jfa<32`0E 摘要 PDh!B_+
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^ 在
VirtualLab Fusion中,用户可以在
光学表面定义任意区域。
光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个
角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。
rO,n~|YJ J,`I>^G 建模任务 =NRiro uy=<n5`oNG
kRiZ6mn y<yU5 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“
$*9:a3>zny ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。
eX^ F^( ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
1eS@ihkP Q#4OgNt 示例 ef:Zi_o HhTD/
Y$ZDJNz o-AAx#@ 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。
'sjks sy.3 ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
D rouEm ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。
lI[O!VuKc ─ 我们还将在远离光栅的
探测器平面中显示
衍射阶数,以给出光栅方向。
$! UEpQ `~qVo4V6Z 关于z轴旋转的图示 rAu@`H? C9`x"$
g$Nsu:L w 1O) 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。
SYv5{bff = 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
!R$t>X :\#/T,K" 指向(关于z轴旋转):0° =I)Ex) ^0"[l {
h{VGhkU9f 1,sD'iNb 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。
ARid ]~m2#g% 指向(关于z轴旋转): 30° ^Pc&`1Ap 0 ^ $6U
#xxs^Kbqa# J|o )c~ 注意:方向角度的定义为:
}{) >aJ ─ 关于界面坐标轴。
K1fnHpK ─ 逆时针方向。
;c>IM] &28%~&L 指向(关于z轴旋转): -90° nnnq6Z} q6N6QI8/
E`UEl$($ P:HmT 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。
Y[alOJ @RI\CqFHR 关于y轴旋转180°示例 Lc13PTz>>g %3$EV}dp
1"} u51 4VfZw\^ 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。
| <l=i( g=n /w 关于y轴旋转180°(未选中) \MFjb IL ;*8,PV0b_<
Fop'm))C8 x]jJ 注意:
S9S%7pE 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。
^
Nm!b 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
G8!* &vR/ ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。
[cf!%3>53 ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的
材料相反。
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