Rb{+Ki 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
p])D)FsMB 2;&mkcK'
]MC/t5vC u V%i<;C 本用例展示了......
TAXd,z N •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
OZ eiHX! - 矩形光栅界面
V78Mq:7d - 过渡点列表界面
2}D,df'W4 - 锯齿光栅界面
[vE$R@TZ0! - 正弦光栅界面
Xfj)gPt} •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
7^c2e*S A$/KP\0Y2 光栅工具箱初始化 cB{%u
' •初始化
@8|~+y8, - 开始
72`/d` 光栅
)8:n}w 通用光栅光路图
!$xzAX,
•注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
ZQ@3P7T 可直接选择特定的光路图。
Q?Wr7 P~&O4['<
Gj6<s./ SO7(K5H, 光栅结构设置 x]H3Y3
•首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
yxqTm%?y
,&0Z]* •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
$H4=QVj6 •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
pH^ z {>S4#^@}
VIetcs y*_K=}pk •例如,选择第一个界面上的堆栈。
'=$TyiU fQxSMPWB 堆栈编辑器 e,^pMg~ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
HTw#U2A;+ •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
v<j2L"bj )#C_mB$-#
o.v2z~V sb'lZFSP~s 矩形光栅界面 -P2 @mx% I I&< •一种可能的界面是矩形光栅界面。
X+@s] •此类界面适用于简单二元结构的配置。
{K+.A 9! •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
FWIih5 3` •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
/=bSt •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
AYt*'Zeg!s qZ#!CPHS
}lH;[+u3 4AJ9`1d4 矩形光栅界面 `nKJR'QC •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
$kv@tzO •所选界面在视图中以红色突出显示。
_'&k#Q
k/U>N|5 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
:|=- (z •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
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AjV
g2A"1w<-AH •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
l4zw]AYk+X •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
5|5=Y/ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
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&ej{ 6`1k
^
WBa /IM @Zj&`/
CNq[4T'~A vpi l$Uq 矩形光栅界面参数 ]/a
g*F •矩形光栅界面由以下参数定义
}H5/3be - 狭缝宽度(绝对或相对)
_;#9!"& - 光栅周期
yk`)Cq%=; - 调制深度
?x'w~;9R/ •可以选择设置横向移位和旋转。
sSNCosb ve6x/ PD
>C:If0S4X 8+&gp$a$ 高级选项和信息 } +1'{B"I •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
=88t*dH(," •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
#sS9vv7i •可以设置总级次数或衰逝波级次数
6vF/e#}, (evanescent orders)。
v O PMgEI •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
n? }5! •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
eJW[ ] ! *l:&f_ngV
;KL9oV!<f !M,h79NM •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
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8%S •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
D@:"f?K> •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
G8noQ_- •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
l!/!?^8|f $3]b>v
8nodV 9 Z~_8P 过渡点列表界面 ETe- •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
tq0;^L •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
lYP~3wp99 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
[t$4Tdd
vcwK6G $M39 #a 过渡点列表参数 *Er? C; •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
rtus`A5p •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
_=?2 3 W~<m[#:6C
7pP+5&* so*/OBte •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
4
A5t*e •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
=tn Tdp0F •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
/7x\;&bc z,avQR&
nGns}\!7' /h7.oD8CU 高级选项及信息 ODek%0= •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
~GA8_B jFG5)t<D
obj!I7 aiJnfU]W 正弦光栅界面 2uEhOi0I •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
>(OYK}ZN •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
\q,s?`+B •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
i%MA"I\9 - 脊的材料:基板的材料
dqxd3,Z - 凹槽材料:光栅前面的材料
L_k9g12 %Ci^*zb
Qm; BUG] JN|VPvjE 正弦光栅界面参数 @iRO7 6m - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
C38%H •光栅周期
xD4$0Ppu •调制深度
+aj^Cs1$ - 可以选择设置横向移位和旋转。
rFfy#e - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
0E1=W6UZ Z}+yI,
[Y$V\h=V Z(`r -}f I 高级选项和信息 -;U3w.- •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
5uttv:@= _Z.cMYN
;iQp7aW{$ GG+5/hU 高级选项及信息 Z\' wm' •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
;NP[_2|-, y?Onb3%
:~D];m 锯齿光栅界面 "S(yZ6r" •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
lV)G@l[1 •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
hlC%HA •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
]4o?BkL - 脊的材料:基板的材料
{xToz]YA - 凹槽材料:光栅前面的材料
5VKcV&D sUbFRq
np=kTJ `|?]CkP 锯齿光栅界面参数 0bSz4<} •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
~#Aa Ldq - 光栅周期
i.M2E$b| - 调制深度
LABNj{=D! •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
'hF@><sqk •可以选择设置横向移位和旋转。
yd*3)6= •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
dyO E6Ex GS4_jvD-
Pr/]0<s F@EJtwLd5y 高级选项和信息 Uouq>N •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
Nxi)Q$
0D~=SekQ9 探测器位置的注释 1a8$f5 关于探测器位置的注释 %t[K36,p •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
{(Fe7,.S3 •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
^/a*.cu •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
|!}wF}iLc) •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
{g_@Tuu •可以避免这些干涉效应的不良影响。
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