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    [技术]使用界面配置光栅结构 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-01-11
    wwz<c5  
    光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 Ycwb1e#  
    }2S \-  
    }{"\"Bn_  
    hAdEq$  
    本用例展示了...... IcZ'KV  
    •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: ~S9nLb:O{  
    - 矩形光栅界面 >KJ]\`2>)c  
    - 过渡点列表界面 /e\dsC{uJ  
    - 锯齿光栅界面 N INiX(  
    - 正弦光栅界面 RWE%? `   
    •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 aum,bm/0J  
    {T9g\F*  
    光栅工具箱初始化 TH-^tw  
    •初始化 \Ip<bbB0  
    -  开始 Y~6pJNR  
    光栅 6-~  
    通用光栅光路图 7~&Y"&  
    •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, g=.5*'Xlp  
        可直接选择特定的光路图。 6yU~^))bx  
    =[,adB  
    @N$r'@  
    <|4j<U  
    光栅结构设置 !Zrvko  
    •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料 x9=lN^/4  
    b#M<b.R)  
    •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 h$!qb'|  
    •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 jL# akV  
    =%p"oj]:  
    {D@y-K5  
    DEBgb  
    •例如,选择第一个界面上的堆栈。 d dPJx<  
    SCo9[EJ  
    堆栈编辑器 qrdI"  
    •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 qhtc?A/0}  
    •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 B@4#y9`5  
    3 R m$  
    Z6=!}a%  
    u0,~pJvX  
    矩形光栅界面 +38t82%YWo  
    /c7j@=0  
    •一种可能的界面是矩形光栅界面。 \=@}(<4  
    •此类界面适用于简单二元结构的配置。 ><=af 9T  
    •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 d09GD[5  
    •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 !"kvXxp^  
    •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 (#:Si~3  
    \S9z.!7v$  
    9#p^Z)[)-  
    p#&6Ed*V  
    矩形光栅界面 *,. {Xf  
    •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 H|^4e   
    •所选界面在视图中以红色突出显示。 G`n-WP  
    ]:njP3r  
    •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 %tMfOW  
    •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 IH0Uq_  
    \8pbPo=x  
    •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 sOJ~PRA  
    •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 myo/}58Nv  
    •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 B[$e;h*Aw[  
    iPIA&)x}  
    ]Cj&C/(  
    aZ'p:9e  
    8177x7UG2[  
         4ldN0 _T5  
    矩形光栅界面参数 VS` S@+p  
    •矩形光栅界面由以下参数定义 bIH2cJ  
    - 狭缝宽度(绝对或相对) suVS!} C  
    - 光栅周期 RPrk]<<1  
    - 调制深度 `XD$1>  
    •可以选择设置横向移位和旋转。 2|cIu 'U  
    "[%NXan  
    Ua:EI!`  
    #<JrSl62(K  
    高级选项和信息 <I>q1m?KN  
    •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 Pa.!:N-  
    •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 AkF1Hj  
    •可以设置总级次数或衰逝波级次数 /v8qT'$^  
        (evanescent orders)。 7}*5Mir p  
    •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 o%dtf5}(,  
    •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 wjl? @K  
    7yc:=^ )  
    NZ_45/(dx  
         +vQyHo  
    •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 (]pQ.3  
    •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 u66w('2  
    •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 r8 xH A  
    •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 1?*vqdt  
    >#'6jm  
    |9g*rO  
         kTzZj|l^\  
    过渡点列表界面 .`iq+i~  
    •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 DJ\lvT#j  
    •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 sC#Ixq'ls7  
    •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 iU3co|q7  
    GY!&H"%  
    `*slQ }i  
    过渡点列表参数 X@cV']#V  
    •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 mF_/Rhu  
    •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 snK/,lm.  
    :S%|^Q AN  
    aw,8'N)  
         A[b'MNsv  
    •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 A(C3kISM  
    •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 vEb~QX0~  
    •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 zR/ATm]9  
    L4dbrPE*0  
    2Zl65  
    Mn=_lhW K  
    高级选项及信息 A*$vk2VWw  
    •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 OLiYjYd  
    M- -6oR7  
    # ><.zZ  
    ~v5tx  
    正弦光栅界面 xNx!2MrR;  
    •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 Um|:AT}`^  
    •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 bkY7]'.bz&  
    •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: CfVz'  
    - 脊的材料:基板的材料 <uAqb Wu  
    - 凹槽材料:光栅前面的材料 Sy8Og] a  
    1mB6rp  
    "\B Li C  
         * "E]^wCn  
    正弦光栅界面参数 . E.OBn  
    - 正弦光栅界面也由以下参数定义: h rZ\ O?j  
    •光栅周期 2. |Y  
    •调制深度 `W-:@?PmQx  
    - 可以选择设置横向移位和旋转。 Pukq{/27  
    - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 5Po.&eS  
    Z(V 4"x7F  
    iA:CPBv_mu  
         \Q#F&q0  
    高级选项和信息 ){6;o& CC:  
    •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 YT-t$QyL  
    No[>1]ds  
    d 29]R.  
    *<9p88FpDU  
    高级选项及信息 79i>@u%  
    •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 {i=qx#2X?H  
    ljNd!RaB  
    8sL7p4  
    锯齿光栅界面 `]fY9ZDKs  
    •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 R=E )j^<F  
    •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 v!W,h2:J  
    •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: lte~26=e  
    - 脊的材料:基板的材料 ArF+9upGY  
    - 凹槽材料:光栅前面的材料 }U8H4B~UtY  
    lfCoL@$6D  
    D,J's(wd  
    ny#7iz/  
    锯齿光栅界面参数 7=JiL=  
    •锯齿光栅界面也由以下参数定义: &<L+;k~P%  
    - 光栅周期 z/;NoQ-  
    - 调制深度 r R."_Z2  
    •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 YH E7`\l  
    •可以选择设置横向移位和旋转。 NjMo"1d  
    •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 d,$[633It}  
    (=7e~'DC  
    BB~Qs  
         /Cwt4.5  
    高级选项和信息 >WDb89kC=  
    •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 9 =hA#t.#  
    z<)?8tAgq  
    探测器位置的注释 5<&<61[A  
    关于探测器位置的注释 ; zs4>>^>  
    •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 03# r F@e  
    •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 Yj;$hV8j(  
    •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 )82x)c<e  
    •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 \+ K ^G  
    •可以避免这些干涉效应的不良影响。 4F/Q0"  
    ;@Ls "+g  
     
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