[技术]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

lb-S0plw  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 Y;'VosTD  
NG!>7$@RV  
aJEbAs}  
%~][?Y ><  
1. 建模任务 := ]sq}IN  
[`y:M&@  
'bZMh9|  
i7i|370  
2. 结果 \Oi5=,  

muL>g_H  
c1pq]mz|z  
M(_^'3u  
`Ev A\f