{flxZ} 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
>48)@sS ;hDIoSz
BGB.SN#q+ kJXy) 本用例展示了......
>m9ge`!9 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
?IG+U TI - 矩形光栅界面
h8SK8sK< - 过渡点列表界面
iV%tn{fc - 锯齿光栅界面
Jxb+NPUB - 正弦光栅界面
)vur$RX •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
YKj PE $uNYus^vS 光栅工具箱初始化 Q5v_^O<! •初始化
V,9UOC,Gn - 开始
Y6%O 9b 光栅
-,xsUw4 通用光栅光路图
_{gRCR) •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
I'uRXvEr7 可直接选择特定的光路图。
} SA/,4/9 l3/?,xn
T xwZ3E ~_L_un.R 光栅结构设置 ;l b@o,R : •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
FU~:9EEx
W[W}:@KZ •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
z+@Jx~<i •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
b{d@:" [318Q%W&
4~{q=-]V yX8$LOjE •例如,选择第一个界面上的堆栈。
V-iY2YiR Hq$?-%4 堆栈编辑器 O7RW*V:G@ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
'%9e8C| •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
-i?-Xj#% 6ax|EMw
/v:+
vh*mS Q<pL5[00fD 矩形光栅界面 2V#(1Hc! JuT~~Z •一种可能的界面是矩形光栅界面。
jz;"]k •此类界面适用于简单二元结构的配置。
`=3:*.T* •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
',p`B-dw •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
Nu'T0LPNq( •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
$McVK>= VS \~t
t/aT <Cw)S8t 矩形光栅界面 Z tfPB •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
Xj<B!Wn*Xb •所选界面在视图中以红色突出显示。
l;SqjkN
uN1O(s •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
v9OK
< •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
.qCD(XZ+
%9A6c(L •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
50.cMms •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
.5zqpm •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
sc^TElic i7f/r.
QuJ)WaJkC ]?`t
spm<t
>\ :kP>U 4`
gAluJ# 矩形光栅界面参数 xCMcS~
3/ •矩形光栅界面由以下参数定义
jR#g>MDKB - 狭缝宽度(绝对或相对)
E8~Bp-G) - 光栅周期
Y\len - 调制深度
--S2lN/:T •可以选择设置横向移位和旋转。
A-&C.g mRw &^7r
T^ ^o ^[SQw)* 高级选项和信息 kmm1b ( •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
lmZSsx •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
#AzZ4<;7 •可以设置总级次数或衰逝波级次数
eEIa=MB* (evanescent orders)。
x-km)2x=W •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
$e7dE$eH •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
d([NU; YAqv:
sHSZIkB-r u|.L73<j% •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
%B$~yx3# •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
QcGyuS.B •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
G-[fz •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
F{a- - CxC&+';
:e5)Q=lX gf^"sfNk 过渡点列表界面 vl8Ums} + •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
ON|Bpt2Qp •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
^ 9
gFW $] •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
Rw\
LVRdA
:yo tpa PK@hf[YHe 过渡点列表参数 wIIxs_2Q0c •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
=l
TV2C< •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
hmv"|1Sa!~ rYbb&z!u
g<VJ4TE6R Q<.847 ) •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
UGK4uK+I` •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
V8w!yc •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
5"=qVmT) 1-4iy_d
R87-L*9B^0 ^T83E} 高级选项及信息 y| *X •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
YoV^Y&:9< Ai&-W
D/C)Rrq"a oqa]iBO 正弦光栅界面 gz-X4A" •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
6vySOVMj •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
(a0q*iC% •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
3VZeUOxY\W - 脊的材料:基板的材料
'`$z!rA - 凹槽材料:光栅前面的材料
X(nbfh?n 7yGc@kJ?
\M-}(>Pfk rnvKfTpZDU 正弦光栅界面参数 T >XnVK - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
@Omgk=6 •光栅周期
C
7)w8y •调制深度
M}|<#
i7u - 可以选择设置横向移位和旋转。
e"9u}-Q@ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
&L[oQni];2 Sq"O<FmI
EY=`/~|c f$vWi&(
高级选项和信息 V3j1M?> •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
Gzxq] Mg :r%Hsur(
qP6Yn JWl $xRZU9+ 高级选项及信息 dHp(U
:) •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
&VG|*&M {kGcZf3h
%a-*Ku 锯齿光栅界面 n]$50_@ •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
DK8eFyG^2 •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
j{00iA} •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
nX,2jT;@L - 脊的材料:基板的材料
oG5:]/F - 凹槽材料:光栅前面的材料
d1YE$ 3n{'}SYyz
R%)ZhG*
X=O}k& 锯齿光栅界面参数 d~B]s •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
?;1^8 c0 - 光栅周期
o4I&?d7;" - 调制深度
r[>4b}4s •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
)NG{iD{_] •可以选择设置横向移位和旋转。
(#6E{@eq •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
m/W0vPM1 Rv R,V
?'F>DN bo^d!/; 高级选项和信息 6")co9 •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
gG;d+s1
gY'w=(/` 探测器位置的注释 L@> +iZSO 关于探测器位置的注释 tEEeek(! •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
XEd|<+P1 •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
QIl![% •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
VT.BHZ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
<