\!>l
Y)-)owx7 6^oQ8unmS 高级选项和信息 n]N+ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
=deqj^&@ l|O)B #
\;h+:[<e1 aa'u5<<W 高级选项及信息 I4%p?'i,C •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
[CBhipoc Oh\+cvbG
wQ4IQ! 锯齿光栅界面 (L{Kg U&{$ •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
&@c?5Ie5 •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
h|MTE~
•如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
/%#LA - 脊的材料:基板的材料
}[[ - 凹槽材料:光栅前面的材料
eu]t.Co[X ^+ hJ& 9W
qNLG- m,n< (&w'"-` 锯齿光栅界面参数 v[aFSXGj) •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
p;GT[Ds^ - 光栅周期
fcuU,A - 调制深度
oPX `/X# •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
LxM.z1 •可以选择设置横向移位和旋转。
j=%^CRum •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
#q06K2 =
}&@XRLJ
^k'?e"[gTs wX0m8"g@ 高级选项和信息 _::q
S! •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
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D*>EWlZ 探测器位置的注释 PJ=N.xf} 关于探测器位置的注释 6hE. i
x •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
v{N4*P.0T •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
aAlES< r •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
M*r/TT •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
!Od?69W, $ •可以避免这些干涉效应的不良影响。
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