wwz<c5 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
Ycwb1e# }2S \-
}{"\"Bn_ hAdEq$ 本用例展示了......
IcZ 'KV •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
~S9nLb:O{ - 矩形光栅界面
>KJ]\`2>)c - 过渡点列表界面
/e\dsC{uJ - 锯齿光栅界面
NINiX( - 正弦光栅界面
RWE%?` •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
aum,bm/0J {T9g\F* 光栅工具箱初始化 TH-^tw •初始化
\Ip<bbB0 - 开始
Y~6pJNR 光栅
6-~ 通用光栅光路图
7~&Y"& •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
g=.5*'Xlp 可直接选择特定的光路图。
6yU~^))bx =[,adB
@N$r'@ <|4j<U 光栅结构设置 !Zrvko •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
x9=lN^/4
b#M<b.R) •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
h$!qb'| •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
jL# ak V =% p"oj]:
{D@y-K5 DEBgb •例如,选择第一个界面上的堆栈。
d dPJx< SCo9[EJ 堆栈编辑器 qrdI" •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
qhtc?A/0} •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
B@4#y9`5 3Rm$
Z6=!}a% u0,~pJvX 矩形光栅界面 +38t82%YWo /c7j@=0 •一种可能的界面是矩形光栅界面。
\=@}(<4 •此类界面适用于简单二元结构的配置。
><=af 9T •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
d09GD[5 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
!"kvXxp^ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
(#:Si~3 \S9z.!7v$
9#p^Z)[)- p#&6Ed*V 矩形光栅界面 *,. {Xf •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
H|^4e •所选界面在视图中以红色突出显示。
G`n-WP
]:njP3r •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
%tMfOW •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
IH0Uq_
\8pbPo=x •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
sOJ~PRA •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
myo/}58Nv •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
B[$e;h*Aw[ iPIA&)x}
]Cj&C/( aZ'p:9e
8177x7UG2[ 4ldN0_T5 矩形光栅界面参数 VS`S@+p •矩形光栅界面由以下参数定义
bIH2cJ - 狭缝宽度(绝对或相对)
suVS!}
C - 光栅周期
RPrk]<<1 - 调制深度
`XD$1> •可以选择设置横向移位和旋转。
2|cIu ' U "[%NXan
Ua:EI!` #<JrSl62(K 高级选项和信息 <I>q1m?KN •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
Pa.!:N- •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
AkF1Hj •可以设置总级次数或衰逝波级次数
/v8qT'$^ (evanescent orders)。
7}*5Mir p •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
o%dtf5}(, •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
wjl?@K
7yc:=^ )
NZ_45/(dx +vQyHo •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
(]pQ.3 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
u66w('2 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
r8xH A •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
1?*vqdt >#'6jm
|9g*rO kTzZj|l^\ 过渡点列表界面 .`iq+i~ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
DJ\lvT#j •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
sC#Ixq'ls7 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
iU3co|q7
GY!&H"% `*slQ}i 过渡点列表参数 X@cV']#V •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
mF_/Rhu •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
snK/,lm. :S%|^QAN
aw,8'N) A[b'MNsv •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
A(C3kISM •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
vEb~QX0~ •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
zR/ATm]9 L4dbrPE*0
2Zl65 Mn=_lhWK 高级选项及信息 A*$vk2VWw •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
OLiYjYd M--6oR7
# ><.zZ ~v5tx 正弦光栅界面 xNx!2MrR; •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
Um|:AT}`^ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
bkY7]'.bz& •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
CfVz' - 脊的材料:基板的材料
<uAqb Wu - 凹槽材料:光栅前面的材料
Sy8Og] a
1mB6rp
"\BLi C *"E]^wCn 正弦光栅界面参数 .
E.OBn - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
h rZ\ O?j •光栅周期
2.|Y •调制深度
`W-:@?PmQx - 可以选择设置横向移位和旋转。
Pukq{/27 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
5Po.&eS Z(V4"x7F
iA:CPBv_mu \Q#F&q0 高级选项和信息 ){6;o&CC: •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
YT-t$QyL No[>1]ds
d29]R. *<9p88FpDU 高级选项及信息 79i>@u% •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
{i=qx#2X?H l jNd!RaB
8sL7p4 锯齿光栅界面 `]fY9ZDKs •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
R=E )j^<F •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
v!W,h2:J •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
lte~26=e - 脊的材料:基板的材料
ArF+9upGY - 凹槽材料:光栅前面的材料
}U8H4B~UtY lfCoL@$6D
D,J's(wd ny#7iz/ 锯齿光栅界面参数 7=JiL= •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
&<L+;k~P% - 光栅周期
z/;NoQ- - 调制深度
rR."_Z2 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
YHE7`\l •可以选择设置横向移位和旋转。
NjMo"1d •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
d,$[633It} (=7e~'DC
BB~Qs /Cwt4.5 高级选项和信息 >WDb89kC= •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
9=h A#t.#
z<)?8tAgq 探测器位置的注释 5<&<61[A 关于探测器位置的注释 ;zs4>>^> •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
03#r F@e •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
Yj;$hV8j( •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
)82x)c<e •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
\+
K
^G •可以避免这些干涉效应的不良影响。
4F/Q0"
;@Ls"+g