Px#4pmz 摘要 h=mv9=x
Es,0'\m&
x
k#*= Cj=J;^vf 在
VirtualLab Fusion中,用户可以在
光学表面定义任意区域。
光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个
角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。
N>T=L0` vev8l\ 建模任务 g&8 .A( Ae3#>[]{
p!V)55J* m&{rBz0 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“
33S`aJ ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。
4t(QvIydA ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
)%1&/uN) B)(w%\M4^ 示例 akY6D]M gGD]t;<u
D`5:
JR-{ C(ZcR_+r$, 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。
UvoG<; ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
,9+nfj ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。
7{8)ykBU^ ─ 我们还将在远离光栅的
探测器平面中显示
衍射阶数,以给出光栅方向。
4O9tx_<JG |HT)/UZ| 关于z轴旋转的图示 lK 9s0t' ec,z6v^9
HKT{IP+7(L ZW`HDrP` 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。
96k(XLR 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
gS0,')w +2f>
M4q 指向(关于z轴旋转):0° :K5V/-[|V1 _qdWQFuM
HM;4=% ZO]E@?Oav 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。
-U&098}<K agGgJ@ 指向(关于z轴旋转): 30° </~1p~=hAt %,h!: Ec^c
an #jZ[ p PU 2ar 注意:方向角度的定义为:
oTZo[T@zRx ─ 关于界面坐标轴。
B&to&|jf ─ 逆时针方向。
4ZSfz#<[z ~ly`u 指向(关于z轴旋转): -90° GXGN;,7EV &4a~6
}"!6Xm w?*'vF_2:# 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。
Zz{[Al{ 5QCw5N 关于y轴旋转180°示例 \Or]5ogT' 9G=A)j
8JFnB(3xU w/)e2CH 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。
k|)^!BdO n/,rn>k7: 关于y轴旋转180°(未选中) Ss*LgK_ b*9m2=6
#h}IUR O p! 注意:
=+kvL2nx- 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。
hPNQGVv 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
T(t
<Ay?c ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。
exGhkt~ ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的
材料相反。
qhv4R| ) S S7D1 关于y轴旋转180(选中) j X^&4f
Ix%"4/z>
6Vu}kK)
mRix0XBI~ 注意:
=2GP^vh 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2.
t\E-6u Vf#oKPP1 例1和例2的附加信息 98<bF{#0WM
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