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jtM 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
DKl7|zG4 Elp!,(+&6
As|/
O7% Z-|C{1}A 本用例展示了......
.LhmYbQ2WE •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
}^[@m# - 矩形光栅界面
CK(ev*@\D, - 过渡点列表界面
md"%S-a_dT - 锯齿光栅界面
2-0cB$W+ - 正弦光栅界面
}NCvaO •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
?vFh)U 05B+WJ1 光栅工具箱初始化 BA-nxR •初始化
ef&@aB - 开始
j\f$r,4 光栅
N| Pm|w*? 通用光栅光路图
=-LX)|x} •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
1`lFF_stkP 可直接选择特定的光路图。
fR4l4 GU?) &.hRVW(
suFOc io7U[ # 光栅结构设置 `uVW<z{l •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
i@5%d!J
%uVJLz •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
==1/N{{R •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
;Ia1L{472m Pki4wDCTW
_M[[vXH rs Uw(K^ •例如,选择第一个界面上的堆栈。
&hN&nH"PC ;-pvc<_c< 堆栈编辑器 PbUcbb17 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
,'CWt]OS' •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
3D{4vMmX 6bKO;^0
i i@1!o v\(m"|4(i 矩形光栅界面 k(z<Bm 4c[)}8\ •一种可能的界面是矩形光栅界面。
MW$H/:3 •此类界面适用于简单二元结构的配置。
|vN@2h(|" •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
t"/"Ge#a •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
)_*a7N! •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
M
|?p3% uuYH6bw*d
BrH;(*H)8 I"32[?0
(; 矩形光栅界面 xPMyG); •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
P^3m:bE] •所选界面在视图中以红色突出显示。
]Wd`GI
)^f9[5ee •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
9LO.8Jy •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
%C`'>,t>
OZ!$%.?l •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
Uc_`Eh3y •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
&lPBqw •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
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Uk*;C _d[2_b1
?FV7|)f AIl$qPKj& 矩形光栅界面参数 hG~]~ ) •矩形光栅界面由以下参数定义
O<dZA=Oez - 狭缝宽度(绝对或相对)
))IgB).3M - 光栅周期
>[XOMKgQ]( - 调制深度
X}j'L&{F@ •可以选择设置横向移位和旋转。
-':"6\W Ukx/jNyYv
7"n1it[RJ8 #OD@q; 高级选项和信息 n-y^7'v •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
VX!Y`y^a •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
)-.Cne;n •可以设置总级次数或衰逝波级次数
-.b
I o (evanescent orders)。
g\qL}: •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
+f\pk \Ith •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
53`9^|: /=muj9|+s
r ,3Ww2X- Tw`c6^%^y •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
rKzv8d •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
r%y;8$/- •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
T6R7,Vt'v •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
wWJQ~i? ^p"4)6p-W
q!hy;K`Jd n b0 Py>4 过渡点列表界面 D%jD8 p •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
piYws<Q •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
S2'`|uI •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
+EST58
B:3+',i1 ^A *]&%(h 过渡点列表参数 t,=@hs
hN •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
4-]Do? •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
<+?
Y
%A)-m 69
h/ LR+XX! Gut J_2f^9 •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
/<(*/P,> •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
9n>$}UI\ •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
e;A^.\SP ^MW\t4pZ
%aj7-K6:t kyW6S+ #- 高级选项及信息 943I:, B •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
-+3be(u ]]p19 [4s
|5oKq'(b ^%n124 正弦光栅界面 )l+XD I •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
1DEO3p •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
[{S;%Jj*X/ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
hmK8jl<6 - 脊的材料:基板的材料
Lnh':7FQJx - 凹槽材料:光栅前面的材料
-`zG_]=- fKL'/?LD]
*.kj]BoO !lR0w| 正弦光栅界面参数 5TXg;v#Z - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
//\ds71h •光栅周期
cT/3yf •调制深度
Z|2Eb* - 可以选择设置横向移位和旋转。
0s860Kn - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
)8pcf`h{ b%Wd<N2
9 '2= (bg}an 高级选项和信息 kRmj"9oA •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
xK$}QZ) eQ$N:]
>$2E1HW. 0Vf)Rw1%I
高级选项及信息 IYuyj(/! •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
9aT L22U? |WB"=PE
C=>B_EO 锯齿光栅界面 T1l&B •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
>HE,' •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
`Jn,IDq •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
n4^*h4J7 - 脊的材料:基板的材料
N1PECLS? - 凹槽材料:光栅前面的材料
M[A-1]' 0r1g$mKb
Oz:D.V
3~ JYPxd~T/- 锯齿光栅界面参数 R"NGJu9 •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
Y;8
>=0ye - 光栅周期
&kb\,mQ - 调制深度
smV!y8& •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
llNXQlP\B •可以选择设置横向移位和旋转。
rqF"QU= l •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
/E)9v$! *yrnK3
u0xQ;BQ 6A}eSG3 高级选项和信息 xFOBF") •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
1:_=g #WH
}xqXd%uz 探测器位置的注释 u2 7S%2P 关于探测器位置的注释 Z)NrhJC •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
G=1m]>I8 •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
26M~<Ic •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
<_t5:3HL •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
J=):+F= •可以避免这些干涉效应的不良影响。
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