?PIOuN= 摘要 %2<G3]6^U
s!q6OVJ-
[Hn4&PET pZ/aZg1Ld 在
VirtualLab Fusion中,用户可以在
光学表面定义任意区域。
光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个
角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。
O)'Bx=S4Ke ,H3~mq] 建模任务 =<.8 c}II"P
7P`|wNq 05zBB 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“
CQo<}}-o ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。
/5@V $c8 ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
,%+i}H,3 g/b_\__A 示例 4VjP:>*p F/\w4T
]7C=.'Y -.|V S|y 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。
ZJ9J*5!C ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
]q0mo1-EZ! ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。
r00 fvZyK ─ 我们还将在远离光栅的
探测器平面中显示
衍射阶数,以给出光栅方向。
sXm/+I^ ?|8H|LBIr 关于z轴旋转的图示 !3{>
F" NhyVX%qt:
%aU4d
e^ /jQW4eW0 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。
W6t"n_%?" 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
\4q%
n #Al.Itj 指向(关于z轴旋转):0° W8Z&J18AU m$xL#omD
48CLnyYiF `}ak;^Me 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。
7z'l}*FRD PsTPGK#S 指向(关于z轴旋转): 30° 9FT;?~, oHkF>B
[
vgSs]g )6#dxb9 注意:方向角度的定义为:
TC1#2nE&T ─ 关于界面坐标轴。
[Y_6PR ─ 逆时针方向。
|:SBkM, W$7db%qFx 指向(关于z轴旋转): -90° OPR+K ? jk2h"):B>
6D,xs}j1 $\l7aA5~ 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。
=e/{fUg8f nS0K&MH6B 关于y轴旋转180°示例 a;J{'PHu i$HaE)qZ
je1f\N45 wkK61ah6 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。
[H5TtsQ[ sw{,l"]< 关于y轴旋转180°(未选中) PDaHY f?T6Ne'
w?6"`Mo ,.tv#j|A 注意:
z5PFppSQ 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。
n*G[ZW*Uc 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
[H-,zY ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。
h%
BA,C ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的
材料相反。
TSXa#SKp e0%?;w-TL 关于y轴旋转180(选中) vh3Xd\N
keNPlK%>
Q.Hy"~ w}VS mt$F 注意:
j?D=Ij"o 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2.
!> T.*8 >|%m#JG 例1和例2的附加信息 8jW{0&ox)
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