[技术]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

h[remR#3\  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 VIp|U{  
k$kE5kh,S  
(e7!p=D  
oYu xkG  
1. 建模任务 2)=whnFS  
*wTX  
l?m"o-Gp3  
f-F=!^.  
2. 结果 <j'K7We/tP  
eQ>Ur2H8n  
agUdI_'~@9  
.Pm5nS  
<X8Urum