/Y`u4G() 摘要 UGP,/[XI
asZ(Hz%
L}\ oFjVju v+vM:At4 在
VirtualLab Fusion中,用户可以在
光学表面定义任意区域。
光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个
角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。
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W 建模任务 928uGo5 V0G"Z6
XM57 UG ?`/DFI'_G 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“
6qd?&.=r ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。
F#)@ c ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
phi9/tO\u a797'{j#PI 示例 Ih<.2 6FkBb!ASk
Dnp><% K"jS,a?s 6 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。
~7>D>!! ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
ugzrG0=lx ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。
hjq@.5 ─ 我们还将在远离光栅的
探测器平面中显示
衍射阶数,以给出光栅方向。
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MofQaZ 关于z轴旋转的图示 _P9*78 X$*]$Ge>
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5l 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。
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~ 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
/RI"a^&9A X@ S~D7|ja 指向(关于z轴旋转):0° @xeJ$
rlu ]oLyvG
V-9\@'gc DJb9] ,=a 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。
wpg7xx! 9p, PW A 指向(关于z轴旋转): 30° oFKTBH:I _9y!,ST
"j8`)XXa( SQJ+C% 注意:方向角度的定义为:
9v/=o`J#
─ 关于界面坐标轴。
X<Ag['r ─ 逆时针方向。
w!jY(WKU gh `]OxA 指向(关于z轴旋转): -90° /\MkH\zg ,uPN\`.u8
p,BoiYdi >en\:pJn)' 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。
biPj(Dd [r1dgwh8 关于y轴旋转180°示例 P1^O0) 3e9UD N2
8@/MrEOW# (>uA(#Z 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。
Z^Yy
sf (duR1Dz 关于y轴旋转180°(未选中) =>XjChM z.^_;Vql_
iB5q"hoZC 9)>+r6t 注意:
29zMs9oKPP 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。
Dq-[b+bm 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
[ldBI3 ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。
=7[}:haB{ ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的
材料相反。
J:@yG1VIp ZiPz~G0[^ 关于y轴旋转180(选中) V -_MwII-
^kke
]cM8TT v'm-A d+4t 注意:
OC)=KV@KE 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2.
DOOF--ua j`#H%2W\; 例1和例2的附加信息 ' g d=\gV
ix"BLn]YZ